一种等离子刻蚀机硅片定压夹具的制作方法

电气元件制品的制造及其应用技术1.本实用新型属于制造设备技术领域，更具体地说，特别涉及一种等离子刻蚀机硅片定压夹具。背景技术：2.等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，那么等离子刻蚀机的重要应用就是针对硅片进行加工，这时候一款好的等离子刻蚀机硅片定压夹具就显得尤为重要。3.基于上述，本发明人发现，现有的等离子刻蚀机硅片定压夹具未设置夹装检测装置，导致无法对硅片夹装后的参数进行检测，硅片夹装误差过大会增加次品率以及生产成本，未设置翻转角度定位装置，大大降低加工的灵活性，无法快速翻面加工，降低工作效率，未设置辅助定位装置，大大降低了加工的精度。4.于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种等离子刻蚀机硅片定压夹具，以期达到更具有更加实用价值性的目的。技术实现要素：5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种等离子刻蚀机硅片定压夹具，以解决现有的等离子刻蚀机硅片定压夹具未设置夹装检测装置，导致无法对硅片夹装后的参数进行检测，硅片夹装误差过大会增加次品率以及生产成本，未设置翻转角度定位装置，大大降低加工的灵活性，无法快速翻面加工，降低工作效率，未设置辅助定位装置，大大降低了加工的精度的问题。6.本实用新型等离子刻蚀机硅片定压夹具的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：7.一种等离子刻蚀机硅片定压夹具，包括支撑部；8.所述支撑部两侧固定连接有安装板；支撑部上滑动连接有两个夹紧装置；两个夹紧装置上安装有驱动装置；支撑部上安装有翻面驱动部；9.移动部，移动部固定连接在支撑部上，且移动部上滑动连接有浮动定位部。10.进一步的，所述夹紧装置包括：11.夹板，夹板设有两个，且两个夹板两侧分别滑动连接在翻转架上；两个夹板内侧均固定连接有缓冲胶垫；12.复位拉簧，复位拉簧固定连接在两个夹板之间。13.进一步的，所述移动部包括：14.滑动轨道，滑动轨道固定连接在支撑架侧面；15.滑动支架，滑动支架底部通过滑块滑动连接在滑动轨道上。16.进一步的，所述驱动装置包括：17.驱动齿条，驱动齿条设有两个，两个驱动齿条分别安装在两个夹板上；18.驱动齿轮，驱动齿轮转动连接在翻转架侧面；且驱动齿轮啮合连接在两个驱动齿条之间。19.进一步的，所述支撑部包括：20.支撑架，支撑架固定连接在两个安装板上；21.翻转架，翻转架两侧旋转轴接在支撑架上，翻转架内部设有滑动槽。22.进一步的，所述浮动定位部包括：23.检测滑块，检测滑块滑动连接在滑动支架上；24.刻度轴，刻度轴滑动连接在检测滑块上，且刻度轴上套装有弹簧；25.浮动球头，浮动球头固定连接在刻度轴底部。26.进一步的，所述翻面驱动部包括：27.翻面齿轮，翻面齿轮固定连接在翻转架侧面轴端；28.螺纹杆，螺纹杆通过直接旋转轴接在支撑架底部，且螺纹杆啮合于翻面齿轮。29.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：30.1、本实用新型通过设置支撑部，采用了可以实现旋转的翻转架，同时配合设置的翻面驱动部，在翻转架侧面设置翻面齿轮，并且通过螺纹杆进行驱动的方式，在螺纹杆的转动下啮合带动翻面齿轮旋转，进而实现调节翻转架的定位而角度以实现翻转架的翻面操作，同时在翻转架上设置的夹紧装置则是通过复位拉簧的拉动，拉动两个夹板夹紧硅片，与此同时设置的驱动装置通过采用两个驱动齿条来啮合驱动齿轮的方式，实现带动两个夹板可以同时对向移动，通过设置驱动装置可以更加便于在进行刻蚀时定位硅片中心，整体有效的提高了加工精度，同时使用更加灵活。31.2、本实用新型通过设置移动部，采用滑动轨道滑动连接滑动支架来实现横向的移动，再通过检测滑块滑动连接滑动支架，共同实现了全覆盖定位浮动检测，检测数据更加精确，通过采用设置的刻度轴底部安装浮动球头，在弹簧挤压下使浮动球头接触多个不同位置的硅片时，通过观察刻度轴即可测得硅片表面固定平整度，防止硅片固定不平整导致刻蚀误差过大，设置浮动定位部可以有效的降低次品率以及降低生产成本。附图说明32.图1是本实用新型的结构示意图。33.图2是本实用新型的底部结构示意图。34.图3是本实用新型的内部结构示意图。35.图4是本实用新型的移动部结构示意图。36.图5是本实用新型的浮动定位部结构示意图。37.图6是本实用新型的夹紧装置结构示意图。38.图7是本实用新型的驱动装置结构示意图。39.图8是本实用新型的翻面驱动部结构示意图。40.图中，部件名称与附图编号的对应关系为：41.1、支撑部；42.101、支撑架；102、翻转架；43.2、移动部；44.201、滑动轨道；202、滑动支架；45.3、浮动定位部；46.301、检测滑块；302、刻度轴；303、浮动球头；47.4、夹紧装置；48.401、夹板；402、复位拉簧；49.5、驱动装置；50.501、驱动齿条；502、驱动齿轮；51.6、翻面驱动部；52.601、翻面齿轮；602、螺纹杆；53.7、安装板。具体实施方式54.下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。55.在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。56.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。57.实施例：58.如附图1至附图8所示：59.本实用新型提供一种等离子刻蚀机硅片定压夹具，包括支撑部1；支撑部1两侧固定连接有安装板7；支撑部1上滑动连接有两个夹紧装置4；两个夹紧装置4上安装有驱动装置5；支撑部1上安装有翻面驱动部6；移动部2，移动部2固定连接在支撑部1上，且移动部2上滑动连接有浮动定位部3。60.如附图3、6、7、8所示，支撑部1包括：支撑架101，支撑架101固定连接在两个安装板7上；翻转架102，翻转架102两侧旋转轴接在支撑架101上，翻转架102内部设有滑动槽；夹紧装置4包括：夹板401，夹板401设有两个，且两个夹板401两侧分别滑动连接在翻转架102上；两个夹板401内侧均固定连接有缓冲胶垫；复位拉簧402，复位拉簧402固定连接在两个夹板401之间；驱动装置5包括：驱动齿条501，驱动齿条501设有两个，两个驱动齿条501分别安装在两个夹板401上；驱动齿轮502，驱动齿轮502转动连接在翻转架102侧面；且驱动齿轮502啮合连接在两个驱动齿条501之间；设置支撑部1，采用了可以实现旋转的翻转架102，同时配合设置的翻面驱动部6，在翻转架102侧面设置翻面齿轮 601，并且通过螺纹杆602进行驱动的方式，在螺纹杆602的转动下啮合带动翻面齿轮601旋转，进而实现调节翻转架102的定位而角度以实现翻转架的翻面操作，同时在翻转架102上设置的夹紧装置4则是通过复位拉簧402的拉动，拉动两个夹板401夹紧硅片，与此同时设置的驱动装置5通过采用两个驱动齿条501来啮合驱动齿轮502的方式，实现带动两个夹板401可以同时对向移动，通过设置驱动装置5可以更加便于在进行刻蚀时定位硅片中心，整体有效的提高了加工精度，同时使用更加灵活。61.如附图4、5所示，移动部2包括：滑动轨道201，滑动轨道201固定连接在支撑架101 侧面；滑动支架202，滑动支架202底部通过滑块滑动连接在滑动轨道201上；浮动定位部3 包括：检测滑块301，检测滑块301滑动连接在滑动支架202上；刻度轴302，刻度轴302滑动连接在检测滑块301上，且刻度轴302上套装有弹簧；浮动球头303，浮动球头303固定连接在刻度轴302底部；设置移动部2，采用滑动轨道201滑动连接滑动支架202来实现横向的移动，再通过检测滑块301滑动连接滑动支架202，共同实现了全覆盖定位浮动检测，检测数据更加精确，通过采用设置的刻度轴302底部安装浮动球头303，在弹簧挤压下使浮动球头303接触多个不同位置的硅片时，通过观察刻度轴302表面固定平整度，防止硅片固定不平整导致刻蚀误差过大，设置浮动定位部3可以有效的降低次品率以及降低生产成本。62.在另一实施例中，其他结构不变，本实施例提供另一种浮动球头303的结构形式，在浮动球头303底部固定连接防护胶垫，通过在浮动球头303底部设置防护胶垫可以进一步保护硅片表面不被磨损。63.本实施例的具体使用方式与作用：64.本实用新型中，首先将设备通过设置的两个安装板7固定连接在等离子刻蚀机上，随后即可进行硅片定压夹装工作，首先滑动夹板401，两个夹板401在两个驱动齿条501来啮合驱动齿轮502的方式，实现带动两个夹板401可以同时对向移动，将硅片放置在两个夹板401 之间后，在复位拉簧402拉动下，配合驱动装置5对硅片进行中心固定定位，随后，即可通过滑动轨道201滑动连接滑动支架202来实现横向的移动，再通过检测滑块301滑动连接滑动支架202来多向调节，在弹簧挤压下使浮动球头303接触多个不同位置的硅片时，通过观察刻度轴302表面固定平整度，过程中可以通过螺纹杆602的转动下啮合带动翻面齿轮601 旋转，带动调节翻转架102实现最终实现等离子刻蚀机硅片定压夹具的使用。65.本实用新型未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。66.本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。









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