显示器用基板的制作方法

办公文教;装订;广告设备的制造及其产品制作工艺1.实施例涉及一种显示器用基板。背景技术：2.近来，对柔性或可折叠显示装置的需求正在增长，该柔性或可折叠显示装置能够当被携带时容易地执行各种应用并在大屏幕上显示图像。3.这种柔性或可折叠显示器在被携带或存放时被折叠或者被部分地弯曲，并且可以在显示图像时用展开的显示器实现。因此，可以增加图像显示区域，并且用户可以容易地携带显示器。4.在柔性或可折叠显示装置被折叠或弯曲之后，可以重复再次展开柔性显示装置的复原过程。5.即，由于柔性或可折叠显示装置重复折叠和展开操作，因此要求柔性显示装置的基板具有一定的强度和弹性，并且在折叠和复原过程中在基板中不应出现裂纹和变形。6.同时，构成柔性或可折叠显示装置的显示器用基板通常使用金属基板。7.因此，包括金属的显示器用基板在重复折叠和展开时在折叠区域中可能受到压缩应力和拉伸应力，因此在折叠区域中可能出现裂纹，从而降低可靠性。8.因此，可以通过在显示器用基板中形成用于分散应力的孔来防止这种裂纹。但是，在将显示器用基板与诸如显示面板的面板粘合时，在显示器用基板中形成的孔可能转移到显示面板并被视觉识别。为了防止这种情况，可以在显示器用基板与显示面板之间设置附加层。9.因此，可以通过设置附加层来增加显示器用基板的厚度。因此，可以减小显示器用基板的曲率半径(r)的尺寸，从而可以减小折叠尺寸。10.因此，需要一种具有新结构的显示器用基板，其能够确保显示器用基板的可靠性并且能够以薄的厚度实现为具有小的折叠曲率半径。技术实现要素：11.技术问题12.实施例提供一种显示器用基板，其具有薄的厚度并且能够实现小的曲率半径。13.技术方案14.根据实施例的显示器用基板包括一个表面以及与该一个表面相对的另一表面，并且包括第一区域和第二区域，其中显示基板被折叠成面对该一个表面，并且第一区域被定义为折叠区域，第二区域被定义为展开区域，并且显示器用基板包括第一层和设置在第一层上的第二层，第一层的第一区域包括多个第一孔或第一凹槽，其中，第一层是蚀刻层并且第二层是蚀刻阻挡层。15.有益效果16.根据实施例的显示器用基板可以由具有不同蚀刻特性的多个层形成。17.因此，由于第一层和第二层通过不同的蚀刻溶液被蚀刻，所以当在显示器用基板中形成孔时，第一层和第二层中的任何一个可以是蚀刻停止层。18.因此，当在显示器用基板上形成诸如孔的图案来缓解应力时，可以容易地控制孔的深度，而与孔的直径无关。因此，可以根据要实现的显示器用基板的强度和曲率半径即折叠特性，容易地控制孔的直径、深度和数量。19.另外，由于在根据实施例的显示器用基板中仅在第一层和第二层中的一个上形成孔图案，因此，在将显示面板、设置在显示器用基板上的触控面板、显示器用基板接合时，可以省略用于防止在显示器用基板与面板之间识别孔图案的单独层。20.因此，可以通过省略额外工序来提高工序效率，并且可以减小可折叠显示装置的厚度，从而提高折叠特性和可靠性。附图说明21.图1是根据实施例的柔性显示装置的透视图。22.图2是根据实施例的显示器用基板的透视图。23.图3是根据实施例的显示器用基板在折叠前的侧视图。24.图4是根据实施例的显示器用基板在折叠后的侧视图。25.图5是根据第一实施例的显示器用基板的剖视图。26.图6是根据第一实施例的显示器用基板的另一剖视图。27.图7是根据第一实施例的显示器用基板的一个表面的俯视图。28.图8是根据第一实施例的显示器用基板的另一表面的俯视图。29.图9是根据第一实施例的显示器用基板的另一剖视图。30.图10是根据第一实施例的显示器用基板的一个表面的另一俯视图。31.图11是根据第二实施例的显示器用基板的剖视图。32.图12是根据第二实施例的显示器用基板的另一剖视图。33.图13是根据第二实施例的显示器用基板的一个表面的俯视图。34.图14是根据第二实施例的显示器用基板的另一表面的俯视图。35.图15是根据第二实施例的显示器用基板的另一剖视图。36.图16是根据第二实施例的显示器用基板的一个表面的另一俯视图。37.图17是用于描述应用了根据实施例的显示器用基板的示例的视图。具体实施方式38.在下文中，将参考附图详细描述本发明的实施例。然而，本发明的精神和范围不限于描述的实施例的一部分，而是可以以各种其它形式来实现，并且在本发明的精神和范围内，实施例的一个或多个元件可以选择性地结合和替换。39.另外，除非另有明确定义和描述，否则本发明的实施例中使用的术语(包括技术术语和科学术语)可以被解释为与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的含义具有相同含义，并且术语(例如在通常使用的字典中定义的术语)可以被解释为具有与在现有技术的上下文中的含义一致的含义。40.另外，在本发明的实施例中使用的术语用于描述实施例，而不旨在限制本发明。在本说明书中，除非在措辞中特别说明，否则单数形式也可以包括复数形式，并且当描述为“a(和)b和c的至少一个(或多于一个)”时，可以包括可以以a、b和c组合的全部组合中的至少一个。41.此外，在描述本发明的实施例的元件时，可以使用诸如第一、第二、a、b、(a)以及(b)的术语。这些术语仅用于将元件与其它元件进行区分，并且术语不限于元件的实质、顺序或次序。42.另外，当一个元件被描述为“连接”、“耦接”或“结合”到另一个元件时，其可以不仅包括该元件直接“连接”、“耦接”或“结合”到其它元件，还包括该元件通过该元件和另一个元件之间的又一个元件“连接”、“耦接”或“结合”。43.此外，当描述为形成或设置在每个元件“上(上方)”或“下(下方)”时，“上(上方)”或“下(下方)”不仅可以包括两个元件彼此直接连接的情况，还包括一个或多个其它元件形成或设置在两个元件之间的情况。44.此外，当表述为“上(上方)”或“下(下方)”时，不仅可以包括基于一个元件的向上方向，还可以包括基于一个元件的向下方向。45.在下文中，将参考附图描述根据实施例的显示器用基板。46.图1是根据实施例的柔性或可折叠显示装置的透视图。47.参考图1，根据实施例的柔性或可折叠显示装置1000可以包括基板100、设置在基板100上的显示面板200以及设置在显示面板200上的触摸面板300。48.基板100可以支撑显示面板200和触摸面板300。也就是说，基板100可以是支撑显示面板200和触摸面板300的支撑基板。49.基板100可以包括诸如金属的材料。例如，基板100可以包括金属、金属合金、塑料、复合材料(例如，碳纤维增强塑料、磁性或导电材料、玻璃纤维增强材料等)、陶瓷、蓝宝石、玻璃等。50.基板100可以是柔性的或可折叠的。即，基板100可以在一个方向上折叠或弯曲。即，基板100可以是应用到柔性显示装置或可折叠显示装置的显示器用基板。51.基板100可以包括至少两个区域。具体地，基板100可以包括第一区域1a和第二区域2a。52.第一区域1a可以被定义为基板100被折叠的区域。即，第一区域1a可以是折叠区域。53.此外，第二区域2a可以被定义为基板100未被折叠的区域。即，第二区域2a可以是展开区域。54.下面将详细描述第一区域1a和第二区域2a。55.显示面板200可以设置在基板100的上方。56.显示面板200可以包括多个像素，所述多个像素包括开关薄膜晶体管、驱动薄膜晶体管、电力存储装置和有机发光二极管(oled)。在oled的情况下，可以在相对较低的温度下进行沉积，并且由于诸如低功率和高亮度的原因，oled可以主要应用于柔性显示装置。这里，像素是指显示图像的最小单位，并且显示面板通过多个像素来显示图像。57.显示面板可以包括基板、设置在基板上的栅极线、与栅极线绝缘交叉的数据线以及公共电源线。通常，一个像素可以通过以栅极线、数据线和公共电源线为边界来限定。58.基板可以包括诸如塑料膜的具有柔性特性的材料，并且可以通过在柔性膜上设置有机发光二极管和像素电路来实现显示面板200。59.触摸面板300可以设置在显示面板200的上方。触摸面板300可以在柔性显示装置中实现触摸功能，并且可以在单纯显示图像而没有触摸功能的可折叠显示装置中省略触摸面板。60.触摸面板300可以包括基板和设置在基板上的触摸电极。触摸电极可以使用电容式或电阻膜式来感测在柔性显示装置上触摸的输入装置的位置。61.触摸面板300的基板可以包括诸如塑料膜的具有柔性特性的材料，并且可以通过将触摸电极设置在柔性膜上来实现触摸面板300。62.同时，尽管图中未示出，但是可以在触摸面板300的上方或显示面板200的上方(当省略触摸面板时)额外地设置保护可折叠显示装置的覆盖窗。63.同时，基板100、显示面板200和触摸面板300可以通过粘合层等彼此粘合。64.下面要描述的柔性显示装置的基板100具有能够提高基板的折叠可靠性的结构。65.如上所述，柔性显示装置包括基板100。66.参考图2，基板100可以沿一个方向弯曲。67.详细地，基板100可以包括一个表面1s以及与一个表面1s相对的另一表面2s。在基板100中，一个表面1s或另一表面2s可以弯曲成彼此面对。68.在下面的描述中，如图2所示，将主要描述一个表面1s在基板100中向彼此面对的方向弯曲。69.如上所述，第一区域1a和第二区域2a可以被限定在基板100中。第一区域1a和第二区域2a可以是当一个表面1s在基板100中向彼此面对的方向弯曲时限定的区域。70.具体地，基板100在一个方向上弯曲，并且基板100可以被划分成作为折叠区域(折叠的区域)的第一区域1a以及作为展开区域(展开的区域)的第二区域2a。71.参考图3和图4，基板100可以包括第一区域1a，第一区域1a是基板100弯曲的区域。基板100可以包括第二区域2a，第二区域2a不弯曲并且与第一区域1a相邻设置。72.例如，第二区域2a可以基于基板100弯曲的方向形成在第一区域1a的左侧和右侧。即，第二区域2a可以设置在第一区域1a的两端。即，第一区域1a可以设置在第二区域2a之间。73.第一区域1a和第二区域2a可以形成在同一基板100上。即，第一区域1a和第二区域2a可以彼此一体地形成而在同一基板100上不分离。74.第一区域1a和第二区域2a的尺寸可以彼此不同。具体地，第二区域2a的尺寸可以大于第一区域1a的尺寸。75.在附图中，示出了第一区域1a位于基板100的中央部分中，但实施例不限于此。即，第一区域1a可以位于基板100的一端和端部区域中。也就是说，第一区域1a可以位于基板100的一端和端部区域处使得第二区域2a的尺寸不对称。76.图4是显示器用基板在基板折叠后的侧视图。77.参考图4，基板100可以围绕折叠轴向一个方向折叠。具体地，一个表面1s可以沿着折叠轴向彼此面对的方向折叠。78.当基板100向一个方向折叠时，可以在基板100上形成第一区域1a和第二区域2a。即，通过向一个方向折叠基板100而形成的折叠区域以及位于折叠区域的两端处的展开区域可以形成在基板100中。79.折叠区域可以被定义为形成曲率r的区域，展开区域可以被定义为没有形成曲率r或曲率接近0的区域。80.参考图3和图4，基板100可以向一个方向折叠从而以展开区域、折叠区域和展开区域的顺序形成。81.可以在第一区域1a和第二区域2a中的至少一个中形成多个孔或槽形图案部，以控制和分散在基板100被折叠时产生的应力。82.图5至图8是用于说明根据第一实施例的显示器用基板的视图。83.图5和图6是根据第一实施例的显示器用基板的剖视图。参考图5和图6，基板100可以包括多个层。即，基板100可以形成为多层结构。84.具体地，基板100可以包括第一层110和第一层110上的第二层120。此外，基板100可以进一步包括设置在第一层110与第二层120之间的中间层150。85.第一层110可以支撑第二层120。此外，第二层120可以支撑设置在显示器用基板上的显示面板或触摸面板。86.第一层110和第二层120可以彼此附接。例如，第一层110和第二层120可以通过热压工艺等彼此接合。87.中间层150可以是第一层110与第二层120之间的界面层。具体地，中间层150可以被定义为在第一层110与第二层120之间的接合工序期间形成的界面层。88.图案可以形成在第一层110和第二层120中的任何一个上。具体地，孔形图案可以形成在第一层110和第二层120的任何一个中。89.例如，参考图5和图6，可以在第一层110中形成贯穿第一层110的第一表面111以及与第一表面111相对的第二表面112的多个第一孔h1。90.具体地，第一层110包括与第二层120面对的第一表面111以及与第一表面111相对的第二表面112，并且第一层110可以具有在第一表面的方向上从第二表面形成的孔或槽形图案。91.具体地，第一层110可以包括形成为完全贯穿第一层110的孔图案。或者，第一层110可以包括形成为部分地贯穿第一层110的槽图案。92.在下文中，为了便于说明，将主要描述形成在第一层110中的孔图案，并且下文描述的孔图案的描述可以同样适用于槽图案。93.也就是说，可以形成在从第二表面到第一表面的方向上穿过第一层110形成的孔图案。即，第一孔h1可以穿过第一层110并且可以不形成在第二层120中。94.因此，可以通过在第一层中形成的第一孔h1在根据第一实施例的用于显示器的整个基板上形成槽形图案。95.形成在第一层110中的第一孔hl可以分散在折叠或复原显示器用基板时由折叠引起的应力。因此，可以防止由于显示基板折叠或复原时产生的应力引起的显示基板的变形。96.同时，可以不在第二层120和中间层150中形成孔或槽图案。第二层120可以设置在第一层110上以防止显示器用基板的弯曲。97.具体地，形成在第一层110中的第一孔hl可以分散在显示器用基板的折叠或复原期间产生的应力。然而，根据孔图案的位置或分布，第一层110可能由于第一层110中的应力不平衡而弯曲，因此在显示器用基板中可能发生整体翘曲。98.此时，设置在第一层110上的第二层120控制在第一层110中可能发生的翘曲。可以防止显示器用基板由于第二层120而弯曲。99.第一层110和第二层120可以包括不同的材料。具体地，第一层110和第二层120可以包括具有不同蚀刻特性的材料。100.例如，当使用第一蚀刻剂蚀刻基板100时，第一层110通过与第一蚀刻剂反应而被蚀刻，第二层120可以不被蚀刻，因为它不与第一蚀刻剂反应。101.或者，当使用第二蚀刻剂蚀刻基板100时，第二层120通过与第二蚀刻剂反应而被蚀刻，第一层110可以不被蚀刻，因为它不与第二蚀刻剂反应。102.即，第一层110或第二层120可以是蚀刻停止层。103.例如，第一层110和第二层120可以包括不同的金属材料。具体地，第一层110和第二层120可以包括不锈钢(sus)、铜、钛、铝及其合金中的任何一种，在这种情况下，第一层110和第二层120可以包括不同的金属材料。104.例如，第一层110可以包括铜(cu)，第二层120可以包括不锈钢(sus)，但实施例不限于此。105.中间层150可以是粘合层。例如，中间层150可以包括压敏粘合剂(psa)。此外，金属颗粒可以分散在中间层150中。因此，可以通过金属颗粒来增加中间层150的热导率，从而改善显示器用基板的散热特性。106.另外，中间层150可以包括与第一层110和第二层120中的至少一层相同的材料。例如，中间层150可以包括在第一层110中包括的金属材料和在第二层120中包括的金属材料的合金材料。107.由于第一层110和第二层120具有不同的蚀刻特性，因此可以在特定蚀刻溶液中蚀刻第一层110和第二层120中的仅一者。108.即，第一层110和第二层120可以通过不同的蚀刻溶液进行蚀刻。此外，第一层110、第二层120和中间层150可以通过不同的蚀刻溶液进行蚀刻。109.在第一实施例中，可以通过蚀刻第一层110来形成第一孔h1。此时，当在第一层110中形成第一孔h1时，第二层120可以用作蚀刻停止层，因此，可以仅蚀刻第一层110以形成第一孔h1。110.在这种情况下，由于第二层120用作蚀刻停止层，所以可以在第二层120中不形成孔。而且，可以在中间层150中不形成孔。此外，由于第二层120包括金属，所以可以改善弹性和散热特性。111.因此，当在第一层110中形成第一孔h1时，可以容易地控制孔的深度。换句话说，可以通过形成在第一层110中的第一孔h1容易地控制显示器用基板的第一孔h1的深度。112.即，由于在显示器用基板中形成的第一孔h1的深度等于在第一层中形成的第一孔h1的深度，即第一层的厚度。因此，通过根据第一孔h1的所需深度来控制第一层的厚度，可以在整体上容易地控制显示器用基板的凹槽的深度。113.通常，通过蚀刻工艺形成的金属基板中的孔的深度可以与孔的直径成比例。即，在金属基板中形成的孔的深度可以随着孔的直径尺寸的增加而增加。114.因此，存在难以分别控制孔的深度和孔的直径的问题。然而，在根据本实施例的显示器用基板中，由于第一层和第二层具有不同的蚀刻特性，因此，与孔的直径尺寸无关，能够形成所需深度的孔。因此，可以容易地控制在显示器用基板上形成的图案的直径和深度。115.此外，由于第一层和第二层都包含金属，所以第一层和第二层可以通过由合金形成的中间层以强粘合力彼此紧密接触，并且具有改善的散热性能。116.在前面的描述中，作为示例，已经描述了第一层110和第二层120均包括金属，但是第一层110和第二层120中的任何一个可以包括非金属。117.例如，当第一层110成为要蚀刻的层而第二层120成为要执行蚀刻停止的层时，第一层110可以包括金属，第二层120可以包括非金属。118.具体地，第一层110可以包括不锈钢(sus)、铜、钛、铝及其合金中的任何一种，第二层120可以包括聚合物。119.例如，第二层120可以包括聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)、聚碳酸酯(pc)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(abs)、聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)、聚醚砜(pes)、环状烯烃共聚物(coc)、三乙酰纤维素(tac)膜、聚乙烯醇(pva)膜、聚酰亚胺(pi)膜和聚苯乙烯(ps)膜中的任何一种。此外，第二层120可以包括基于橡胶的聚合物材料、硅和陶瓷中的至少一种。120.中间层150可以设置在第一层110与第二层120之间，或者可以省略中间层150。121.具体地，如图5所示，当使用单独的粘合材料将第一层110与第二层120粘合时，基板100可以包括中间层150，中间层150被定义为第一层110与第二层120之间的粘合层。122.或者，如图6所示，当第一层110和第二层120通过热压接合而无需单独的粘合剂材料时，基板100可以省略粘合层，即中间层。123.即，第一层110和第二层120直接接触，并且可以在第一层110与第二层120之间的界面上形成两层的元素被扩散的扩散部。124.在这种情况下，可以将无机填料等添加到第二层120以改善散热特性。125.由于第二层120包括如上所述的非金属材料，因此，即使在显示器用基板的冷轧工序之后也可以保持显示器用基板的弯曲特性，从而改善用于显示器的可折叠基板的弯曲特性。126.包括第一层110和第二层120的基板100的总厚度可以为大约1mm。具体地，基板100的厚度可以为0.5mm至1.5mm。当基板100的厚度小于0.5mm时，基板100的强度可能降低，而当基板100的厚度超过1.5mm时，基板100的折叠特性可能降低。127.第一层110和第二层120可以形成为具有相同或不同的厚度。128.例如，形成有孔的第一层110的厚度tl可以大于第二层120的厚度t2。具体地，为了减小显示器用基板的曲率半径，应该增加第一孔h1的深度。因此，通过将第一层110的厚度形成为大于第二层120的厚度，可以增加第一孔h1的深度。129.或者，第二层120的厚度t2可以大于第一层110的厚度t1。具体地，当第一孔h1仅形成在第一层110的一个区域中时，为了防止由于与其他区域的应力差异而可能发生的显示器用基板的翘曲，第二层120的厚度可以大于第一层110的厚度。130.因此，当显示器用基板由于第一层110中的每个区域的不同应力水平而将要弯曲时，第一层110上的第二层120可以对其进行保持，从而可以防止显示器用基板翘曲。131.或者，第一层110和第二层120的厚度可以形成为相同，以防止要实现的显示器用基板的曲率半径和翘曲。132.此外，第一层110和第二层120可以具有相同和相近的弹性强度。例如，第一层110和第二层120可以具有大约300pa到2.5gpa的弹性强度。133.根据显示器用基板的用途，第一层110和第二层120可以具有相同或不同的弹性强度。134.即，如上所述，当增加第一层110的厚度以加深形成在第一层110中的第一孔的深度时，第一层110的弹性强度可以大于第二层120的弹性强度。因此，可以抵消由于第一层110的厚度增加而导致的折叠特性的降低。135.或者，当增加第二层120的厚度以控制显示器用基板的翘曲时，第二层120的弹性强度可以大于第一层110的弹性强度。因此，可以抵消由于第二层120的厚度增加而导致的折叠特性的降低。136.在下文中，将参考图7至图10详细描述根据第一实施例的显示器用基板。137.图7和图8是根据第一实施例的显示器用基板的一个表面的俯视图。138.即，图7是基板的一个表面1s的俯视图，该表面1s是基板100被折叠时的基板的内表面，图8是基板的另一表面2s的俯视图，该另一表面2s是基板100被折叠时的基板的外表面。139.具体地，图7是第一层110的俯视图，第一层110是基板100被折叠时基板的内表面，图8是第二层120的俯视图，第二层120是基板100被折叠时基板的外表面。140.参考图7，可以在显示器用基板中形成通过部分蚀刻基板100而形成的多个凹槽。具体地，在基板100的第一层110中形成穿过第一层110形成的第一孔h1。因此，显示器用基板可以在整体上包括多个凹槽。141.具体地，可以在第一层110的第一区域1a中形成第一孔hl。具体地，可以在第一层110的第一区域1a中形成彼此间隔开的多个第一孔hl。在图7中，示出了形成在第一区域1a中的仅三个第一孔h1，但是为了便于描述，可以在第一区域1a中形成四个以上的第一孔h1。142.在显示器用基板中，可以通过形成在第一层110中的第一孔h1露出第二层120的一个表面。143.形成在第一区域1a中的多个第一孔h1用于分散在第一区域被折叠时产生的应力。具体地，由于在基板100被折叠时产生的压缩应力，因此，在基板的第一区域1a中可能产生因应力引起的变形或损坏。144.因此，通过在第一区域1a中形成第一孔h1，可以防止应力集中在第一区域1a的特定区域中。因此，可以防止在基板100被折叠时产生的压缩应力对基板的损坏。145.根据所需的曲率半径和可靠性，可以以各种宽度和深度来形成第一孔h1。具体地，根据所需的折叠特性，即曲率半径的大小和可靠性，第一孔h1可以形成为具有10μm至500μm的宽度和100μm至10000μm的深度。146.第一孔h1可以以规则图案形成在第一区域1a中，或者第一孔h1可以以不规则图案形成在第一区域1a中。147.第一孔h1可以形成为具有弯曲表面。具体地，第一孔h1可以形成为具有弯曲表面的形状，例如椭圆形、半球形或圆形。148.然而，实施例不限于此，第一孔h1可以形成为多边形形状，例如三角形或正方形。149.同时，第一孔h1可以用树脂材料填充。具体地，可以在第一层110中形成的第一孔h1中填充诸如硅树脂的树脂材料。由此，可以防止异物进入形成在显示器用基板上的图案，并且可以使形成有图案的显示器用基板的表面平滑。150.参考图8，在基板100的第二层120中可以不形成单独的孔或槽图案。具体地，第二层120的一个表面可以形成为平坦的。151.即，第二层120可以设置为同时覆盖第一层110中形成有第一孔hl的区域和未形成第一孔hl的区域。152.在这种情况下，第二层120的厚度可以形成为大于第一层110的厚度。即，在第一层110中，由于第一孔h1仅形成在第一区域(即折叠区域)中，所以在第一区域与第二区域(即展开区域)之间可能会产生应力差。153.由于该应力差，在第一层110中可能发生翘曲，并且在整体上，在用于显示的基板中可能发生翘曲。154.因此，通过将第二层120的厚度形成为大于第一层110的厚度，可以防止由于第一层110中的应力差异而导致的弯曲。即，可以控制由第一层110和第二层120引起的显示基板的弯曲。155.同时，可以根据是否形成有铰接部来划分第一区域1a和第二区域2a。即，可以根据是否形成有铰接部来划分折叠区域和展开区域。156.具体地，可以在第一区域1a中形成多个铰接部，并且可以在第二区域2a中不形成铰接部。157.即，折叠区域可以被定义为在其中形成铰接部hn的区域。158.铰接部hn可以被定义为在基板100中折叠开始的点。即，基板可以从多个铰接部中的两端处的铰接部开始折叠。159.根据基板100的折叠形状，铰接部hn可以包括多个铰接部。铰接部hn可以基于基板100的宽度方向上的短边方向长度，形成在与形成有第一孔hl的列方向重叠的基板100的两端。160.因此，当显示器用基板100被铰接部hn折叠时，可以容易地将折叠区域折叠。161.铰接部hn可以通过基板100的端部区域中的短边方向区域的一个表面和另一表面形成。也就是说，铰接部hn可以被定义为基板100的端部区域中的在短边方向上的两个端部区域穿过其中的孔。162.铰接部hn的形状可以与第一孔的形状和尺寸相同或不同。例如，铰接部可以形成为具有弯曲表面。具体地，铰接部可以形成为具有弯曲表面的形状，例如椭圆形、半球形或圆形。163.然而，实施例不限于此，铰接部可以形成为多边形形状，例如三角形或四边形或椭圆形。164.同时，参考图9和图10，可以在显示器用基板的整个区域中形成孔。165.图9是根据第一实施例的显示器用基板的另一剖视图。图10是根据第一实施例的显示器用基板的一个表面的另一俯视图。即，图10是当基板100折叠时作为基板100的内表面的第一层110的俯视图。166.参考图9和图10，可以在第一层110中的第一区域1a和第二区域2a这两者中形成孔。具体地，也可以在被定义为展开区域的第二区域2a中形成第二孔h2。也就是说，可以在显示器用基板的整个区域中形成孔。167.可以在第二区域2a中形成彼此间隔开的多个第二孔h2。第二孔h2可以穿过第一层110形成。具体地，第二孔h2可以穿过第一层110的第一表面111和第二表面112形成。168.由于形成在第二区域2a中的第二孔h2，因此可以减小取决于热的在第一区域1a和第二区域2a之间的变形的差异。169.具体地，通过在第一区域1a和第二区域2a中均形成孔，可以减小第一区域1a中由于热引起的变形与第二区域2a中由于热引起的变形之间的差异。因此，可以防止显示器用基板弯曲或变形。170.在这种情况下，第一层110的厚度可以大于第二层120的厚度。171.因此，第一层110的厚度可以形成为大于第二层120的厚度。即，由于在第一层110的整个区域中形成孔，因此可以减小用于防止第一层翘曲的第二层120的厚度，并且可以增加在第一层中形成的孔的深度。172.因此，通过减小显示器用基板的曲率半径，可以提高显示器用基板的折叠特性。173.第二孔h2可以根据所需的曲率半径和可靠性以各种宽度和深度形成。具体地，根据所需的折叠特性，即曲率半径的大小和可靠性，第二孔h2可以形成为具有10μm到500μm的宽度和100μm到10000μm的深度。174.在第二区域2a中形成的第二孔h2可以在第二区域2a中以规则图案形成，或者在第二区域2a中形成的第二孔h2可以在第二区域2a中以不规则图案形成。175.在第二区域2a中形成的第二孔h2可以具有曲面。具体地，在第二区域2a中形成的第二孔h2可以形成为具有曲面的形状，例如椭圆形、半球形或圆形。176.然而，实施例不限于此，形成在第二区域2a中的第二孔h2可以形成为多边形，例如三角形或正方形。177.在下文中，将参考图11至图16描述根据第二实施例的显示器用基板。在根据第二实施例的显示器用基板的描述中，将省略与上述根据第一实施例的显示器用基板相同或相似的描述，并且对相同的部件赋予相同的附图标记。178.参考图11至图14，根据第二实施例的用于显示器的基还可以进一步包括第三层130。179.具体地，基板100可以包括第一层110、在第一层110上的第二层120和在第二层120上的第三层130。也就是说，第二层120可以设置在第一层110与第三层130之间。180.此外，基板100形成在设置于第一层110与第二层120之间的第一中间层151与设置于第二层120与第三层130之间的第二中间层152之间。181.第一层110与第二层120可以彼此粘合。此外，第二层120与第三层130可以彼此粘合。例如，第一层110与第二层120、第二层120与第三层130可以通过热压工序等彼此粘合。182.第一中间层151可以是第一层110与第二层120之间的界面层，第二中间层152可以是第二层120与第三层130之间的界面层。具体地，第一中间层151和第二中间层152可以是在第一层110、第二层120和第三层130的接合工序期间形成的限定界面层。183.第一层110、第二层120和第三层130可以均包括金属。例如，第一层110、第二层120和第三层130可以包括不锈钢(sus)、铜、钛、铝及其合金中的任何一种。184.此外，第一中间层151和第二中间层152可以包括与第一层110、第二层120和第三层130中的至少一个相同的材料。例如，第一中间层151可以包括在第一层110中包括的金属材料和在第二层120中包括的金属材料的合金材料。并且，第二中间层152可以包括在第二层120中包括的金属材料和在第三层130中包括的金属材料的合金材料。185.或者，第一层110、第二层120和第三层130可以包括金属和非金属中的任何一种。例如，第一层110和第三层130可以包括上述的金属材料，第二层120可以包括上述的非金属材料。186.第一中间层151和第二中间层152分别设置在第一层110与第二层120之间以及第二层120与第三层130之间。或者，可以省略第一中间层151和第二中间层152。187.具体地，参考图11，当使用单独的粘合材料将第一层110与第二层120粘合以及第二层120与第三层130粘合时，基板100可以包括第一中间层151和第二中间层152，第一中间层151被定义为第一层110与第二层120之间的粘合层，第二中间层152被定义为第二层120与第三层130之间的粘合层。188.或者，参考图12，当第一层110与第二层120、以及第二层120与第三层130通过热压接合而无需单独的粘合材料时，在基板100中可以省略粘合层，即第一中间层和第二中间层。189.在这种情况下，可以将无机填料等添加到第二层120以提高散热特性。190.可以在第一层110、第二层120和第三层130中的任何一层上形成图案。具体地，可以在第一层110、第二层120和第三层130中的任一层上形成孔形图案。191.例如，参考图11和图12，第一层110可以包括穿过第一表面111和与第一表面111相对的第二表面112形成的多个第一孔h1。192.具体地，第一层110包括与第二层120面对的第一表面111以及与第一表面111相对的第二表面112，并且第一层110可以具有在第一表面的方向上从第二表面形成的孔图案。193.即，可以形成在从第二表面到第一表面的方向上穿过第一层110形成的孔图案。194.因此，可以通过在第一层中形成的第一孔h1在根据第一实施例的用于显示的整个基板上形成槽形图案。195.在第一层110中形成的第一孔h1可以分散当显示器用基板被折叠或复原时由折叠引起的应力。因此，可以防止由于显示器用基板因被折叠或复原时产生的应力导致显示器用基板变形。196.同时，可以在第二层120和第三层130中不形成孔图案。即，可以在第二层120、第三层130以及第一中间层151和第二中间层152中不形成孔图案。第二层120可以设置在第一层110上以防止显示器用基板弯曲。197.具体地，在第一层110中形成的第一孔hl可以分散在显示器用基板的折叠或复原期间产生的应力，但是根据孔图案的位置或分布，第一层110中的应力可能变得不均衡。其结果，第一层110可能弯曲，使得在显示器用基板中可能发生整体翘曲。198.此时，设置在第一层110上的第二层120和第三层130控制在第一层110中可能发生的翘曲。因此，可以通过第二层120和第三层130防止显示器用基板弯曲。199.第一层110、第二层120和第三层130可以包括不同的材料。例如，第一层110、第二层120和第三层130可以包括具有不同蚀刻特性的材料。200.例如，当使用第一蚀刻剂蚀刻基板100时，第一层110通过与第一蚀刻剂反应而被蚀刻，并且第二层120和第三层130可以不被蚀刻，因为其不与第二蚀刻剂反应。201.或者，当使用第二蚀刻剂蚀刻基板100时，第二层120通过与第二蚀刻剂反应而被蚀刻，并且第一层110和第三层130可以不被蚀刻，因为其不与第二蚀刻剂反应。202.或者，当使用第三蚀刻剂蚀刻基板100时，第三层130通过与第三蚀刻剂反应而被蚀刻，并且第一层110和第二层120可以不被蚀刻，因为其不与第三蚀刻剂反应。203.即，第一层110、第二层120或第三层130可以是蚀刻停止层。204.例如，第一层110、第二层120和第三层130可以包括不同的金属材料。具体地，第一层110、第二层120和第三层130可以包括诸如不锈钢(sus)、铜和铝的金属中的任何一种，并且在这种情况下，第一层110、第二层120和第三层130可以包括不同的金属材料。205.即，由于第一层110、第二层120和第三层130具有不同的蚀刻特性，因此，在特定的蚀刻溶液中，可以蚀刻第一层110、第二层120和第三层130中的仅一层。206.即，第一层110、第二层120和第三层130可以通过不同的蚀刻溶液进行蚀刻。207.或者，第一层110、第二层120和第三层130中的任何一个可以具有与其他两层不同的蚀刻特性。例如，第一层和第三层通过第一蚀刻剂蚀刻，第二层不被第一蚀刻剂蚀刻。第二层可以被第二蚀刻剂蚀刻，并且第一层和第三层可以不被第二蚀刻剂蚀刻。208.在第二实施例中，可以通过蚀刻第一层110来形成第一孔h1。此时，当在第一层110中形成第一孔h1时，第二层120和第三层130可以用作蚀刻停止层，并且可以仅蚀刻第一层110以形成第一孔h1。209.因此，当在第一层110中形成第一孔h1时，可以容易地控制孔的深度。换句话说，可以通过在第一层110中形成的第一孔h1容易地控制显示器用基板的第一孔h1的深度。210.即，由于在显示器用基板中形成的第一孔hl的深度等于在第一层中形成的第一孔hl的深度，即第一层的厚度，所以通过根据第一孔h1的所需深度对第一层的厚度进行控制，可以容易地控制显示器用基板的凹槽的深度。211.通常，通过蚀刻工序形成的金属基板中的孔的深度可以与孔的直径成比例。即，在金属基板中形成的孔的深度可以随着孔的直径的尺寸增加而增加。212.因此，存在难以分别控制孔的深度和孔的直径的问题。然而，在根据实施例的显示器用基板中，由于第一层、第二层和第三层具有不同的蚀刻特性，因此无论孔的直径尺寸如何，都能够形成所需深度的孔。因此，可以容易地控制在显示器用基板上形成的图案的直径和深度。213.或者，第一层110和第三层130包括相同的金属材料，并且第二层120可以包括与第一层110和第三层130的金属材料不同的金属材料。214.即使在此时，当在基板100上蚀刻第一层110时，设置在第一层110与第三层130之间的第二层120是蚀刻停止层。可以仅蚀刻第一层110，并且可以不蚀刻第二层120和第三层130。215.当在基板的外表面上设置的第一层和第三层包括相同的金属材料时，当显示器用基板被折叠时，在基板的内表面和外表面上设置具有相同强度的层。因此，可以最小化在基板的内表面和外表面上产生的应力的差。即，由于与在基板的内表面和外表面上包括不同材料相比，在基板的内表面和外表面上包括具有相似特性的相同材料，因此可以减少所产生的应力差并且改善折叠特性。216.包括第一层110、第二层120和第三层130的基板100的总厚度可以是大约1mm。具体地，基板100的厚度可以为0.5mm至1.5mm。当基板100的厚度小于0.5mm时，基板100的强度可能降低，而当基板100的厚度超过1.5mm时，基板100的折叠特性可能降低。217.第一层110、第二层120和第三层130可以形成为具有相同或不同的厚度。218.例如，可以形成有孔的第一层110的厚度tl大于第二层120的厚度t2和第三层130的厚度t3。具体地，为了减小显示器用基板的曲率半径，必须增加第一孔h1的深度。因此，第一层110的厚度形成为大于第二层120和第三层130的厚度以增加第一孔h1的深度。219.或者，第二层120和第三层130的厚度之和(t2+t3)可以大于第一层110的厚度t1。具体地，当仅在第一层110的一个区域中形成第一孔h1时，为了防止由于与其他区域的应力差而可能发生的显示器用基板的翘曲，第二层120和第三层130的厚度之和(t2+t3)可以形成为大于第一层110的厚度。220.因此，当显示器用基板由于对于第一层110的每个区域具有不同的应力水平而将要弯曲时，第一层110上的第二层120和第三层130可以对其进行保持，从而可以防止显示器用基板的翘曲。221.或者，第一层110、第二层120和第三层130可以具有相同的厚度，以防止显示器用基板弯曲和具有所期望的曲率半径。222.此外，第一层110、第二层120和第三层130可以具有相同和相似的弹性强度。例如，第一层110、第二层120和第三层130可以具有大约300pa至2.5gpa的弹性强度。223.根据显示器用基板的用途，第一层110、第二层120和第三层130可以具有相同或不同的弹性强度。224.即，如上所述，当增加第一层110的厚度以增加在第一层110中形成的第一孔的深度时，第一层110的弹性强度可以大于第二层120和第三层130的弹性强度。因此，可以抵消由于第一层110的厚度增加而导致的折叠特性的降低。225.或者，当第二层120和第三层130的厚度增加以控制显示器用基板的翘曲时，第二层120和第三层130的弹性强度可以大于第一层110的弹性强度。因此，可以抵消由于第二层120和第三层130的厚度增加而导致的折叠特性的降低。226.图13和14是根据第二实施例的显示器用基板的一个表面和另一表面的俯视图。227.参考图13和图14，可以在显示器用基板中形成通过部分地蚀刻基板100而形成的多个凹槽。具体地，穿过第一层110形成的第一孔h1形成在基板100的第一层110中。因此，显示器用基板整体上具有多个凹槽。228.此外，可以在基板100的第二层120和第三层130中不形成单独的孔图案。具体地，第二层120和第三层130的一个表面可以形成为平坦的。229.即，第二层120可以设置为覆盖第一层110中形成有第一孔hl的区域和未形成第一孔hl的区域，并且第三层130可以设置为覆盖第二层的区域。230.在这种情况下，第二层120和第三层130的厚度之和可以大于第一层110的厚度。即，由于仅在第一区域(即，第一层110中的折叠区域)中形成第一孔h1，所以在第一区域与第二区域(即，展开区域)之间可能出现应力差。由于该应力差，第一层110可能发生翘曲，并且整体上，显示器用基板可能发生翘曲。231.因此，第二层120和第三层130的厚度之和形成为大于第一层110的厚度，然后可以防止由于第一层110的应力差引起的弯曲。即，可以通过第二层120和第三层130来控制显示器用基板的弯曲。232.同时，根据第二实施例的显示器用基板的孔和铰接部的描述与上述根据第一实施例的显示器用基板的孔和铰接部的描述相同，因此将省略以下描述。233.同时，参考图15和图16，在根据第二实施例的显示器用基板中，可以在基板的整个区域中形成孔。234.参考图15和16，可以在第一层110中的第一区域1a和第二区域2a这两者中形成孔。具体地，第二孔h2也可以形成在定义为展开区域的第二区域2a中。即，可以在显示器用基板的整个区域中形成孔。235.在这种情况下，第一层110的厚度可以大于第二层120和第三层130的厚度之和。236.因此，第一层110的厚度可以大于第二层120和第三层130的厚度之和。也就是说，由于在第一层110的整个区域中形成孔，所以可以减小用于防止第一层的翘曲的第二层120和第三层130的厚度，可以增加在第一层中形成的孔的深度。因此，通过减小显示器用基板的曲率半径，可以改善显示器用基板的折叠特性。237.图17是用于描述应用了根据实施例的显示器用基板的示例的视图。238.参考图17，根据实施例的显示器用基板可以应用于显示显示器的柔性显示装置。239.例如，根据实施例的显示器用基板可以应用于诸如手机或平板电脑的柔性显示装置。240.这种显示器用基板可以应用于诸如移动电话、平板电脑等的柔性显示装置，这种柔性显示装置是柔性的、可弯曲的或可折叠的。241.显示器用基板应用于诸如移动电话、平板电脑等的柔性显示装置，这种柔性显示装置是柔性的、可弯曲或可折叠的，并且显示器用基板可以通过提高被反复折叠或复原的显示装置的折叠可靠性来提高柔性显示装置的可靠性。242.在上述实施例中描述的特征、结构、效果等被包括在本发明的至少一个实施例中，但不限于仅一个实施例。此外，本领域技术人员可以将各实施例中说明的特征、结构和效果组合或修改用于其他实施例。因此，应当理解，这样的组合和修改被包括在本发明的范围内。243.另外，以上主要对实施例进行了描述，但这些实施例仅是示例，并不用于限制本发明，本领域的技术人员可以理解，在不脱离实施例的基本特征的情况下，可以做出以上未提出的若干变化和应用。例如，可以改变实施例中具体呈现的部件。另外，应当理解，与这些变化和应用相关的差异被包括在所附权利要求所限定的本发明的范围内。









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