树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件与流程

有机化合物处理,合成应用技术1.本发明涉及一种树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。背景技术：2.由于聚酰亚胺的耐热性及绝缘性等优异，因此适用于各种用途。作为上述用途并无特别限定，若举例实际安装用半导体器件，则可以举出作为绝缘膜或密封件的材料或者保护膜的利用。并且，也用作可挠性基板的基底膜(base film)或覆盖膜(coverlay film)等。3.例如在上述用途中，聚酰亚胺以包含聚酰亚胺本身的树脂组合物或包含聚酰亚胺的前体(也称为“聚酰亚胺前体”。)的树脂组合物的方式使用。将这样的树脂组合物例如通过涂布等适用于基材，然后根据需要进行曝光、显影、加热等，从而能够将经固化的树脂形成于基材上。由于能够通过公知的涂布方法等适用树脂组合物，因此可以说在制造上的适应性优异，例如所适用的树脂组合物的形状、大小、适用位置等设计自由度高等。除了聚酰亚胺所具有的高性能以外，从这样的制造上的适应性优异的观点考虑，包含聚酰亚胺或聚酰亚胺前体的树脂组合物在产业上的应用开发越来越受到期待。4.例如，在专利文献1中，记载有如下负型感光性树脂组合物，其包含具有特定的结构单元的聚酰亚胺前体：100质量份、(b)光聚合引发剂：1～20质量份以及选自(c)具有特定的结构的化合物或其聚合物及(d)具有特定的结构的化合物或其聚合物中的至少一种化合物或其聚合物：0.1～30质量份。5.以往技术文献6.专利文献7.专利文献1：日本特开2011-059656号公报技术实现要素：8.发明要解决的技术课题9.进行如下步骤，即，使用包含选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂的树脂组合物而在金属层上形成固化膜。10.在这样的用途中，期望提供一种固化膜与金属的密合性优异的树脂组合物。11.本发明的目的在于提供一种树脂组合物、将上述树脂组合物固化而成的固化膜、包括上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包括上述固化膜或上述层叠体的半导体器件，该树脂组合物可以获得与金属的密合性优异的固化膜。12.用于解决技术课题的手段13.将本发明的代表性实施方式的例子示于以下。14.＜1＞一种树脂组合物，其包含选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂，15.在固体成分中包含式(1-1)所表示的结构。16.[化学式1][0017][0018]式(1-1)中，r1及r2分别独立地表示脂肪族基或芳香族基，上述脂肪族基或芳香族基的碳原子或烃基可以经杂原子取代，x1表示氧原子或硫原子，l1表示-c(＝o)-或-s(＝o)2-，*1及*2分别独立地表示与其他结构的键合部位，r1、r2、与*1键合的结构及与*2键合的结构中的至少2个可以键合而形成环结构。[0019]＜2＞如＜1＞所述的树脂组合物，其中，上述树脂包含上述式(1-1)所表示的结构。[0020]＜3＞如＜1＞或＜2＞所述的树脂组合物，其为包含上述式(1-1)所表示的结构的化合物且还包含与上述树脂不同的化合物。[0021]＜4＞如＜1＞至＜3＞中任一项所述的树脂组合物，其包含下述式(1-2)所表示的结构作为上述式(1-1)所表示的结构。[0022][化学式2][0023][0024]式(1-2)中，r21及r22分别独立地表示脂肪族基或芳香族基，上述脂肪族基或芳香族基的碳原子或烃基可以经杂原子取代，r23表示氢原子或1价的有机基团，*表示与其他结构的键合部位，r21、r22、r23及与*键合的结构中的至少2个可以键合而形成环结构。[0025]＜5＞如＜1＞至＜4＞中任一项所述的树脂组合物，其中，上述式(1-1)所表示的结构的含有摩尔量相对于树脂组合物的总固体成分为0.01～1.0mmol/g。[0026]＜6＞如＜1＞至＜5＞中任一项所述的树脂组合物，其还包含光聚合引发剂。[0027]＜7＞如＜1＞至＜6＞中任一项所述的树脂组合物，其还包含交联剂。[0028]＜8＞如＜1＞至＜7＞中任一项所述的树脂组合物，其用于再配线层用层间绝缘膜的形成。[0029]＜9＞一种固化膜，其是将＜1＞至＜8＞中任一项所述的树脂组合物固化而成的。[0030]＜10＞一种层叠体，其具有2层以上的＜9＞所述的固化膜，并且在任意上述固化膜彼此之间具有金属层。[0031]＜11＞一种固化膜的制造方法，其包括将＜1＞至＜8＞中任一项所述的树脂组合物适用于基板而形成膜的膜形成工序。[0032]＜12＞如＜11＞所述的固化膜的制造方法，其包括在50～450℃下对上述膜进行加热的工序。[0033]＜13＞一种半导体器件，其具有＜9＞所述的固化膜或＜10＞所述的层叠体。[0034]发明效果[0035]根据本发明，可以提供一种树脂组合物、将上述树脂组合物固化而成的固化膜、包括上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包括上述固化膜或上述层叠体的半导体器件，该树脂组合物可以获得与金属的密合性优异的固化膜。具体实施方式[0036]以下，对本发明的主要实施方式进行说明。然而，本发明并不限于所明示的实施方式。[0037]在本说明书中，使用“～”这样的记号表示的数值范围是指将记载于“～”的前后的数值分别作为下限值及上限值而包含的范围。[0038]在本说明书中，“工序”这一用语不仅表示独立的工序，只要能够实现该工序所预期的作用，则也表示包括无法与其他工序明确区分的工序。[0039]关于本说明书中的基团(原子团)的标记，未标注经取代及未经取代的标记同时包括不具有取代基的基团(原子团)和具有取代基的基团(原子团)。例如，“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基)，而且还包含具有取代基的烷基(取代烷基)。[0040]在本说明书中，除非另有说明，则“曝光”不仅包括利用光的曝光，而且还包括利用电子束、离子束等粒子束的曝光。并且，作为用于曝光的光，可以举出汞灯的明线光谱、以准分子激光为代表的远紫外线、极紫外线(euv光)、x射线、电子束等光化射线或放射线。[0041]在本说明书中，“(甲基)丙烯酸酯”表示“丙烯酸酯”及“甲基丙烯酸酯”这两者或其中任一者，“(甲基)丙烯酸”表示“丙烯酸”及“甲基丙烯酸”这两者或其中任一者，“(甲基)丙烯酰基”表示“丙烯酰基”及“甲基丙烯酰基”这两者或其中任一者。[0042]在本说明书中，结构式中的me表示甲基，et表示乙基，bu表示丁基，ph表示苯基。[0043]在本说明书中，总固体成分是指组合物的所有成分中除了溶剂以外的成分的总质量。并且，在本说明书中，固体成分浓度为除了溶剂以外的其他成分相对于组合物的总质量的质量百分率。[0044]在本说明书中，除非另有说明，则重均分子量(mw)及数均分子量(mn)按照凝胶渗透色谱法(gpc测定)被定义为聚苯乙烯换算值。在本说明书中，重均分子量(mw)及数均分子量(mn)例如能够通过使用hlc-8220gpc(tosoh corporation制造)，并且使用保护管柱hz-l、tskgel super hzm-m、tskgel super hz4000、tskgel super hz3000、tskgel super hz2000(tosoh corporation制造)作为管柱来求出。除非另有说明，则这些分子量为使用thf(四氢呋喃)作为洗脱液进行测定的分子量。并且，除非另有说明，则gpc测定中的检测设为使用uv线(紫外线)的波长254nm检测器的检测。[0045]在本说明书中，关于构成层叠体的各层的位置关系，当记载为“上”或“下”时，只要在所关注的多个层中成为基准的层的上侧或下侧具有其他层即可。即，可以在成为基准的层与上述其他层之间进一步介入有第3层或第3要素，并且成为基准的层与上述其他层无需接触。并且，除非另有说明，则将对于基材逐渐堆叠层的方向称为“上”，或者，在具有感光层的情况下，将从基材朝向感光层的方向称为“上”，将其相反方向称为“下”。另外，这样的上下方向的设定是为了便于说明本说明书，在实际方式中，本说明书中的“上”方向也有可能与铅垂向上不同。[0046]在本说明书中，除非另有记载，则在组合物中，作为组合物中所包含的各成分，可以包含对应于该成分的两种以上的化合物。并且，除非另有记载，则组合物中的各成分的含量表示对应于该成分的所有化合物的合计含量。[0047]在本说明书中，除非另有说明，则温度为23℃，气压为101,325pa(1个气压)，相对湿度为50％rh。[0048]在本说明书中，优选方式的组合为更优选方式。[0049](树脂组合物)[0050]本发明的树脂组合物(以下，也简称为“本发明的组合物”。)包含选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂，并且在固体成分中包含式(1-1)所表示的结构。[0051]以下，将选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂也称为“特定树脂”。[0052][化学式3][0053][0054]式(1-1)中，r1及r2分别独立地表示脂肪族基或芳香族基，上述脂肪族基或芳香族基的碳原子或烃基可以经杂原子取代，x1表示氧原子或硫原子，l1表示-c(＝o)-或-s(＝o)2-，*1及*2分别独立地表示与其他结构的键合部位，r1、r2、与*1键合的结构及与*2键合的结构中的至少2个可以键合而形成环结构。[0055]进行如下步骤，即，使用包含选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂的树脂组合物而在金属层上形成固化膜。[0056]上述固化膜例如在各种器件中用于绝缘膜、密封件的材料、保护膜、可挠性基板的基底膜、覆盖膜等用途。[0057]在这样的形成于金属层上的固化膜中，要求固化膜不易从金属层剥离，即，金属层与固化膜的密合性优异。[0058]本发明人等进行深入探讨的结果，发现了在上述树脂组合物中，通过在固体成分中包含式(1-1)所表示的结构，可以提高金属层与固化膜的密合性。[0059]可以获得上述效果的机制虽尚不明确，但是推测这是因为由上述树脂组合物形成的固化膜中所包含的结构与金属层中所包含的金属相互作用，尚不明确。[0060]并且，认为通过上述相互作用，并根据本发明的树脂组合物，即使在对上述固化膜及上述金属层进行加热(例如，在175℃下加热1,000小时)的情况下，固化膜与金属层的密合性优异。[0061]其中，在专利文献1中，对在固体成分中包含式(1-1)所表示的结构的树脂组合物没有记载也没有建议。[0062]以下，对本发明的树脂组合物进行详细说明。[0063]＜式(1-1)所表示的结构＞[0064]式(1-1)所表示的结构只要在树脂组合物的固体成分中包含即可，例如可以在特定树脂的结构中包含式(1-1)所表示的结构，树脂组合物也可以含有包含上述式(1-1)所表示的结构且与上述树脂不同的化合物(以下，也称为“特定化合物”。)。[0065]并且，树脂组合物可以包含具有式(1-1)所表示的结构的树脂，且包含特定化合物。[0066]〔r1及r2〕[0067]式(1-1)中，r1及r2分别独立地表示脂肪族基或芳香族基，优选为脂肪族烃基或芳香族烃基，更优选为脂肪族烃基。[0068]作为上述脂肪族烃基，优选为碳原子数1～20的饱和脂肪族烃基，更优选为碳原子数3～10的饱和脂肪族烃基，进一步优选为碳原子数3～6的饱和脂肪族烃基，更优选为异丙基或环己基。[0069]上述脂肪族烃基可以具有公知的取代基，但是不具有取代基也为本发明的优选方式之一。[0070]作为上述芳香族烃基，优选为碳原子数6～20的芳香族烃基，更优选为苯基或萘基，进一步优选为苯基。[0071]上述芳香族烃基可以具有公知的取代基，可以举出烷基作为取代基。作为上述烷基，优选为碳原子数1～10的烷基，更优选为碳原子数3～10的支链烷基或碳原子数5～10的环状烷基，进一步优选为碳原子数3～6的支链烷基，尤其优选为异丙基。[0072]上述取代基的数量并无特别限定，但是优选为1～5，更优选为1～3，进一步优选为2。[0073]并且，r1及r2中的脂肪族基或芳香族基的碳原子或烃基可以经杂原子取代。作为杂原子，可以举出氧原子、氮原子、硫原子等。具体而言，在脂肪族基或芳香族基的内部可以包含-o-、-nrn-、-n＝、-s-等的结构。上述rn表示氢原子或烃基，更优选为氢原子、烷基或芳基，进一步优选为氢原子或烷基，尤其优选为氢原子。[0074]〔x1〕[0075]式(1-1)中，x1表示氧原子或硫原子，优选为氧原子。[0076]〔l1〕[0077]式(1-1)中，l1表示-c(＝o)-或-s(＝o)2-，优选为-c(＝o)-。[0078]〔环结构〕[0079]式(1-1)中，r1、r2、与*1键合的结构及与*2键合的结构中的至少2个可以键合而形成环结构。作为所形成的环结构，可以举出乙内酰脲环、n-酰基咪唑啉酮环等，但是并不限定于这些。[0080]并且，在本发明中，r1、r2、与*1键合的结构及与*2键合的结构中的任一者不形成环结构的方式也为优选方式之一。[0081]＜式(1-2)所表示的结构＞[0082]本发明的树脂组合物优选包含下述式(1-2)所表示的结构作为式(1-1)所表示的结构。[0083][化学式4][0084][0085]式(1-2)中，r21及r22分别独立地表示脂肪族基或芳香族基，上述脂肪族基或芳香族基的碳原子或烃基可以经杂原子取代，r23表示氢原子或1价的有机基团，*表示与其他结构的键合部位，r21、r22、r23及与*键合的结构中的至少2个可以键合而形成环结构。[0086]〔r21及r22〕[0087]式(1-2)中，r21及r22分别与式(1-1)中的r1及r2的含义相同，优选方式也相同。[0088]〔r23〕[0089]式(1-2)中，r23表示氢原子或1价的有机基团，优选为氢原子、脂肪族烃基或芳香族烃基，进一步优选为氢原子。[0090]作为上述脂肪族烃基或芳香族烃基，可以举出上述r1中的脂肪族烃基或芳香族烃基，优选方式也相同。[0091]〔环结构〕[0092]式(1-2)中，r21、r22、r23及与*键合的结构中的至少2个可以键合而形成环结构。作为所形成的环结构，可以举出乙内酰脲环、n-酰基咪唑啉酮环等，但是并不限定于这些。[0093]并且，在本发明中，r21、r22、r23及与*键合的结构中的任一者不形成环结构的方式也为优选方式之一。[0094]〔含量〕[0095]从提高密合性的观点考虑，式(1-1)所表示的结构的含有摩尔量相对于树脂组合物的总固体成分优选为0.01～1.0mmol/g，更优选为0.01～0.85mmol/g，进一步优选为0.015～0.75mmol/g。[0096]认为只要上述含有摩尔量为上述下限值以下，则容易获得与金属的密合性优异的固化膜。[0097]并且，认为只要上述含有摩尔量为上述上限值以下，则容易获得例如抑制聚酰亚胺前体的环化、抑制特定树脂的主链的断裂等组合物的保存稳定性优异的固化膜。[0098]作为上述含量的测定方法，并无特别限定，但是例如可以举出后述实施例中的测定方法。[0099]作为上述总固体成分的测定方法，并无特别限定，但是例如可以举出后述实施例中的测定方法，并且可以举出一边确认树脂组合物除了溶剂以外没有挥发成分一边设定温度及气压并进行干燥的方法。但是，作为总固体成分的测定方法，只要为能够决定树脂组合物中的除了溶剂以外的成分的含量作为总固体成分的方法即可，并不限定于此。[0100]上述含量为相对于树脂组合物的总固体成分的式(1-1)所表示的结构的含有摩尔量，例如在树脂组合物包含具有式(1-1)所表示的结构的树脂且包含特定化合物的情况下，优选树脂中所包含的式(1-1)所表示的结构和特定化合物中所包含的式(1-1)所表示的结构的合计量在上述范围内。[0101]＜树脂＞[0102]本发明的树脂组合物包含选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂(特定树脂)。[0103]本发明的树脂组合物优选包含聚酰亚胺前体作为特定树脂。[0104]并且，优选特定树脂具有自由基聚合性基团。[0105]在特定树脂具有自由基聚合性基团的情况下，树脂组合物优选包含后述自由基聚合引发剂作为聚合引发剂，更优选包含后述自由基聚合引发剂作为感光剂且包含后述自由基交联剂，进一步优选包含后述自由基聚合引发剂作为聚合引发剂、包含后述自由基交联剂且包含后述增感剂。由这样的树脂组合物例如形成负型感光层。[0106]并且，特定树脂可以具有酸分解性基等极性转换基。[0107]在特定树脂具有酸分解性基的情况下，树脂组合物优选包含后述光产酸剂。由这样的树脂组合物例如形成作为化学增幅型的正型感光层或负型感光层。[0108]并且，特定树脂优选包含式(1-1)所表示的结构。[0109]式(1-1)所表示的结构的优选方式如上所述。[0110]在特定树脂包含式(1-1)所表示的结构的情况下，特定树脂可以在主链中具有式(1-1)所表示的结构，但是优选在侧链中具有。[0111]在本说明书中，“主链”是指在构成树脂的高分子化合物的分子中相对最长的键合链，“侧链”是指除此以外的键合链。[0112]在特定树脂包含式(1-1)所表示的结构的情况下，特定树脂优选包含后述式(2-1)所表示的重复单元或者在末端包含后述式(2-2)所表示的结构。[0113]并且，树脂组合物可以包括包含式(1-1)所表示的结构的特定树脂和不包含式(1-1)所表示的结构的特定树脂。[0114]〔聚酰亚胺前体〕[0115]本发明中所使用的聚酰亚胺前体的其种类等并无特别规定，但是优选包含下述式(2)所表示的重复单元。[0116][化学式5][0117][0118]式(2)中，a1及a2分别独立地表示氧原子或nh，r111表示2价的有机基团，r115表示4价的有机基团，r113及r114分别独立地表示氢原子或1价的有机基团。[0119]式(2)中的a1及a2分别独立地表示氧原子或nh，优选为氧原子。[0120]式(2)中的r111表示2价的有机基团。作为2价的有机基团，可以例示出包含直链或支链的脂肪族基、环状脂肪族基及芳香族基的基团，优选为包括碳原子数2～20的直链或支链脂肪族基、碳原子数6～20的环状脂肪族基、碳原子数6～20的芳香族基或这些的组合的基团，更优选为包含碳原子数6～20的芳香族基的基团。作为本发明的尤其优选实施方式，可以例示出-ar-l-ar-所表示的基团。其中，ar分别独立地为芳香族基，l为包括可以经氟原子取代的碳原子数1～10的脂肪族烃基、-o-、-co-、-s-、-so2-或nhco-或上述中的2个以上的组合的基团。这些的优选范围如上所述。[0121]r111优选衍生自二胺。作为聚酰亚胺前体的制造中所使用的二胺，可以举出直链或支链脂肪族、环状脂肪族或芳香族二胺等。二胺可以仅使用一种，也可以使用两种以上。[0122]具体而言，优选为包含包括碳原子数2～20的直链或支链脂肪族基、碳原子数6～20的环状脂肪族基、碳原子数6～20的芳香族基或这些的组合的基团的二胺，更优选为包含包括碳原子数6～20的芳香族基的基团的二胺。作为芳香族基的例子，可以举出下述。[0123][化学式6][0124][0125]式中，a优选为单键或选自可以经氟原子取代的碳原子数1～10的脂肪族烃基、-o-、-c(＝o)-、-s-、-so2-、nhco-或这些的组合中的基团，更优选为选自单键、可以经氟原子取代的碳原子数1～3的亚烷基、-o-、-c(＝o)-、-s-或-so2-中的基团，进一步优选为-ch2-、-o-、-s-、-so2-、-c(cf3)2-或-c(ch3)2-。[0126]式中，*表示与其他结构的键合部位。[0127]作为二胺，具体而言，可以举出选自以下中的至少一种二胺：1,2-二氨基乙烷、1,2-二氨基丙烷、1,3-二氨基丙烷、1,4-二氨基丁烷及1,6-二氨基己烷；1,2-或1,3-二氨基环戊烷、1,2-、1,3-或1,4-二氨基环己烷、1,2-、1,3-或1,4-双(氨基甲基)环己烷、双-(4-氨基环己基)甲烷、双-(3-氨基环己基)甲烷、4,4’‑二氨基-3,3’‑二甲基环己基甲烷及异佛尔酮二胺；间或对苯二胺、二氨基甲苯、4,4’‑或3,3’‑二氨基联苯、4,4’‑二氨基二苯醚、3,3-二氨基二苯醚、4,4’‑及3,3’‑二氨基二苯基甲烷、4,4’‑及3,3’‑二氨基二苯基砜、4,4’‑及3,3’‑二氨基二苯硫醚、4,4’‑或3,3’‑二氨基二苯甲酮、3,3’‑二甲基-4,4’‑二氨基联苯、2,2’‑二甲基-4,4’‑二氨基联苯、3,3’‑二甲氧基-4,4’‑二氨基联苯、2,2-双(4-氨基苯基)丙烷、2,2-双(4-氨基苯基)六氟丙烷、2,2-双(3-羟基-4-氨基苯基)丙烷、2,2-双(3-羟基-4-氨基苯基)六氟丙烷、2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)丙烷、2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷、双(3-氨基-4-羟基苯基)砜、双(4-氨基-3-羟基苯基)砜、4,4’‑二氨基对联三苯、4,4’‑双(4-氨基苯氧基)联苯、双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]砜、双[4-(2-氨基苯氧基)苯基]砜、1,4-双(4-氨基苯氧基)苯、9,10-双(4-氨基苯基)蒽、3,3’‑二甲基-4,4’‑二氨基二苯基砜、1,3-双(4-氨基苯氧基)苯、1,3-双(3-氨基苯氧基)苯、1,3-双(4-氨基苯基)苯、3,3’‑二乙基-4,4’‑二氨基二苯基甲烷、3,3’‑二甲基-4,4’‑二氨基二苯甲烷、4,4’‑二氨基八氟联苯、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷、9,9-双(4-氨基苯基)-10-氢蒽、3,3’,4,4’‑四氨基联苯、3,3’,4,4’‑四氨基二苯醚、1,4-二氨基蒽醌、1,5-二氨基蒽醌、3,3-二羟基-4,4’‑二氨基联苯、9,9’‑双(4-氨基苯基)芴、4,4’‑二甲基-3,3’‑二氨基二苯基砜、3,3’,5,5’‑四甲基-4,4’‑二氨基二苯基甲烷、2,4-及2,5-二氨基枯烯、2,5-二甲基-对苯二胺、乙酰胍胺、2,3,5,6-四甲基-对苯二胺、2,4,6-三甲基-间苯二胺、双(3-氨基丙基)四甲基二硅氧烷、2,7-二氨基芴、2,5-二氨基吡啶、1,2-双(4-氨基苯基)乙烷、二氨基苯甲酰苯胺、二氨基苯甲酸的酯、1,5-二氨基萘、二氨基三氟甲苯、1,3-双(4-氨基苯基)六氟丙烷、1,4-双(4-氨基苯基)八氟丁烷、1,5-双(4-氨基苯基)十氟戊烷、1,7-双(4-氨基苯基)十四氟庚烷、2,2-双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷、2,2-双[4-(2-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)-3,5-二甲基苯基]六氟丙烷、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)-3,5-双(三氟甲基)苯基]六氟丙烷、对双(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)苯、4,4’‑双(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)联苯、4,4’‑双(4-氨基-3-三氟甲基苯氧基)联苯、4,4’‑双(4-氨基-2-三氟甲基苯氧基)二苯基砜、4,4’‑双(3-氨基-5-三氟甲基苯氧基)二苯基砜、2,2-双[4-(4-氨基-3-三氟甲基苯氧基)苯基]六氟丙烷、3,3’,5,5’‑四甲基-4,4’‑二氨基联苯、4,4’‑二氨基-2,2’‑双(三氟甲基)联苯、2,2’,5,5’,6,6’‑六氟三嗪及4,4’‑二氨基对联四苯。[0128]并且，也优选为国际公开第2017/038598号的0030～0031段中所记载的二胺(da-1)～(da-18)。[0129]并且，也可以优选地使用国际公开第2017/038598号的0032～0034段中所记载的在主链中具有2个以上的亚烷基二醇单元的二胺。[0130]从所获得的固化膜的柔软性的观点考虑，r111优选由-ar-l-ar-表示。其中，ar分别独立地为芳香族基，l为包括可以经氟原子取代的碳原子数1～10的脂肪族烃基、-o-、-co-、-s-、-so2-或nhco-或上述中的2个以上的组合的基团。ar优选为亚苯基，l优选为可以经氟原子取代的碳原子数1或2的脂肪族烃基、-o-、-co-、-s-或so2-。此处的脂肪族烃基优选为亚烷基。[0131]并且，从i射线透射率的观点考虑，r111优选为下述式(51)或式(61)所表示的2价的有机基团。尤其，从i射线透射率、易获得性的观点考虑，更优选为式(61)所表示的2价的有机基团。[0132]式(51)[0133][化学式7][0134][0135]式(51)中，r50～r57分别独立地为氢原子、氟原子或1价的有机基团，r50～r57中的至少1个为氟原子、甲基或三氟甲基。[0136]作为r50～r57的1价的有机基团，可以举出碳原子数1～10(优选为碳原子数1～6)的未取代烷基、碳原子数1～10(优选为碳原子数1～6)的氟化烷基等。[0137][化学式8][0138][0139]式(61)中，r58及r59分别独立地为氟原子或三氟甲基。[0140]作为提供式(51)或式(61)的结构的二胺化合物，可以举出2,2’‑二甲基联苯胺、2,2’‑双(三氟甲基)-4,4’‑二氨基联苯、2,2’‑双(氟)-4,4’‑二氨基联苯、4,4’‑二氨基八氟联苯等。这些可以使用一种或者组合使用两种以上。[0141]除此此外，也可以优选地使用以下的二胺。[0142][化学式9][0143][0144]式(2)中的r115表示4价的有机基团。作为4价的有机基团，优选为包含芳香环的4价的有机基团，更优选为下述式(5)或式(6)所表示的基团。[0145]式(5)或式(6)中，*表示与其他结构的键合部位。[0146]式(5)[0147][化学式10][0148][0149]式(5)中，r112优选为单键或选自可以经氟原子取代的碳原子数1～10的脂肪族烃基、-o-、-co-、-s-、-so2-及-nhco-以及这些的组合中的基团，更优选为单键、选自可以经氟原子取代的碳原子数1～3的亚烷基、-o-、-co-、-s-及so2-中的基团，进一步优选为选自-ch2-、-c(cf3)2-、-c(ch3)2-、-o-、-co-、-s-及so2-中的2价的基团。[0150]式(6)[0151][化学式11][0152][0153]具体而言，r115可以举出从四羧酸二酐中去除酸酐基之后残存的四羧酸残基等。四羧酸二酐可以仅使用一种，也可以使用两种以上。[0154]四羧酸二酐优选由下述式(o)表示。[0155]式(o)[0156][化学式12][0157][0158]式(o)中，r115表示4价的有机基团。r115的优选范围与式(2)中的r115的含义相同，优选范围也相同。[0159]作为四羧酸二酐的具体例，可以举出均苯四甲酸二酐(pmda)、3,3’,4,4’‑联苯四羧酸二酐、3,3’,4,4’‑二苯硫醚四羧酸二酐、3,3’,4,4’‑二苯基砜四羧酸二酐、3,3’,4,4’‑二苯甲酮四羧酸二酐、3,3’,4,4’‑二苯基甲烷四羧酸二酐、2,2’,3,3’‑二苯基甲烷四羧酸二酐、2,3,3’,4’‑联苯四羧酸二酐、2,3,3’,4’‑二苯甲酮四羧酸二酐、4,4’‑氧基二邻苯二甲酸二酐、2,3,6,7-萘四羧酸二酐、1,4,5,7-萘四羧酸二酐、2,2-双(3,4-二羧基苯基)丙烷二酐、2,2-双(2,3-二羧基苯基)丙烷二酐、2,2-双(3,4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐、1,3-二苯基六氟丙烷-3,3,4,4-四羧酸二酐、1,4,5,6-萘四羧酸二酐、2,2’,3,3’‑二苯基四羧酸二酐、3,4,9,10-苝四羧酸二酐、1,2,4,5-萘四羧酸二酐、1,4,5,8-萘四羧酸二酐、1,8,9,10-菲四羧酸二酐、1,1-双(2,3-二羧基苯基)乙烷二酐、1,1-双(3,4-二羧基苯基)乙烷二酐、1,2,3,4-苯四羧酸二酐以及这些的碳原子数1～6的烷基及碳原子数1～6的烷氧基衍生物。[0160]并且，作为优选例，也可以举出国际公开第2017/038598号的0038段中所记载的四羧酸二酐(daa-1)～(daa-5)。[0161]也优选r111和r115中的至少一者具有oh基。更具体而言，作为r111，可以举出双氨基苯酚衍生物的残基。[0162]r113及r114分别独立地表示氢原子或1价的有机基团，优选r113及r114中的至少一者包含聚合性基团，更优选两者包含聚合性基团。作为聚合性基团，为能够通过热、自由基等的作用而进行交联反应的基团，优选为自由基聚合性基团。作为聚合性基团的具体例，可以举出具有乙烯性不饱和键的基团、烷氧基甲基、羟基甲基、酰氧基甲基、环氧基、氧环丁基、苯并噁唑基、嵌段异氰酸酯基、羟甲基、氨基。作为聚酰亚胺前体等所具有的自由基聚合性基团，优选为具有乙烯性不饱和键的基团。[0163]作为具有乙烯性不饱和键的基团，可以举出乙烯基、(甲基)烯丙基、下述式(iii)所表示的基团等，优选为下述式(iii)所表示的基团。[0164][化学式13][0165][0166]式(iii)中，r200表示氢原子或甲基，优选为氢原子。[0167]式(iii)中，r201表示碳原子数2～12的亚烷基、-ch2ch(oh)ch2-或聚亚烷氧基。[0168]优选的r201的例子可以举出亚乙基、亚丙基、三亚甲基、四亚甲基、1,2-丁二基、1,3-丁二基、五亚甲基、六亚甲基、八亚甲基、十二亚甲基、-ch2ch(oh)ch2-、聚亚烷氧基，更优选为亚乙基、亚丙基、三亚甲基、-ch2ch(oh)ch2-、聚亚烷氧基，从在固化膜中容易满足式(1)或式(2)的观点考虑，进一步优选为聚亚烷氧基。[0169]在本发明中，聚亚烷氧基是指直接键合有2个以上的亚烷氧基的基团。聚亚烷氧基中所包含的多个亚烷氧基中的亚烷基分别可以相同也可以不同。[0170]在聚亚烷氧基包含不同亚烷基的多种亚烷氧基的情况下，聚亚烷氧基中的亚烷氧基的排列可以为无规排列，也可以为具有嵌段的排列，也可以为具有交替等图案的排列。[0171]上述亚烷基的碳原子数(在亚烷基具有取代基的情况下，包括取代基的碳原子数)优选为2以上，更优选为2～10，更优选为2～6，进一步优选为2～5，进一步优选为2～4，尤其优选为2或3，最优选为2。[0172]并且，上述亚烷基可以具有取代基。作为优选的取代基，可以举出烷基、芳基、卤素原子等。[0173]并且，聚亚烷氧基中所包含的亚烷氧基的数量(聚亚烷氧基的重复数)优选为2～20，更优选为2～10，进一步优选为2～6。[0174]作为聚亚烷氧基，从溶剂溶解性及耐溶剂性的观点考虑，优选为聚亚乙氧基、聚亚丙氧基、聚三亚甲氧基、聚四亚甲氧基或由多个亚乙氧基和多个亚丙氧基键合而成的基团，更优选为聚亚乙氧基或聚亚丙氧基，进一步优选为聚亚乙氧基。在由上述多个亚乙氧基和多个亚丙氧基键合而成的基团中，亚乙氧基和亚丙氧基可以无规排列，也可以形成嵌段而排列，也可以排列成交替等图案状。这些基团中的亚乙氧基等的重复数的优选方式如上所述。[0175]r113及r114分别独立地为氢原子或1价的有机基团。作为1价的有机基团，可以举出在构成芳基的碳中的1个、2个或3个上，优选为在1个上键合有酸性基的芳香族基及芳烷基等。具体而言，可以举出具有酸性基的碳原子数6～20的芳香族基、具有酸性基的碳原子数7～25的芳烷基。更具体而言，可以举出具有酸性基的苯基及具有酸性基的苄基。酸性基优选为oh基。[0176]r113或r114也更优选为氢原子、2-羟基苄基、3-羟基苄基及4-羟基苄基。[0177]从对有机溶剂的溶解度的观点考虑，r113或r114优选为1价的有机基团。作为1价的有机基团，优选包含直链或支链烷基、环状烷基、芳香族基，更优选为经芳香族基取代的烷基。[0178]烷基的碳原子数优选为1～30。烷基可以为直链、支链、环状中的任一种。作为直链或支链烷基，例如可以举出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十二烷基、十四烷基、十八烷基、异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、1-乙基戊基、2-乙基己基2-(2-(2-甲氧基乙氧基)乙氧基)乙氧基、2-(2-(2-乙氧基乙氧基)乙氧基)乙氧基)乙氧基、2-(2-(2-(2-甲氧基乙氧基)乙氧基)乙氧基)乙氧基及2-(2-(2-(2-乙氧基乙氧基)乙氧基)乙氧基)乙氧基。环状烷基可以为单环的环状烷基，也可以为多环的环状烷基。作为单环的环状烷基，例如可以举出环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基及环辛基。作为多环的环状烷基，例如可以举出金刚烷基、降冰片基、冰片基、莰烯基、十氢萘基、三环癸基、四环癸基、莰二酰基、二环己基及蒎烯基。其中，从与高灵敏度化的兼顾的观点考虑，最优选为环己基。并且，作为经芳香族基取代的烷基，优选为经后述芳香族基取代的直链烷基。[0179]作为芳香族基，具体而言为经取代或未经取代的苯环、萘环、并环戊二烯环、茚环、薁环、庚搭烯环、茚烯环、苝环、并五苯环、苊烯环、菲环、蒽环、并四苯环、环、三亚苯环、芴环、联苯环、吡咯环、呋喃环、噻吩环、咪唑环、噁唑环、噻唑环、吡啶环、吡嗪环、嘧啶环、哒嗪环、吲嗪环、吲哚环、苯并呋喃环、苯并噻吩环、异苯并呋喃环、喹嗪环、喹啉环、酞嗪环、萘啶环、喹噁啉环、喹噁唑啉环、异喹啉环、咔唑环、菲啶环、吖啶环、菲咯啉环、噻嗯环、苯并吡喃环、呫吨环、吩噁噻环、吩噻嗪环或吩嗪环。最优选为苯环。[0180]式(2)中，在r113为氢原子的情况或者在r114为氢原子的情况下，聚酰亚胺前体可以与具有乙烯性不饱和键的叔胺化合物形成抗衡盐。作为这样的具有乙烯性不饱和键的叔胺化合物的例子，可以举出甲基丙烯酸n,n-二甲基氨基丙酯。[0181]r113及r114中的至少一者也可以为酸分解性基等极性转换基。作为酸分解性基，只要为在酸的作用下分解而产生酚性羟基、羧基等碱溶性基的基团，则并无特别限定，但是优选为缩醛基、缩酮基、甲硅烷基、甲硅烷基醚基、叔烷基酯基等，从曝光灵敏度的观点考虑，更优选为缩醛基。[0182]作为酸分解性基的具体例，可以举出叔丁氧基羰基、异丙氧基羰基、四氢吡喃基、四氢呋喃基、乙氧基乙基、甲氧基乙基、乙氧基甲基、三甲基甲硅烷基、叔丁氧基羰基甲基、三甲基甲硅烷基醚基等。从曝光灵敏度的观点考虑，优选为乙氧基乙基或四氢呋喃基。[0183]并且，聚酰亚胺前体也优选在结构单元中具有氟原子。聚酰亚胺前体中的氟原子含量优选为10质量％以上，并且优选为20质量％以下。[0184]并且，以提高与基板的密合性为目的，聚酰亚胺前体可以与具有硅氧烷结构的脂肪族基共聚。具体而言，作为二胺成分，可以举出双(3-氨基丙基)四甲基二硅氧烷、双(对氨基苯基)八甲基五硅氧烷等。[0185]式(2)所表示的重复单元优选为式(2-a)所表示的重复单元。即，优选本发明中所使用的聚酰亚胺前体等中的至少一种为具有式(2-a)所表示的重复单元的前体。通过设为这样的结构，能够进一步扩大曝光宽容度的宽度。[0186]式(2-a)[0187][化学式14][0188][0189]式(2-a)中，a1及a2表示氧原子，r111及r112分别独立地表示2价的有机基团，r113及r114分别独立地表示氢原子或1价的有机基团，r113及r114中的至少一者为包含聚合性基团的基团，优选两者为聚合性基团。[0190]a1、a2、r111、r113及r114分别独立地与式(2)中的a1、a2、r111、r113及r114的含义相同，优选范围也相同。[0191]r112与式(5)中的r112的含义相同，优选范围也相同。[0192]聚酰亚胺前体可以包含一种式(2)所表示的重复结构单元，也可以包含两种以上。并且，也可以包含式(2)所表示的重复单元的结构异构体。并且，聚酰亚胺前体除了上述式(2)的重复单元以外，也可以包含其他种类的重复结构单元，这是不言而喻的。[0193]作为本发明中的聚酰亚胺前体的一实施方式，可以例示出所有重复单元的50摩尔％以上、进一步为70摩尔％以上、尤其为90摩尔％以上为式(2)所表示的重复单元的聚酰亚胺前体。[0194]并且，在聚酰亚胺前体具有式(1-1)所表示的结构的情况下，聚酰亚胺前体优选包含下述式(2-1)所表示的重复单元。[0195][化学式15][0196][0197]式(2-1)中，r111表示2价的有机基团，r115表示4价的有机基团，rx1及rx2分别独立地表示包含式(1-1)所表示的结构的基团或下述式(r-1)所表示的基团，rx1及rx2中的至少一者表示包含式(1-1)所表示的结构的基团。[0198][化学式16][0199][0200]式(r-1)中，a3表示氧原子或nh，rx3分别独立地表示氢原子或1价的有机基团，*表示与r115的键合部位。[0201]式(2-1)中，r111及r115分别与式(2)中的r111及r115的含义相同，优选方式也相同。[0202]式(2-1)中，rx1及rx2中的至少一者表示包含式(1-1)所表示的结构的基团。[0203]包含上述式(1-1)所表示的结构的基团优选为下述式(x-1)所表示的基团。[0204][化学式17][0205][0206]式(x-1)中，r1及r2分别独立地表示脂肪族基或芳香族基，上述脂肪族基或芳香族基的碳原子或烃基可以经杂原子取代，x1表示氧原子或硫原子，l1表示-c(＝o)-或-s(＝o)2-，*表示与r115的键合部位。[0207]式(x-1)中，r1、r2、x1及l1与式(1-1)中的r1、r2、x1及l1的含义相同，优选方式也相同。[0208]式(x-1)中，r3与式(1-2)中的r23的含义相同，优选方式也相同。[0209]作为式(x-1)所表示的基团的具体例，可以举出下述基团，但是并不限定于这些。下述式中，*表示与r115的键合部位。[0210][化学式18][0211][0212]式(2-1)中，rx1及rx2中的一者可以为式(r-1)所表示的基团。[0213]式(r-1)中，a3及rx3分别与式(2)中的a2及r113的含义相同，优选方式也相同。[0214]聚酰亚胺前体中的式(2-1)所表示的重复单元的含量并无特别限定，只要将相对于树脂组合物的总固体成分的式(1-1)所表示的结构的含有摩尔量适当调整为在上述范围内的量即可。[0215]聚酰亚胺前体中的式(x-1)所表示的基团的含量例如优选为0.01～1.0mmol/g，更优选为0.01～0.85mmol/g。[0216]聚酰亚胺前体的重均分子量(mw)优选为18,000～30,000，更优选为20,000～27,000，进一步优选为22,000～25,000。并且，数均分子量(mn)优选为7,200～14,000，更优选为8,000～12,000，进一步优选为9,200～11,200。[0217]上述聚酰亚胺前体的分子量的分散度优选为2.5以上，更优选为2.7以上，进一步优选为2.8以上。聚酰亚胺前体的分子量的分散度的上限值并无特别规定，例如优选为4.5以下，更优选为4.0以下，进一步优选为3.8以下，进一步优选为3.2以下，更进一步优选为3.1以下，再进一步优选为3.0以下，尤其优选为2.95以下。[0218]在本说明书中，分子量的分散度为利用重均分子量/数均分子量计算出的值。[0219]〔聚酰亚胺〕[0220]本发明中所使用的聚酰亚胺可以为碱溶性聚酰亚胺，也可以为可溶于以有机溶剂为主成分的显影液的聚酰亚胺。[0221]在本说明书中，碱溶性聚酰亚胺是指相对于100g的2.38质量％四甲基铵水溶液在23℃下溶解0.1g以上的聚酰亚胺，从图案形成性的观点考虑，优选为溶解0.5g以上的聚酰亚胺，进一步优选为溶解1.0g以上的聚酰亚胺。上述溶解量的上限并无特别限定，但是优选为100g以下。[0222]并且，从所获得的固化膜的膜强度及绝缘性的观点考虑，聚酰亚胺优选为在主链中具有多个酰亚胺结构的聚酰亚胺。[0223]在本说明书中，“主链”是指在构成树脂的高分子化合物的分子中相对最长的键合链，“侧链”是指除此以外的键合链。[0224]-氟原子-[0225]从所获得的固化膜的膜强度的观点考虑，聚酰亚胺优选具有氟原子。[0226]氟原子例如优选包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r132或后述式(4)所表示的重复单元中的r131中，更优选作为氟化烷基而包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r132或后述式(4)所表示的重复单元中的r131中。[0227]氟原子的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为1～50mol/g，更优选为5～30mol/g。[0228]-硅原子-[0229]从所获得的固化膜的膜强度的观点考虑，聚酰亚胺优选具有硅原子。[0230]硅原子例如优选包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r131中，更优选作为后述有机改性(聚)硅氧烷结构而包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r131中。[0231]并且，上述硅原子或上述有机改性(聚)硅氧烷结构也可以包含于聚酰亚胺的侧链中，但是优选包含于聚酰亚胺的主链中。[0232]硅原子的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为0.01～5mol/g，更优选为0.05～1mol/g。[0233]-乙烯性不饱和键-[0234]从所获得的固化膜的膜强度的观点考虑，聚酰亚胺优选具有乙烯性不饱和键。[0235]聚酰亚胺可以在主链末端具有乙烯性不饱和键，也可以在侧链中具有乙烯性不饱和键，但是优选在侧链中具有乙烯性不饱和键。[0236]上述乙烯性不饱和键优选具有自由基聚合性。[0237]乙烯性不饱和键优选包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r132或后述式(4)所表示的重复单元中的r131中，更优选作为具有乙烯性不饱和键的基团而包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r132或后述式(4)所表示的重复单元中的r131中。[0238]在这些之中，乙烯性不饱和键优选包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r131中，更优选作为具有乙烯性不饱和键的基团而包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r131中。[0239]作为具有乙烯性不饱和键的基团，可以举出乙烯基、烯丙基、乙烯基苯基等与芳香环直接键合且可以经取代的具有乙烯基的基团、(甲基)丙烯酰胺基、(甲基)丙烯酰氧基、下述式(iv)所表示的基团等。[0240][化学式19][0241][0242]式(iv)中，r20表示氢原子或甲基，优选为甲基。[0243]式(iv)中，r21表示碳原子数2～12的亚烷基、-o-ch2ch(oh)ch2-、-c(＝o)o-、-o(c＝o)nh-、碳原子数2～30的(聚)亚烷氧基(亚烷基的碳原子数优选为2～12，更优选为2～6，尤其优选为2或3；重复数优选为1～12，更优选为1～6，尤其优选为1～3)或将这些中的2个以上组合而成的基团。[0244]在这些之中，r21优选为下述式(r1)～式(r3)中的任一个所表示的基团，更优选为式(r1)所表示的基团。[0245][化学式20][0246][0247]式(r1)～式(r3)中，l表示单键或碳原子数2～12的亚烷基、碳原子数2～30的(聚)亚烷氧基或将这些中的2个以上键合而成的基团，x表示氧原子或硫原子，*表示与其他结构的键合部位，●表示与式(iii)中的r201所键合的氧原子的键合部位。[0248]式(r1)～式(r3)中，l中的碳原子数2～12的亚烷基或碳原子数2～30的(聚)亚烷氧基的优选方式与上述的r21中的碳原子数2～12的亚烷基或碳原子数2～30的(聚)亚烷氧基的优选方式相同。[0249]式(r1)中，x优选为氧原子。[0250]式(r1)～式(r3)中，*与式(iv)中的*的含义相同，优选方式也相同。[0251]式(r1)所表示的结构例如通过使具有酚性羟基等羟基的聚酰亚胺与具有异氰酸酯基及乙烯性不饱和键的化合物(例如，甲基丙烯酸2-异氰酸酯基乙酯等)进行反应而获得。[0252]式(r2)所表示的结构例如通过使具有羧基的聚酰亚胺与具有羟基及乙烯性不饱和键的化合物(例如，甲基丙烯酸2-羟乙酯等)进行反应而获得。[0253]式(r3)所表示的结构例如通过使具有酚性羟基等羟基的聚酰亚胺与具有缩水甘油基及乙烯性不饱和键的化合物(例如，甲基丙烯酸缩水甘油酯等)进行反应而获得。[0254]作为聚亚烷氧基，从溶剂溶解性及耐溶剂性的观点考虑，优选为聚亚乙氧基、聚亚丙氧基、聚三亚甲氧基、聚四亚甲氧基或由多个亚乙氧基和多个亚丙氧基键合而成的基团，更优选为聚亚乙氧基或聚亚丙氧基，进一步优选为聚亚乙氧基。在由上述多个亚乙氧基和多个亚丙氧基键合而成的基团中，亚乙氧基和亚丙氧基可以无规排列，也可以形成嵌段而排列，也可以排列成交替等图案状。这些基团中的亚乙氧基等的重复数的优选方式如上所述。[0255]式(iv)中，*表示与其他结构的键合部位，优选为与聚酰亚胺的主链的键合部位。[0256]乙烯性不饱和键的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为0.05～10mol/g，更优选为0.1～5mol/g。并且，在制造适性的观点上，乙烯性不饱和键的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为0.0001～0.1mol/g，更优选为0.0005～0.05mol/g。[0257]-除了乙烯性不饱和键以外的交联性基-[0258]聚酰亚胺可以具有除了乙烯性不饱和键以外的交联性基。[0259]作为除了乙烯性不饱和键以外的交联性基，可以举出环氧基、氧环丁基等环状醚基、甲氧基甲基等烷氧基甲基、羟甲基等。[0260]除了乙烯性不饱和键以外的交联性基例如优选包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r131中。[0261]除了乙烯性不饱和键以外的交联性基的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为0.05～10mol/g，更优选为0.1～5mol/g。并且，在制造适性的观点上，除了乙烯性不饱和键以外的交联性基的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为0.0001～0.1mol/g，更优选为0.001～0.05mol/g。[0262]-极性转换基-[0263]聚酰亚胺可以具有酸分解性基等极性转换基。聚酰亚胺中的酸分解性基与在上述式(2)中的r113及r114中所说明的酸分解性基相同，优选方式也相同。[0264]-酸值-[0265]在将聚酰亚胺供于碱显影的情况下，从提高显影性的观点考虑，聚酰亚胺的酸值优选为30mgkoh/g以上，更优选为50mgkoh/g以上，进一步优选为70mgkoh/g以上。[0266]并且，上述酸值优选为500mgkoh/g以下，更优选为400mgkoh/g以下，进一步优选为200mgkoh/g以下。[0267]并且，在将聚酰亚胺供于使用了以有机溶剂为主成分的显影液的显影(例如，后述“溶剂显影”)的情况下，聚酰亚胺的酸值优选为2～35mgkoh/g，更优选为3～30mgkoh/g，进一步优选为5～20mgkoh/g。[0268]上述酸值通过公知的方法进行测定，例如通过jis k 0070：1992中所记载的方法进行测定。[0269]并且，作为聚酰亚胺中所包含的酸基，从兼顾保存稳定性及显影性的观点考虑，优选为pka为0～10的酸基，更优选为3～8的酸基。[0270]pka是指考虑到从酸中释放氢离子的解离反应而将其平衡常数ka用其负的常用对数pka表示。[0271]作为这样的酸基，聚酰亚胺优选包含选自羧基及酚性羟基中的至少一种，更优选包含酚性羟基。[0272]-酚性羟基-[0273]从使基于碱显影液的显影速度成为适当的速度的观点考虑，聚酰亚胺优选具有酚性羟基。[0274]聚酰亚胺可以在主链末端中具有酚性羟基，也可以在侧链中具有酚性羟基。[0275]酚性羟基例如优选包含于后述式(4)所表示的重复单元中的r132或后述式(4)所表示的重复单元中的r131中。[0276]酚性羟基的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为0.1～30mol/g，更优选为1～20mol/g。[0277]作为本发明中所使用的聚酰亚胺，只要为具有酰亚胺环的高分子化合物，则并无特别限定，但是优选包含下述式(4)所表示的重复单元，更优选包含式(4)所表示的重复单元且具有聚合性基团的化合物。[0278]式(4)[0279][化学式21][0280][0281]式(4)中，r131表示2价的有机基团，r132表示4价的有机基团。[0282]在具有聚合性基团的情况下，聚合性基团可以位于r131及r132中的至少一者上，如下述式(4-1)或式(4-2)所示，也可以位于聚酰亚胺的末端。[0283][化学式22][0284][0285]式(4-1)中，r133为聚合性基团，其他基团与式(4)的含义相同。[0286][化学式23][0287][0288]r134及r135中的至少一者为聚合性基团，在不是聚合性基团的情况下为有机基团，其他基团与式(4)的含义相同。[0289]聚合性基团与在上述聚酰亚胺前体等所具有的聚合性基团中叙述的聚合性基团的含义相同。[0290]r131表示2价的有机基团。作为2价的有机基团，可以例示出与式(2)中的r111相同的基团，优选范围也相同。[0291]并且，作为r131，可以举出去除二胺的氨基之后残存的二胺残基。作为二胺，可以举出脂肪族、环式脂肪族或芳香族二胺等。作为具体例，可以举出聚酰亚胺前体的式(2)中的r111的例子。[0292]在更有效地抑制煅烧时产生翘曲的观点上，r131优选为在主链中具有至少2个亚烷基二醇单元的二胺残基。更优选为在1个分子中合计包含2个以上的乙二醇链、丙二醇链中的任一者或两者的二胺残基，进一步优选为不包含芳香环的二胺残基。[0293]作为在1个分子中合计包含2个以上的乙二醇链、丙二醇链中的任一者或两者的二胺，可以举出jeffamine(注册商标)kh-511、ed-600、ed-900、ed-2003、edr-148、edr-176、d-200、d-400、d-2000、d-4000(以上为商品名，huntsman公司制造)、1-(2-(2-(2-氨基丙氧基)乙氧基)丙氧基)丙烷-2-胺、1-(1-(1-(2-氨基丙氧基)丙烷-2-基)氧基)丙烷-2-胺等，但是并不限定于这些。[0294]r132表示4价的有机基团。作为4价的有机基团，可以例示出与式(2)中的r115相同的基团，优选范围也相同。[0295]例如，作为r115而例示的4价的有机基团的4个键合子与上述式(4)中的4个-c(＝o)-部分键合而形成缩合环。[0296]并且，r132可以举出从四羧酸二酐中去除酸酐基之后残存的四羧酸残基等。作为具体例，可以举出聚酰亚胺前体的式(2)中的r115的例子。从固化膜的强度的观点考虑，r132优选为具有1～4个芳香环的芳香族二胺残基。[0312]从所获得的固化膜的膜强度、绝缘性等观点考虑，聚酰亚胺的酰亚胺化率(也称为“闭环率”)优选为70％以上，更优选为80％以上，更优选为90％以上。[0313]上述酰亚胺化率的上限并无特别限定，只要为100％以下即可。[0314]上述酰亚胺化率例如通过下述方法来进行测定。[0315]测定聚酰亚胺的红外吸收光谱，求出作为来自于酰亚胺结构的吸收峰的1377cm-1附近的峰强度p1。接着，将该聚酰亚胺在350℃下进行1小时的热处理之后，再次测定红外吸收光谱，求出1377cm-1附近的峰强度p2。使用所获得的峰强度p1、p2，根据下述式能够求出聚酰亚胺的酰亚胺化率。[0316]酰亚胺化率(％)＝(峰强度p1/峰强度p2)×100[0317]聚酰亚胺可以全部都含有包含一种r131或r132的上述式(4)的重复结构单元，也可以含有包含2个以上的不同种类的r131或r132的上述式(4)的重复单元。并且，聚酰亚胺除了上述式(4)的重复单元以外，也可以包含其他种类的重复结构单元。[0318]聚酰亚胺例如能够利用如下方法来进行合成：在低温下使四羧酸二酐与二胺化合物(将一部分取代为单胺的封端剂)进行反应的方法；在低温下使四羧酸二酐(将一部分取代为酸酐或单氯化物化合物或单活性酯化合物的封端剂)与二胺化合物进行反应的方法；通过四羧酸二酐和醇来获得二酯，然后使其与二胺(将一部分取代为单胺的封端剂)在缩合剂的存在下进行反应的方法；利用通过四羧酸二酐和醇获得二酯，然后使其余的二羧酸进行氯化物化，并使其与二胺(将一部分取代为单胺的封端剂)进行反应的方法等方法获得聚酰亚胺前体，并且使用已知的酰亚胺化反应法使其完全酰亚胺化的方法；或者，在中途停止酰亚胺化反应，导入一部分酰亚胺结构的方法；以及通过混合完全酰亚胺化的聚合物和该聚酰亚胺前体而导入一部分酰亚胺结构的方法。[0319]作为聚酰亚胺的市售品，可以例示出durimide(注册商标)284(fujifilm co.,ltd.制造)、matrimide5218(huntsman公司制造)。[0320]聚酰亚胺的重均分子量(mw)可以举出4,000～100,000，优选为5,000～70,000，更优选为8,000～50,000，进一步优选为10,000～30,000。通过将重均分子量设为5,000以上，能够提高固化后的膜的耐折性。为了获得机械特性优异的固化膜，重均分子量尤其优选为20,000以上。并且，在含有两种以上的聚酰亚胺的情况下，优选至少一种聚酰亚胺的重均分子量在上述范围内。[0321]〔聚酰亚胺前体等的制造方法〕[0322]聚酰亚胺前体等为通过使二羧酸或二羧酸衍生物与二胺进行反应而获得。优选为通过使用亚硫氯化物等卤化剂使二羧酸或二羧酸衍生物卤化之后，与二胺进行反应而获得。[0323]并且，也优选不使用上述卤化剂而使用非卤素系催化剂进行合成。作为上述非卤素系催化剂，能够无特别限制地使用不含卤素原子的公知的酰胺化催化剂，例如可以举出硼氧烃三聚物(boroxine)化合物、n-羟基化合物、叔胺、磷酸酯、胺盐、脲化合物等、碳二亚胺化合物。作为上述碳二亚胺化合物，可以举出n,n’‑二异丙基碳二亚胺、n,n’‑二环己基碳二亚胺、(2,6-二异丙基苯基)碳二亚胺等。[0324]在聚酰亚胺前体等的制造方法中，在进行反应时，优选使用有机溶剂。有机溶剂可以为一种，也可以为两种以上。[0325]作为有机溶剂，能够根据原料适当地规定，可以例示出吡啶、二乙二醇二甲醚(二甘二甲醚)、n-甲基吡咯烷酮及n-乙基吡咯烷酮。[0326]聚酰亚胺可以在合成聚酰亚胺前体之后通过热酰亚胺化、化学酰亚胺化(例如，通过使催化剂起作用而促进环化反应)等方法使其环化来进行制造，也可以直接合成聚酰亚胺。[0327]-封端剂-[0328]在聚酰亚胺前体等的制造方法中，为了进一步提高保存稳定性，优选用酸酐、单羧酸、单氯化物化合物、单活性酯化合物等封端剂密封聚酰亚胺前体等的末端。作为封端剂，更优选使用单胺，作为单胺的优选化合物，可以举出苯胺、2-乙炔基苯胺、3-乙炔基苯胺、4-乙炔基苯胺、5-氨基-8-羟基喹啉、1-羟基-7-氨基萘、1-羟基-6-氨基萘、1-羟基-5-氨基萘、1-羟基-4-氨基萘、2-羟基-7-氨基萘、2-羟基-6-氨基萘、2-羟基-5-氨基萘、1-羧基-7-氨基萘、1-羧基-6-氨基萘、1-羧基-5-氨基萘、2-羧基-7-氨基萘、2-羧基-6-氨基萘、2-羧基-5-氨基萘、2-氨基苯甲酸、3-氨基苯甲酸、4-氨基苯甲酸、4-氨基水杨酸、5-氨基水杨酸、6-氨基水杨酸、2-氨基苯磺酸、3-氨基苯磺酸、4-氨基苯磺酸、3-氨基-4,6-二羟基嘧啶、2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、2-氨基苯硫酚、3-氨基苯硫酚、4-氨基苯硫酚等。这些可以使用两种以上，也可以通过使多种封端剂进行反应来导入多个不同的末端基。[0329]-固体析出-[0330]在制造聚酰亚胺前体等时，可以包括使固体析出的工序。具体而言，使反应液中的聚酰亚胺前体等在水中沉淀，并将其溶解于四氢呋喃等聚酰亚胺前体等可溶的溶剂中，由此能够析出固体。[0331]然后，干燥聚酰亚胺前体等，能够获得粉末状的聚酰亚胺前体等。[0332]-式(1-1)所表示的结构的导入-[0333]在特定树脂包含式(1-1)所表示的结构的情况下，上述特定树脂例如通过下述(1)或(2)中所记载的方法来合成。[0334](1)在上述聚酰亚胺前体的制造方法中将碳二亚胺化合物用作非卤素系催化剂，并适当调整反应时间、反应温度、碳二亚胺化合物的添加时刻。[0335](2)使通过上述聚酰亚胺前体的制造方法而获得的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺和碳二亚胺化合物在溶剂中进行反应。[0336]作为这些方法的具体例，可以举出后述合成例中所记载的方法，但是并不限定于这些。[0337]〔含量〕[0338]本发明的组合物中的特定树脂的含量相对于组合物的总固体成分优选为20质量％以上，更优选为30质量％以上，进一步优选为40质量％以上，进一步优选为50质量％以上。并且，本发明的组合物中的树脂的含量相对于组合物的总固体成分优选为99.5质量％以下，更优选为99质量％以下，进一步优选为98质量％以下，进一步优选为97质量％以下，更进一步优选为95质量％以下。[0339]本发明的树脂组合物可以仅包含一种特定树脂，也可以包含两种以上。在包含两种以上的情况下，优选合计量成为上述范围。[0340]＜特定化合物＞[0341]本发明的树脂组合物优选含有包含上述式(1-1)所表示的结构且与上述树脂不同的化合物(特定化合物)。[0342]特定化合物包含式(1-1)所表示的结构，除此以外，并无特别限定，但是优选为低分子化合物。[0343]具体而言，特定化合物的分子量优选为75～1,000，更优选为100～800，进一步优选为150～500。[0344]特定化合物优选为下述式(3-1)所表示的化合物。[0345][化学式25][0346][0347]式(3-1)中，r1及r2分别独立地表示脂肪族基或芳香族基，上述脂肪族基或芳香族基的碳原子或烃基可以经杂原子取代，x1表示氧原子或硫原子，l1表示-c(＝o)-或-s(＝o)2-，r3表示氢原子或1价的有机基团，r4表示1价的有机基团，r1、r2、r3及r4中的至少2个可以键合而形成环结构。[0348]式(3-1)中，r1、r2、x1及l1分别与式(1-1)中的r1、r2、x1及l1的含义相同，优选方式也相同。[0349]式(3-2)中，r3与式(1-2)中的r23的含义相同，优选方式也相同。[0350]式(3-1)中，r4为1价的有机基团，优选为烃基。[0351]作为上述烃基，优选为脂肪族烃基或芳香族烃基，更优选为芳香族烃基。[0352]作为上述脂肪族烃基，优选为碳原子数1～20的饱和脂肪族烃基，更优选为碳原子数3～10的饱和脂肪族烃基。[0353]作为上述芳香族烃基，优选为碳原子数6～20的芳香族烃基，更优选为苯基或萘基，进一步优选为苯基。[0354]r4中的1价的有机基团可以具有取代基，作为取代基，可以举出烷基、烷氧羰基、芳氧羰基等。[0355]在这些之中，作为r4，优选为苯基、烷基苯基或烷氧羰基苯基，进一步优选为苯基、叔丁基苯基或烷基的碳原子数为1～4的烷氧羰基苯基。[0356]式(3-1)中，r1、r2、r3及r4中的至少2个可以键合而形成环结构。作为所形成的环结构，可以举出乙内酰脲环、n-酰基咪唑啉酮环等，但是并不限定于这些。[0357]并且，在本发明中，r1、r2、r3及r4中的任一者不形成环结构的方式也为优选方式之一。[0358]以下举出特定化合物的优选方式的具体例，但是本发明并不限定于这些。[0359][化学式26][0360][0361][化学式27][0362][0363]在树脂组合物含有特定化合物的情况下，其含量并无特别限定，只要将相对于树脂组合物的总固体成分的式(1-1)所表示的结构的含有摩尔量适当调整为在上述范围内的量即可。[0364]并且，在树脂组合物含有特定化合物的情况下，其含量例如相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.01～1.0质量％，更优选为0.01～0.85质量％，进一步优选为0.015～0.75质量％。[0365]特定化合物可以单独使用一种，但是也可以使用两种以上。在同时使用两种以上的情况下，优选其合计量成为上述范围。[0366]＜溶剂＞[0367]本发明的树脂组合物含有溶剂。溶剂能够任意使用公知的溶剂。溶剂优选为有机溶剂。作为有机溶剂，可以举出酯类、醚类、酮类、环式烃类、亚砜类、酰胺类、脲类、醇类等化合物。[0368]作为酯类，作为优选的酯例如可以举出乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、乙酸己酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、γ-丁内酯、ε-己内酯、δ-戊内酯、烷氧基乙酸烷基酯(例如，烷氧基乙酸甲酯、烷氧基乙酸乙酯、烷氧基乙酸丁酯(例如，甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等))、3-烷氧基丙酸烷基酯类(例如，3-烷氧基丙酸甲酯、3-烷氧基丙酸乙酯等(例如，3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等))、2-烷氧基丙酸烷基酯类(例如，2-烷氧基丙酸甲酯、2-烷氧基丙酸乙酯、2-烷氧基丙酸丙酯等(例如，2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯))、2-烷氧基-2-甲基丙酸甲酯及2-烷氧基-2-甲基丙酸乙酯(例如，2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等)、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯、己酸乙酯、庚酸乙酯、丙二酸二甲酯、丙二酸二乙酯等。[0369]作为醚类，作为优选的醚例如可以举出二乙二醇二甲醚、四氢呋喃、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚、乙二醇单丁醚乙酸酯、二乙二醇乙基甲醚、丙二醇单丙醚乙酸酯等。[0370]作为酮类，作为优选的酮例如可以举出甲基乙基酮、环己酮、环戊酮、2-庚酮、3-甲基环己酮、左旋葡萄聚糖、二氢左旋葡萄聚糖3-庚酮等。[0371]作为环状烃类，作为优选的环状烃例如可以举出甲苯、二甲苯、苯甲醚等芳香族烃类、柠檬烯等环式萜烯类。[0372]作为亚砜类，作为优选的亚砜例如可以举出二甲基亚砜。[0373]作为酰胺类，作为优选的酰胺可以举出n-甲基-2-吡咯烷酮、n-乙基-2-吡咯烷酮、n,n-二甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基异丁酰胺、3-甲氧基-n,n-二甲基丙酰胺、3-丁氧基-n,n-二甲基丙酰胺、n-甲酰基吗啉、n-乙酰基吗啉等。[0374]作为脲类，作为优选的脲可以举出n,n,n’,n’‑四甲基脲、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮等。[0375]作为醇类，可以举出甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、1-戊醇、1-己醇、苯甲醇、乙二醇单甲醚、1-甲氧基-2-丙醇、2-乙氧基乙醇、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单己醚、三乙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单甲醚、聚乙二醇单甲醚、聚丙二醇、四乙二醇、乙二醇单丁醚、乙二醇单苄基醚、乙二醇单苯基醚、甲基苯基甲醇、正戊醇、甲基戊醇及二丙酮醇等。[0376]从涂布面性状的改良等观点考虑，溶剂也优选为混合两种以上的方式。[0377]在本发明中，优选为选自3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、环己酮、环戊酮、γ-丁内酯、二甲基亚砜、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、n-甲基-2-吡咯烷酮、丙二醇甲基醚及丙二醇甲醚乙酸酯中的一种溶剂或由两种以上构成的混合溶剂。尤其优选同时使用二甲基亚砜和γ-丁内酯。并且，也优选为n-甲基-2-吡咯烷酮与乳酸乙酯、n-甲基-2-吡咯烷酮与乳酸乙酯、二丙酮醇与乳酸乙酯、环戊酮与γ-丁内酯的组合。[0378]从涂布性的观点考虑，溶剂的含量优选设为本发明的树脂组合物的总固体成分浓度成为5～80质量％的量，更优选设为本发明的树脂组合物的总固体成分浓度成为5～75质量％的量，进一步优选设为本发明的树脂组合物的总固体成分浓度成为10～70质量％的量，进一步优选设为本发明的树脂组合物的总固体成分浓度成为40～70质量％。溶剂含量只要根据涂膜的所期望的厚度和涂布方法进行调节即可。[0379]溶剂可以仅含有一种，也可以含有两种以上。在含有两种以上的溶剂的情况下，优选其合计在上述范围内。[0380]＜其他树脂＞[0381]本发明的组合物除了上述特定树脂以外，还可以包含与特定树脂不同的其他树脂(以下，也简称为“其他树脂”。)。[0382]作为其他树脂，可以举出聚酰胺酰亚胺、聚酰胺酰亚胺前体、酚醛树脂、聚酰胺、环氧树脂、聚硅氧烷、包含硅氧烷结构的树脂、丙烯酸树脂等。[0383]例如，通过进一步加入丙烯酸树脂，可以获得涂布性优异的组合物，并且可以获得耐溶剂性优异的固化膜。[0384]例如，通过代替后述聚合性化合物或者除了后述聚合性化合物以外，还将重均分子量为20,000以下的聚合性基团值高的丙烯酸系树脂添加到组合物中，能够提高组合物的涂布性、固化膜的耐溶剂性等。[0385]在本发明的组合物包含其他树脂的情况下，其他树脂的含量相对于组合物的总固体成分优选为0.01质量％以上，更优选为0.05质量％以上，进一步优选为1质量％以上，进一步优选为2质量％以上，更进一步优选为5质量％以上，再进一步优选为10质量％以上。[0386]并且，本发明的组合物中的其他树脂的含量相对于组合物的总固体成分优选为80质量％以下，更优选为75质量％以下，进一步优选为70质量％以下，进一步优选为60质量％以下，更进一步优选为50质量％以下。[0387]并且，作为本发明的组合物的优选的一方式，也能够设为其他树脂的含量为低含量的方式。在上述方式中，其他树脂的含量相对于组合物的总固体成分优选为20质量％以下，更优选为15质量％以下，进一步优选为10质量％以下，进一步优选为5质量％以下，更进一步优选为1质量％以下。上述含量的下限并无特别限定，只要为0质量％以上即可。[0388]本发明的组合物可以仅包含一种其他树脂，也可以包含两种以上。在包含两种以上的情况下，优选合计量成为上述范围。[0389]＜聚合引发剂＞[0390]本发明的树脂组合物优选包含聚合引发剂。[0391]作为聚合引发剂，优选为光聚合引发剂。[0392]〔光聚合引发剂〕[0393]本发明的树脂组合物优选包含光聚合引发剂。[0394]光聚合引发剂优选为光自由基聚合引发剂。作为光自由基聚合引发剂并无特别限制，能够从公知的光自由基聚合引发剂中适当地选择。例如，优选为对紫外线区域至可见区域的光线具有感光性的光自由基聚合引发剂。并且，也可以为与被光激发的增感剂产生某种作用而生成活性自由基的活性剂。[0395]光自由基聚合引发剂优选含有至少一种在约300～800nm(优选为330～500nm)的范围内具有至少约50l/mol-1/cm-1的摩尔吸光系数的化合物。关于化合物的摩尔吸光系数，能够使用公知的方法进行测定。例如，优选通过紫外可见分光光度计(varian公司制造的cary-5分光光度计(spectrophotometer))，使用乙酸乙酯溶剂以0.01g/l的浓度进行测定。[0396]作为光自由基聚合引发剂，能够任意使用公知的化合物。例如，可以举出卤化烃衍生物(例如，具有三嗪骨架的化合物、具有噁二唑骨架的化合物、具有三卤甲基的化合物等)、酰基氧化膦等酰基膦化合物、六芳基联咪唑、肟衍生物等肟化合物、有机过氧化物、硫化合物、酮化合物、芳香族鎓盐、酮肟醚、氨基苯乙酮化合物、羟基苯乙酮、偶氮系化合物、叠氮化合物、茂金属化合物、有机硼化合物、铁芳烃络合物等。关于这些的详细内容，能够参考日本特开2016-027357号公报的0165～0182段、国际公开第2015/199219号的0138～0151段的记载，该内容被编入本说明书中。[0397]作为酮化合物，例如可以例示出日本特开2015-087611号公报的0087段中所记载的化合物，该内容被编入本说明书中。在市售品中，也可以优选地使用kayacure detx(nippon kayaku co.,ltd.制造)。[0398]在本发明的一实施方式中，作为光自由基聚合引发剂，可以优选地使用羟基苯乙酮化合物、氨基苯乙酮化合物及酰基膦化合物。更具体而言，例如能够使用日本特开平10-291969号公报中所记载的氨基苯乙酮系引发剂、日本专利第4225898号中所记载的酰基氧化膦系引发剂。[0399]作为羟基苯乙酮系引发剂，能够使用irgacure 184(irgacure为注册商标)、darocur 1173、irgacure 500、irgacure-2959、irgacure 127(商品名：均为basf公司制造)。[0400]作为氨基苯乙酮系引发剂，能够使用作为市售品的irgacure 907、irgacure 369及irgacure 379(商品名：均为basf公司制造)。[0401]作为氨基苯乙酮系引发剂，也能够使用吸收极大波长与365nm或405nm等波长光源匹配的日本特开2009-191179号公报中所记载的化合物。[0402]作为酰基膦系引发剂，可以举出2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦等。并且，能够使用作为市售品的irgacure-819或irgacure-tpo(商品名：均为basf公司制造)。[0403]作为茂金属化合物，可以例示出irgacure 784(basf公司制造)等。[0404]作为光自由基聚合引发剂，可以更优选地举出肟化合物。通过使用肟化合物，能够更有效地提高曝光宽容度。肟化合物由于曝光宽容度(曝光余裕度)宽且还作为光固化促进剂而发挥作用，因此尤其优选。[0405]作为肟化合物的具体例，能够使用日本特开2001-233842号公报中所记载的化合物、日本特开2000-080068号公报中所记载的化合物、日本特开2006-342166号公报中所记载的化合物。[0406]作为优选的肟化合物，例如可以举出下述结构的化合物或3-苯甲酰氧基亚氨基丁烷-2-酮、3-乙酰氧基亚氨基丁烷-2-酮、3-丙酰氧基亚氨基丁烷-2-酮、2-乙酰氧基亚氨基戊烷-3-酮、2-乙酰氧基亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲酰氧基亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺酰氧基)亚氨基丁烷-2-酮及2-乙氧基羰氧基亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮等。在本发明的树脂组合物中，尤其优选使用肟化合物(肟系的光聚合引发剂)作为光自由基聚合引发剂。肟系的光聚合引发剂在分子内具有＞c＝n-o-c(＝o)-的连接基。[0407][化学式28][0408][0409]在市售品中，也可以优选地使用irgacure oxe 01、irgacure oxe 02、irgacure oxe 03、irgacure oxe 04(以上为basf公司制造)、adeka optomer n-1919(adeka corporation制造，日本特开2012-014052号公报中所记载的光自由基聚合引发剂2)。并且，也能够使用tr-pbg-304(changzhou tronly new electronic materials co.,ltd.制造)、adeka arkls nci-831及adeka arkls nci-930(adeka corporation制造)。并且，能够使用dfi-091(daito chemix corporation制造)。[0410]并且，也能够使用下述结构的肟化合物。[0411][化学式29][0412][0413]作为光聚合引发剂，也能够使用具有芴环的肟化合物。作为具有芴环的肟化合物的具体例，可以举出日本特开2014-137466号公报中所记载的化合物、日本专利06636081号中所记载的化合物。[0414]作为光聚合引发剂，也能够使用具有咔唑环的至少1个苯环成为萘环的骨架的肟化合物。作为这种肟化合物的具体例，可以举出国际公开第2013/083505号中所记载的化合物。[0415]并且，也能够使用具有氟原子的肟化合物。作为这种肟化合物的具体例，可以举出日本特开2010-262028号公报中所记载的化合物、日本特表2014-500852号公报的0345段中所记载的化合物24、36～40、日本特开2013-164471号公报的0101段中所记载的化合物(c-3)等。[0416]作为最优选的肟化合物，可以举出日本特开2007-269779号公报所示的具有特定取代基的肟化合物或日本特开2009-191061号公报所示的具有硫代芳基的肟化合物等。[0417]从曝光灵敏度的观点考虑，光自由基聚合引发剂优选为选自三卤甲基三嗪化合物、苄基二甲基缩酮化合物、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物、酰基膦化合物、氧化膦化合物、茂金属化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚体、鎓盐化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物及其衍生物、环戊二烯-苯-铁络合物及其盐、卤甲基噁二唑化合物、3-芳基取代香豆素化合物中的化合物。[0418]进一步优选的光自由基聚合引发剂为三卤甲基三嗪化合物、α-氨基酮化合物、酰基膦化合物、氧化膦化合物、茂金属化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚体、鎓盐化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物，进一步优选为选自三卤甲基三嗪化合物、α-氨基酮化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚体、二苯甲酮化合物中的至少一种化合物，更进一步优选使用茂金属化合物或肟化合物，再进一步优选为肟化合物。[0419]并且，光自由基聚合引发剂也能够使用二苯甲酮、n,n’‑四甲基-4,4’‑二氨基二苯甲酮(米其勒酮)等n,n’‑四烷基-4,4’‑二氨基二苯甲酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁酮-1,2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基-丙酮-1等芳香族酮、烷基蒽醌等与芳香环稠合的醌类、苯偶姻烷基醚等苯偶姻醚化合物、苯偶姻、烷基苯偶姻等苯偶姻化合物、苄基二甲基缩酮等苄基衍生物等。并且，也能够使用下述式(i)所表示的化合物。[0420][化学式30][0421][0422]式(i)中，ri00为碳原子数1～20的烷基、被1个以上的氧原子中断的碳原子数2～20的烷基、碳原子数1～12的烷氧基、苯基、碳原子数1～20的烷基、碳原子数1～12的烷氧基、卤素原子、环戊基、环己基、碳原子数2～12的烯基、被1个以上的氧原子中断的碳原子数2～18的烷基及经碳原子数1～4的烷基中的至少1个取代的苯基或联苯基，ri01为式(ii)所表示的基团或为与ri00相同的基团，ri02～ri04各自独立地为碳原子数1～12的烷基、碳原子数1～12的烷氧基或卤素。[0423][化学式31][0424][0425]式中，ri05～ri07与上述式(i)的ri02～ri04相同。[0426]并且，光自由基聚合引发剂也能够使用国际公开第2015/125469号的0048～0055段中所记载的化合物。[0427]在包含光聚合引发剂的情况下，其含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.1～30质量％，更优选为0.1～20质量％，进一步优选为0.5～15质量％，进一步优选为1.0～10质量％。光聚合引发剂可以仅含有一种，也可以含有两种以上。在含有两种以上的光聚合引发剂的情况下，优选其合计在上述范围内。[0428]〔热聚合引发剂〕[0429]本发明的树脂组合物可以包含热聚合引发剂作为聚合引发剂，尤其可以包含热自由基聚合引发剂。热自由基聚合引发剂为通过热能而产生自由基来引发或促进具有聚合性的化合物的聚合反应的化合物。通过添加热自由基聚合引发剂，在后述加热工序中也能够进行特定树脂及聚合性化合物的聚合反应，因此能够进一步提高耐药品性。[0430]作为热自由基聚合引发剂，具体而言，可以举出日本特开2008-063554号公报的0074～0118段中所记载的化合物。[0431]在包含热聚合引发剂的情况下，其含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.1～30质量％，更优选为0.1～20质量％，进一步优选为5～15质量％。热聚合引发剂可以仅含有一种，也可以含有两种以上。在含有两种以上的热聚合引发剂的情况下，优选其合计在上述范围内。[0432]〔光产酸剂〕[0433]并且，本发明的组合物可以包含光产酸剂。[0434]通过含有光产酸剂，例如在组合物层的曝光部产生酸而上述曝光部对显影液(例如，碱水溶液)的溶解性增大，能够获得曝光部被显影液去除的正型图案。[0435]并且，也能够设为如下方式：通过组合物含有光产酸剂和后述除了自由基聚合性化合物以外的聚合性化合物，例如利用在曝光部产生的酸来促进上述聚合性化合物的交联反应，使得曝光部比非曝光部更不易被显影液去除。根据这样的方式，能够获得负型图案。[0436]作为光产酸剂，只要为通过曝光产生酸的产酸剂，则并无特别限定，可以举出醌二叠氮化合物、重氮盐、鏻盐、锍盐、碘盐等鎓盐化合物、酰亚胺磺酸盐、肟磺酸盐、重氮二砜、二砜、邻硝基苄基磺酸盐等磺酸盐化合物等。[0437]作为醌二叠氮化合物，可以举出在多羟基化合物上通过酯键合有醌二叠氮的磺酸的化合物、在多氨基化合物上通过磺酰胺键合有醌二叠氮的磺酸的化合物、在多羟基多氨基化合物上通过酯键及磺酰胺键中的至少一者键合有醌二叠氮的磺酸的化合物等。在本发明中，例如，优选这些多羟基化合物或多氨基化合物的官能团整体的50摩尔％以上经醌二叠氮基取代。[0438]在本发明中，醌二叠氮可以优选地使用5-萘醌二叠氮磺酰基、4-萘醌二叠氮磺酰基中的任一者。4-萘醌二叠氮磺酰酯化合物在汞灯的i射线区域具有吸收，适于i射线曝光。5-萘醌二叠氮磺酰酯化合物的吸收扩展到汞灯的g射线区域，适于g射线曝光。在本发明中，优选根据曝光波长来选择4-萘醌二叠氮磺酰酯化合物、5-萘醌二叠氮磺酰酯化合物。并且，可以含有在同一分子中具有4-萘醌二叠氮磺酰基、5-萘醌二叠氮磺酰基的萘醌二叠氮磺酰酯化合物，也可以含有4-萘醌二叠氮磺酰酯化合物和5-萘醌二叠氮磺酰酯化合物。[0439]上述萘醌二叠氮化合物能够通过具有酚性羟基的化合物与醌二叠氮化物磺酸化合物的酯化反应来合成，并且能够通过公知的方法来合成。通过使用这些萘醌二叠氮化合物，进一步提高解析度、灵敏度、残膜率。[0440]作为上述萘醌二叠氮化合物，例如可以举出1,2-萘醌-2-二叠氮-5-磺酸或1,2-萘醌-2-二叠氮-4-磺酸、这些化合物的盐或酯化合物等。[0441]作为鎓盐化合物或磺酸盐化合物，可以举出日本特开2008-013646号公报的0064～0122段中所记载的化合物等。[0442]光产酸剂也优选为包含肟磺酸盐基的化合物(以下，也简称为“肟磺酸盐化合物”)。[0443]肟磺酸盐化合物只要具有肟磺酸盐基，则并无特别限制，但是优选为下述式(os-1)、后述式(os-103)、式(os-104)或式(os-105)所表示的肟磺酸盐化合物。[0444][化学式32][0445][0446]式(os-1)中，x3表示烷基、烷氧基或卤素原子。在存在多个x3的情况下，分别可以相同，也可以不同。上述x3中的烷基及烷氧基可以具有取代基。作为上述x3中的烷基，优选为碳原子数1～4的直链状或支链状烷基。作为上述x3中的烷氧基，优选为碳原子数1～4的直链状或支链状烷氧基。作为上述x3中的卤素原子，优选为氯原子或氟原子。[0447]式(os-1)中，m3表示0～3的整数，优选为0或1。在m3为2或3时，多个x3可以相同也可以不同。[0448]式(os-1)中，r34表示烷基或芳基，优选为碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数1～5的卤化烷基、碳原子数1～5的卤化烷氧基、可以经w取代的苯基、可以经w取代的萘基或可以经w取代的蒽基。w表示卤素原子、氰基、硝基、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数1～5的卤化烷基或碳原子数1～5的卤化烷氧基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数6～20的卤化芳基。[0449]式(os-1)中，尤其优选为m3为3、x3为甲基、x3的取代位置为邻位、r34为碳原子数1～10的直链状烷基、7,7-二甲基-2-氧代降崁基甲基或对甲苯基的化合物。[0450]作为式(os-1)所表示的肟磺酸盐化合物的具体例，可以例示出日本特开2011-209692号公报的段落号0064～0068、日本特开2015-194674号公报的段落号0158～0167中所记载的以下化合物，这些内容被编入本说明书中。[0451][化学式33][0452][0453]式(os-103)～式(os-105)中，rs1表示烷基、芳基或杂芳基，有时存在多个的rs2分别独立地表示氢原子、烷基、芳基或卤素原子，有时存在多个的rs6分别独立地表示卤素原子、烷基、烷氧基、磺酸基、氨基磺酰基或烷氧基磺酰基，xs表示o或s，ns表示1或2，ms表示0～6的整数。[0454]式(os-103)～式(os-105)中，rs1所表示的烷基(优选为碳原子数1～30)、芳基(优选为碳原子数6～30)或杂芳基(优选为碳原子数4～30)可以具有取代基t。[0455]式(os-103)～式(os-105)中，rs2优选为氢原子、烷基(优选为碳原子数1～12)或芳基(优选为碳原子数6～30)，更优选为氢原子或烷基。在化合物中有时存在2个以上的rs2中，优选1个或2个为烷基、芳基或卤素原子，更优选1个为烷基、芳基或卤素原子，尤其优选1个为烷基且其余为氢原子。rs2所表示的烷基或芳基可以具有取代基t。[0456]式(os-103)、式(os-104)或式(os-105)中，xs表示o或s，优选为o。上述式(os-103)～(os-105)中，包含xs作为环元的环为5元环或6元环。[0457]式(os-103)～式(os-105)中，ns表示1或2，在xs为o的情况下，ns优选为1，并且在xs为s的情况下，ns优选为2。[0458]式(os-103)～式(os-105)中，rs6所表示的烷基(优选为碳原子数1～30)及烷氧基(优选为碳原子数1～30)可以具有取代基。[0459]式(os-103)～式(os-105)中，ms表示0～6的整数，优选为0～2的整数，更优选为0或1，尤其优选为0。[0460]并且，上述式(os-103)所表示的化合物尤其优选为下述式(os-106)、式(os-110)或式(os-111)所表示的化合物，上述式(os-104)所表示的化合物尤其优选为下述式(os-107)所表示的化合物，上述式(os-105)所表示的化合物尤其优选为下述式(os-108)或式(os-109)所表示的化合物。[0461][化学式34][0462][0463]式(os-106)～式(os-111)中，rt1表示烷基、芳基或杂芳基，rt7表示氢原子或溴原子，rt8表示氢原子、碳原子数1～8的烷基、卤素原子、氯甲基、溴甲基、溴乙基、甲氧基甲基、苯基或氯苯基，rt9表示氢原子、卤素原子、甲基或甲氧基，rt2表示氢原子或甲基。[0464]式(os-106)～式(os-111)中，rt7表示氢原子或溴原子，优选为氢原子。[0465]式(os-106)～式(os-111)中，rt8表示氢原子、碳原子数1～8的烷基、卤素原子、氯甲基、溴甲基、溴乙基、甲氧基甲基、苯基或氯苯基，优选为碳原子数1～8的烷基、卤素原子或苯基，更优选为碳原子数1～8的烷基，进一步优选为碳原子数1～6的烷基，尤其优选为甲基。[0466]式(os-106)～式(os-111)中，rt9表示氢原子、卤素原子、甲基或甲氧基，优选为氢原子。[0467]rt2表示氢原子或甲基，优选为氢原子。[0468]并且，在上述肟磺酸盐化合物中，关于肟的立体结构(e，z)，可以为其中任一者，也可以为混合物。[0469]作为上述式(os-103)～式(os-105)所表示的肟磺酸盐化合物的具体例，可以例示出日本特开2011-209692号公报的段落号0088～0095、日本特开2015-194674号公报的段落号0168～0194中所记载的化合物，这些内容被编入本说明书中。[0470]作为包含至少1个肟磺酸盐基的肟磺酸盐化合物的优选的其他方式，可以举出下述式(os-101)、式(os-102)所表示的化合物。[0471][化学式35][0472][0473]式(os-101)或式(os-102)中，ru9表示氢原子、烷基、烯基、烷氧基、烷氧羰基、酰基、氨甲酰基、氨磺酰基、磺基、氰基、芳基或杂芳基。更优选ru9为氰基或芳基的方式，进一步优选ru9为氰基、苯基或萘基的方式。[0474]式(os-101)或式(os-102)中，ru2a表示烷基或芳基。[0475]式(os-101)或式(os-102)中，xu表示-o-、-s-、-nh-、-nru5-、-ch2-、-cru6h-或cru6ru7-，ru5～ru7分别独立地表示烷基或芳基。[0476]式(os-101)或式(os-102)中，ru1～ru4分别独立地表示氢原子、卤素原子、烷基、烯基、烷氧基、氨基、烷氧羰基、烷基羰基、芳基羰基、酰胺基、磺基、氰基或芳基。ru1～ru4中的2个分别可以彼此键合而形成环。此时，环可以进行稠合而与苯环一同形成稠环。作为ru1～ru4，优选为氢原子、卤素原子或烷基，并且也优选ru1～ru4中的至少2个彼此键合而形成芳基的方式。其中，优选ru1～ru4均为氢原子的方式。上述取代基均还可以具有取代基。[0477]上述式(os-101)所表示的化合物更优选为式(os-102)所表示的化合物。[0478]并且，在上述肟磺酸盐化合物中，关于肟或苯并噻唑环的立体结构(e，z等)，分别可以为其中任一者，也可以为混合物。[0479]作为式(os-101)所表示的化合物的具体例，可以例示出日本特开2011-209692号公报的段落号0102～0106、日本特开2015-194674号公报的段落号0195～0207中所记载的化合物，这些内容被编入本说明书中。[0480]在上述化合物之中，优选为b-9、b-16、b-31、b-33。[0481][化学式36][0482][0483]除此以外，作为光产酸剂，也可以使用市售品。作为市售品，可以举出wpag-145、wpag-149、wpag-170、wpag-199、wpag-336、wpag-367、wpag-370、wpag-443、wpag-469、wpag-638、wpag-699(均为fujifilm wako purechemical corporation制造)、omnicat 250、omnicat 270(均为igm resins b.v.公司制造)、irgacure 250、irgacure 270、irgacure 290(均为basf公司制造)、mbz-101(midori kagaku co.,ltd.制造)等。[0484]并且，作为优选例，也可以举出下述结构式所表示的化合物。[0485][化学式37][0486][0487]作为光产酸剂，也能够适用有机卤化化合物。作为有机卤化化合物，具体而言，可以举出若林等“bull chem.soc japan”42、2924(1969)、美国专利第3,905,815号说明书、日本特公昭46-4605号、日本特开昭48-36281号、日本特开昭55-32070号、日本特开昭60-239736号、日本特开昭61-169835号、日本特开昭61-169837号、日本特开昭62-58241号、日本特开昭62-212401号、日本特开昭63-70243号、日本特开昭63-298339号、m.p.hutt“jurnal of heterocyclic chemistry”1(no3)，(1970)等中所记载的化合物，尤其可以举出经三卤甲基取代的噁唑化合物：s-三嗪化合物。[0488]更优选地，可以举出至少1个单、二或三卤素取代甲基与s-三嗪环键合而成的s-三嗪衍生物，具体而言，例如可以举出2,4,6-三(单氯甲基)-s-三嗪、2,4,6-三(二氯甲基)-s-三嗪、2,4,6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-正丙基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(α,α,β-三氯乙基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(3,4-环氧苯基)-4、6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对氯苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-〔1-(对甲氧基苯基)-2,4-丁二烯基〕-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯乙烯基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对异丙氧基苯乙烯基)-4、6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-萘氧基萘基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯硫基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-苄硫基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2,4,6-三(二溴甲基)-s-三嗪、2,4,6-三(三溴甲基)-s-三嗪、2-甲基-4,6-双(三溴甲基)-s-三嗪、2-甲氧基-4,6-双(三溴甲基)-s-三嗪等。[0489]作为光产酸剂，也能够适用有机硼酸盐化合物。作为有机硼酸盐化合物，作为具体例例如可以举出日本特开昭62-143044号、日本特开昭62-150242号、日本特开平9-188685号、日本特开平9-188686号、日本特开平9-188710号、日本特开2000-131837、日本特开2002-107916、日本专利第2764769号、日本特愿2000-310808号等各公报及kunz，martin“rad tech'98.proceeding april19-22，1998，chicago”等中所记载的有机硼酸盐、日本特开平6-157623号公报、日本特开平6-175564号公报、日本特开平6-175561号公报中所记载的有机硼锍络合物或有机硼氧代锍络合物、日本特开平6-175554号公报、日本特开平6-175553号公报中所记载的有机硼碘络合物、日本特开平9-188710号公报中所记载的有机硼鏻络合物、日本特开平6-348011号公报、日本特开平7-128785号公报、日本特开平7-140589号公报、日本特开平7-306527号公报、日本特开平7-292014号公报等有机硼过渡金属配位络合物等。[0490]作为光产酸剂，也能够适用二砜化合物。作为二砜化合物，可以举出日本特开昭61-166544号、日本特愿2001-132318公报等中所记载的化合物及重氮二砜化合物。[0491]作为上述鎓盐化合物，例如可以举出s.i.schlesinger，photogr.sci.eng.，18,387(1974)、t.s.bal et al，polymer，21,423(1980)中所记载的重氮盐、美国专利第4,069,055号说明书、日本特开平4-365049号等中所记载的铵盐、美国专利第4,069,055号、美国专利第4,069,056号的各说明书中所记载的鏻盐、欧洲专利第104,143号、美国专利第339,049号、美国专利第410,201号的各说明书、日本特开平2-150848号、日本特开平2-296514号中所记载的碘盐、欧洲专利第370,693号、欧洲专利第390,214号、欧洲专利第233,567号、欧洲专利第297,443号、欧洲专利第297,442号、美国专利第4,933,377号、美国专利第161,811号、美国专利第410,201号、美国专利第339,049号、美国专利第4,760,013号、美国专利第4,734,444号、美国专利第2,833,827号、德国专利第2,904,626号、德国专利第3,604,580号、德国专利第3,604,581号的各说明书中所记载的锍盐、j.v.crivello et al，macromolecules，10(6)，1307(1977)、j.v.crivello et al，j.polymer sci.，polymer chem.ed.，17,1047(1979)中所记载的硒盐、c.s.wen et al，teh，proc.conf.rad.curing asia，p478 tokyo，oct(1988)中所记载的砷盐、吡啶鎓盐等鎓盐等。[0492]作为鎓盐，可以举出下述通式(ri-i)～(ri-iii)所表示的鎓盐。[0493][化学式38][0494][0495]式(ri-i)中，ar11表示可以具有1～6个取代基的碳原子数20以下的芳基，作为优选的取代基，可以举出碳原子数1～12的烷基、碳原子数1～12的烯基、碳原子数1～12的炔基、碳原子数1～12的芳基、碳原子数1～12的烷氧基、碳原子数1～12的芳氧基、卤素原子、碳原子数1～12的烷基氨基、碳原子数1～12的二烷基氨基、碳原子数1～12的烷基酰胺基或芳基酰胺基、羰基、羧基、氰基、磺酰基、碳原子数1～12的硫代烷基、碳原子数1～12的硫代芳基。z11-表示1价的阴离子，为卤素离子、过氯酸离子、六氟磷酸盐离子、四氟硼酸盐离子、磺酸离子、亚磺酸离子、硫代磺酸离子、硫酸离子，从稳定性的方面考虑，优选为过氯酸离子、六氟磷酸盐离子、四氟硼酸盐离子、磺酸离子、亚磺酸离子。式(ri-ii)中，ar21、ar22各自独立地表示可以具有1～6个取代基的碳原子数20以下的芳基，作为优选的取代基，可以举出碳原子数1～12的烷基、碳原子数1～12的烯基、碳原子数1～12的炔基、碳原子数1～12的芳基、碳原子数1～12的烷氧基、碳原子数1～12的芳氧基、卤素原子、碳原子数1～12的烷基氨基、碳原子数1～12的二烷基氨基、碳原子数1～12的烷基酰胺基或芳基酰胺基、羰基、羧基、氰基、磺酰基、碳原子数1～12的硫代烷基、碳原子数1～12的硫代芳基。z21-表示1价的阴离子，为卤素离子、过氯酸离子、六氟磷酸盐离子、四氟硼酸盐离子、磺酸离子、亚磺酸离子、硫代磺酸离子、硫酸离子，从稳定性、反应性的方面考虑，优选为过氯酸离子、六氟磷酸盐离子、四氟硼酸盐离子、磺酸离子、亚磺酸离子、羧酸离子。式(ri-iii)中，r31、r32、r33各自独立地表示可以具有1～6个取代基的碳原子数20以下的芳基或烷基、烯基、炔基，优选地，从反应性、稳定性的方面考虑，优选为芳基。作为优选的取代基，可以举出碳原子数1～12的烷基、碳原子数1～12的烯基、碳原子数1～12的炔基、碳原子数1～12的芳基、碳原子数1～12的烷氧基、碳原子数1～12的芳氧基、卤素原子、碳原子数1～12的烷基氨基、碳原子数1～12的二烷基氨基、碳原子数1～12的烷基酰胺基或芳基酰胺基、羰基、羧基、氰基、磺酰基、碳原子数1～12的硫代烷基、碳原子数1～12的硫代芳基。z31-表示1价的阴离子，为卤素离子、过氯酸离子、六氟磷酸盐离子、四氟硼酸盐离子、磺酸离子、亚磺酸离子、硫代磺酸离子、硫酸离子，从稳定性、反应性的方面考虑，优选为过氯酸离子、六氟磷酸盐离子、四氟硼酸盐离子、磺酸离子、亚磺酸离子、羧酸离子。[0496]作为具体例，可以举出以下的例子。[0497][化学式39][0498][0499][化学式40][0500][0501][化学式41][0502][0503][化学式42][0504][0505]在包含光产酸剂的情况下，其含量相对于本发明的组合物的总固体成分优选为0.1～30质量％，更优选为0.1～20质量％，进一步优选为2～15质量％。光产酸剂可以仅含有一种，也可以含有两种以上。在含有两种以上的光产酸剂的情况下，优选其合计在上述范围内。[0506]＜热产酸剂＞[0507]本发明的组合物可以包含热产酸剂。[0508]热产酸剂具有如下效果：通过加热产生酸来促进选自具有羟基甲基、烷氧基甲基或酰氧基甲基的化合物、环氧化合物、氧环丁烷化合物及苯并噁嗪化合物中的至少一种化合物的交联反应。[0509]热产酸剂的热分解开始温度优选为50℃～270℃，更优选为50℃～250℃。并且，若选择将组合物涂布于基板之后进行干燥(预烘烤：约70～140℃)时不产生酸，而在之后的曝光、显影中进行图案化之后进行最终加热(固化：约100～400℃)时产生酸的物质作为热产酸剂，则能够抑制显影时的灵敏度下降，因此优选。[0510]关于热分解开始温度，在将热产酸剂在耐压胶囊中以5℃/分钟加热至500℃的情况下，作为温度最低的发热峰的峰温度而求出。[0511]作为测定热分解开始温度时所使用的设备，可以举出q2000(ta instruments公司制造)等。[0512]从热产酸剂产生的酸优选为强酸，例如优选为对甲苯磺酸、苯磺酸等芳基磺酸、甲磺酸、乙磺酸、丁磺酸等烷基磺酸或三氟甲磺酸等卤代烷基磺酸等。作为这样的热产酸剂的例子，可以举出日本特开2013-072935号公报的0055段中所记载的物质。[0513]其中，从固化膜中的残留少而不易使固化膜物性下降的观点考虑，更优选为产生碳原子数1～4的烷基磺酸或碳原子数1～4的卤代烷基磺酸的物质，优选甲磺酸(4-羟基苯基)二甲基锍、甲磺酸(4-((甲氧基羰基)氧基)苯基)二甲基锍、甲磺酸苄基(4-羟基苯基)甲基锍、甲磺酸苄基(4-((甲氧基羰基)氧基)苯基)甲基锍、甲磺酸(4-羟基苯基)甲基((2-甲基苯基)甲基)锍、三氟甲磺酸(4-羟基苯基)二甲基锍、三氟甲磺酸(4-((甲氧基羰基)氧基)苯基)二甲基锍、三氟甲磺酸苄基(4-羟基苯基)甲基锍、三氟甲磺酸苄基(4-((甲氧基羰基)氧基)苯基)甲基锍、三氟甲磺酸(4-羟基苯基)甲基((2-甲基苯基)甲基)锍、3-(5-(((丙基磺酰基)氧基)亚氨基)噻吩-2(5h)-亚基)-2-(邻甲苯基)丙腈、2,2-双(3-(甲烷磺酰基氨基)-4-羟基苯基)六氟丙烷作为热产酸剂。[0514]并且，也优选日本特开2013-167742号公报的0059段中所记载的化合物作为热产酸剂。[0515]热产酸剂的含量相对于特定树脂100质量份优选为0.01质量份以上，更优选为0.1质量份以上。通过含有0.01质量份以上来促进交联反应，因此能够进一步提高固化膜的机械特性及耐溶剂性。并且，从固化膜的电绝缘性的观点考虑，优选为20质量份以下，更优选为15质量份以下，进一步优选为10质量份以下。[0516]＜鎓盐＞[0517]本发明的树脂组合物还可以包含鎓盐。[0518]尤其，在本发明的树脂组合物包含聚酰亚胺前体作为特定树脂的情况下，优选包含鎓盐。[0519]鎓盐的种类等并无特别规定，可以优选地举出铵盐、亚铵(iminium)盐、锍盐、碘盐或鏻盐。[0520]在这些之中，从热稳定性高的观点考虑，优选为铵盐或亚铵盐，从与聚合物的相容性的观点考虑，优选为锍盐、碘盐或鏻盐。[0521]并且，鎓盐为具有鎓结构的阳离子与阴离子的盐，上述阳离子和阴离子可以经由共价键键合，也可以不经由共价键键合。[0522]即，鎓盐可以为在同一分子结构内具有阳离子部分和阴离子部分的分子内盐，也可以为分别为不同分子的阳离子分子和阴离子分子进行离子键合而成的分子间盐，但是优选为分子间盐。并且，在本发明的树脂组合物中，上述阳离子部分或阳离子分子和上述阴离子部分或阴离子分子可以通过离子键键合，也可以解离。[0523]作为鎓盐中的阳离子，优选为铵阳离子、吡啶鎓阳离子、锍阳离子、碘阳离子或鏻阳离子，更优选为选自四烷基铵阳离子、锍阳离子及碘阳离子中的至少一种阳离子。[0524]本发明中所使用的鎓盐可以为后述热产碱剂。[0525]热产碱剂是指通过加热而产生碱的化合物，例如可以举出加热至40℃以上时产生碱的化合物等。[0526]作为鎓盐，例如可以举出国际公开第2018/043262号的0122～0138段中所记载的鎓盐等。并且，除此以外，能够无特别限制地使用聚酰亚胺前体的领域中所使用的鎓盐。[0527]在本发明的树脂组合物包含鎓盐的情况下，鎓盐的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.1～50质量％。下限更优选为0.5质量％以上，进一步优选为0.85质量％以上，进一步优选为1质量％以上。上限更优选为30质量％以下，进一步优选为20质量％以下，进一步优选为10质量％以下，也可以为5质量％以下，也可以为4质量％以下。[0528]鎓盐能够使用一种或两种以上。在使用两种以上的情况下，优选合计量在上述范围内。[0529]＜热产碱剂＞[0530]本发明的树脂组合物还可以包含热产碱剂。[0531]尤其，在本发明的树脂组合物包含聚酰亚胺前体作为特定树脂的情况下，优选包含热产碱剂。[0532]其他热产碱剂可以为对应于上述鎓盐的化合物，也可以为上述鎓盐以外的热产碱剂。[0533]作为除了上述鎓盐以外的热产碱剂，可以举出非离子系热产碱剂。[0534]作为非离子系热产碱剂，可以举出式(b1)或式(b2)所表示的化合物。[0535][化学式43][0536][0537]式(b1)及式(b2)中，rb1、rb2及rb3分别独立地为不具有叔胺结构的有机基团、卤素原子或氢原子。但是，rb1及rb2不会同时成为氢原子。并且，rb1、rb2及rb3不会均具有羧基。另外，在本说明书中，叔胺结构是指3价的氮原子的3个键合键均与烃系的碳原子共价键合的结构。因此，在所键合的碳原子为构成羰基的碳原子的情况下，即，与氮原子一同形成酰胺基的情况下，则不限于此。[0538]式(b1)、式(b2)中，关于rb1、rb2及rb3，优选这些中至少1个包含环状结构，更优选至少2个包含环状结构。作为环状结构，可以为单环及稠环中的任一种，优选为单环或由2个单环稠合而成的稠环。单环优选为5元环或6元环，优选为6元环。单环优选为环己烷环及苯环，更优选为环己烷环。[0539]更具体而言，rb1及rb2优选为氢原子、烷基(优选为碳原子数1～24，更优选为2～18，进一步优选为3～12)、烯基(优选为碳原子数2～24，更优选为2～18，进一步优选为3～12)、芳基(优选为碳原子数6～22，更优选为6～18，进一步优选为6～10)或芳基烷基(优选为碳原子数7～25，更优选为7～19，进一步优选为7～12)。这些基团在发挥本发明的效果的范围内可以具有取代基。rb1和rb2可以相互键合而形成环。作为所形成的环，优选为4～7元的含氮杂环。rb1及rb2尤其优选为可以具有取代基的直链、支链或环状烷基(优选为碳原子数1～24，更优选为2～18，进一步优选为3～12)，更优选为可以具有取代基的环烷基(优选为碳原子数3～24，更优选为3～18，进一步优选为3～12)，进一步优选为可以具有取代基的环己基。[0540]作为rb3，可以举出烷基(优选为碳原子数1～24，更优选为2～18，进一步优选为3～12)、芳基(优选为碳原子数6～22，更优选为6～18，进一步优选为6～10)、烯基(优选为碳原子数2～24，更优选为2～12，进一步优选为2～6)、芳基烷基(优选为碳原子数7～23，更优选为7～19，进一步优选为7～12)、芳基烯基(优选为碳原子数8～24，更优选为8～20，进一步优选为8～16)、烷氧基(优选为碳原子数1～24，更优选为2～18，进一步优选为3～12)、芳氧基(优选为碳原子数6～22，更优选为6～18，进一步优选为6～12)或芳基烷氧基(优选为碳原子数7～23，更优选为7～19，进一步优选为7～12)。其中，优选为环烷基(优选为碳原子数3～24，更优选为3～18，进一步优选为3～12)、芳基烯基、芳基烷氧基。rb3在发挥本发明的效果的范围内还可以具有取代基。[0541]式(b1)所表示的化合物优选为下述式(b1-1)或下述式(b1-2)所表示的化合物。[0542][化学式44][0543][0544]式中，rb11及rb12以及rb31及rb32分别与式(b1)中的rb1及rb2相同。[0545]rb13为烷基(优选为碳原子数1～24，更优选为2～18，进一步优选为3～12)、烯基(优选为碳原子数2～24，更优选为2～18，进一步优选为3～12)、芳基(优选为碳原子数6～22，更优选为6～18，进一步优选为6～12)、芳基烷基(优选为碳原子数7～23，更优选为7～19，进一步优选为7～12)，在发挥本发明的效果的范围内可以具有取代基。其中，rb13优选为芳基烷基。[0546]rb33及rb34分别独立地为氢原子、烷基(优选为碳原子数1～12，更优选为1～8，进一步优选为1～3)、烯基(优选为碳原子数2～12，更优选为2～8，进一步优选为2～3)、芳基(优选为碳原子数6～22，更优选为6～18，进一步优选为6～10)、芳基烷基(优选为碳原子数7～23，更优选为7～19，进一步优选为7～11)，优选为氢原子。[0547]rb35为烷基(优选为碳原子数1～24，更优选为1～12，进一步优选为3～8)、烯基(优选为碳原子数2～12，更优选为2～10，进一步优选为3～8)、芳基(优选为碳原子数6～22，更优选为6～18，进一步优选为6～12)、芳基烷基(优选为碳原子数7～23，更优选为7～19，进一步优选为7～12)，优选为芳基。[0548]式(b1-1)所表示的化合物也优选为式(b1-1a)所表示的化合物。[0549][化学式45][0550][0551]rb11及rb12与式(b1-1)中的rb11及rb12的含义相同。[0552]rb15及rb16为氢原子、烷基(优选为碳原子数1～12，更优选为1～6，进一步优选为1～3)、烯基(优选为碳原子数2～12，更优选为2～6，进一步优选为2～3)、芳基(优选为碳原子数6～22，更优选为6～18，进一步优选为6～10)、芳基烷基(优选为碳原子数7～23，更优选为7～19，进一步优选为7～11)，优选为氢原子或甲基。[0553]rb17为烷基(优选为碳原子数1～24，更优选为1～12，进一步优选为3～8)、烯基(优选为碳原子数2～12，更优选为2～10，进一步优选为3～8)、芳基(优选为碳原子数6～22，更优选为6～18，进一步优选为6～12)、芳基烷基(优选为碳原子数7～23，更优选为7～19，进一步优选为7～12)，其中，优选为芳基。[0554]非离子系热产碱剂的分子量优选为800以下，更优选为600以下，进一步优选为500以下。作为下限，优选为100以上，更优选为200以上，进一步优选为300以上。[0555]作为在上述鎓盐中作为热产碱剂的化合物的具体例或除了上述鎓盐以外的热产碱剂的具体例，可以举出以下化合物。[0556][化学式46][0557][0558][化学式47][0559][0560][化学式48][0561][0562]其他热产碱剂的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.1～50质量％。下限更优选为0.5质量％以上，进一步优选为1质量％以上。上限更优选为30质量％以下，进一步优选为20质量％以下。热产碱剂能够使用一种或两种以上。在使用两种以上的情况下，优选合计量在上述范围内。[0563]＜交联剂＞[0564]本发明的树脂组合物优选包含交联剂。[0565]作为交联剂，可以举出自由基交联剂或其他交联剂。[0566]＜自由基交联剂＞[0567]本发明的树脂组合物优选还包含自由基交联剂。[0568]自由基交联剂为具有自由基聚合性基团的化合物。作为自由基聚合性基团，优选为包含乙烯性不饱和键的基团。作为上述包含乙烯性不饱和键的基团，可以举出乙烯基、烯丙基、乙烯基苯基、(甲基)丙烯酰基等具有乙烯性不饱和键的基团。[0569]在这些之中，作为上述包含乙烯性不饱和键的基团，优选为(甲基)丙烯酰基，从反应性的观点考虑，更优选为(甲基)丙烯酰氧基。[0570]自由基交联剂只要为具有1个以上的乙烯性不饱和键的化合物即可，更优选为具有2个以上的化合物。[0571]具有2个乙烯性不饱和键的化合物优选为具有2个上述包含乙烯性不饱和键的基团的化合物。[0572]并且，从所获得的图案(固化膜)的膜强度的观点考虑，本发明的树脂组合物优选包含有3个以上的乙烯性不饱和键的化合物作为自由基交联剂。作为上述具有3个以上的乙烯性不饱和键的化合物，优选为具有3～15个乙烯性不饱和键的化合物，更优选为具有3～10个乙烯性不饱和键的化合物，进一步优选为具有3～6个的化合物。[0573]并且，上述具有3个以上的乙烯性不饱和键的化合物优选为具有3个以上的上述包含乙烯性不饱和键的基团的化合物，更优选为具有3～15个的化合物，进一步优选为具有3～10个的化合物，尤其优选为具有3～6个的化合物。[0574]并且，从所获得的图案(固化膜)的膜强度的观点考虑，本发明的树脂组合物也优选包含具有2个乙烯性不饱和键的化合物和上述具有3个以上乙烯性不饱和键的化合物。[0575]自由基交联剂的分子量优选为2,000以下，更优选为1,500以下，进一步优选为900以下。自由基交联剂的分子量的下限优选为100以上。[0576]作为自由基交联剂的具体例，可以举出不饱和羧酸(例如，丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、异巴豆酸、马来酸等)或其酯类、酰胺类，优选为不饱和羧酸与多元醇化合物的酯及不饱和羧酸与多元胺化合物的酰胺类。并且，也可以优选地使用具有羟基或氨基、氢硫基(sulfanyl group)等亲核性取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类与单官能或多官能异氰酸酯类或环氧类的加成反应物或与单官能或多官能的羧酸的脱水缩合反应物等。并且，也可以优选地使用具有异氰酸酯基或环氧基等亲电子取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类与单官能或多官能的醇类、胺类、硫醇类的加成反应物，以及具有卤代基(halogeno group)或甲苯磺酰氧基(tosyloxy group)等脱离性取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类与单官能或多官能的醇类、胺类、硫醇类的取代反应物。并且，作为另一例，也能够使用代替上述不饱和羧酸而替换为不饱和膦酸、苯乙烯等乙烯苯衍生物、乙烯醚、烯丙醚等的化合物组。作为具体例，能够参考日本特开2016-027357号公报的0113～0122段的记载，这些内容被编入本说明书中。[0577]并且，自由基交联剂也优选为在常压下具有100℃以上的沸点的化合物。作为其例子，可以举出使环氧乙烷或环氧丙烷加成于聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己二醇(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧丙基)醚、三(丙烯酰氧乙基)异氰脲酸酯、甘油或三羟甲基乙烷等多官能醇上之后进行了(甲基)丙烯酸酯化的化合物、如日本特公昭48-041708号公报、日本特公昭50-006034号公报、日本特开昭51-037193号各公报中所记载的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯类、日本特开昭48-064183号、日本特公昭49-043191号、日本特公昭52-030490号各公报中所记载的聚酯丙烯酸酯类、作为环氧树脂与(甲基)丙烯酸的反应产物的环氧丙烯酸酯类等多官能的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯及这些的混合物。并且，也优选为日本特开2008-292970号公报的0254～0257段中所记载的化合物。并且，还可以举出使(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等具有环状醚基和乙烯性不饱和键的化合物与多官能羧酸进行反应而获得的多官能(甲基)丙烯酸酯等。[0578]并且，作为除了上述以外的优选的自由基交联剂，也能够使用日本特开2010-160418号公报、日本特开2010-129825号公报、日本专利第4364216号公报等中所记载的具有芴环且具有2个以上的含有乙烯性不饱和键的基团的化合物或卡多(cardo)树脂。[0579]另外，作为其他例子，也可以举出日本特公昭46-043946号公报、日本特公平01-040337号公报、日本特公平01-040336号公报中所记载的特定的不饱和化合物或日本特开平02-025493号公报中所记载的乙烯基膦酸系化合物等。并且，也能够使用日本特开昭61-022048号公报中所记载的包含全氟烷基的化合物。另外，也能够使用在”journal of the adhesion society of japan”vol.20、no.7、第300～308页(1984年)中作为光聚合性单体及低聚物而介绍的化合物。[0580]除了上述以外，也可以优选地使用日本特开2015-034964号公报的0048～0051段中所记载的化合物、国际公开第2015/199219号的0087～0131段中所记载的化合物，这些内容被编入本说明书中。[0581]并且，在日本特开平10-062986号公报中作为式(1)及式(2)而与其具体例一同记载的使环氧乙烷或环氧丙烷加成于多官能醇上之后进行了(甲基)丙烯酸酯化的化合物也能够用作自由基交联剂。[0582]另外，日本特开2015-187211号公报的0104～0131段中所记载的化合物也能够用作自由基交联剂，这些内容被编入本说明书中。[0583]作为自由基交联剂，优选为二季戊四醇三丙烯酸酯(作为市售品为kayarad d-330；nippon kayaku co.,ltd.制造)、二季戊四醇四丙烯酸酯(作为市售品为kayarad d-320；nippon kayaku co.,ltd.制造，a-tmmt：shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为kayarad d-310；nippon kayaku co.,ltd.制造)、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为kayarad dpha；nippon kayaku co.,ltd.制造，a-dph；shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)及这些的(甲基)丙烯酰基经由乙二醇残基或丙二醇残基键合的结构。也能够使用这些的低聚物型。[0584]作为自由基交联剂的市售品，例如可以举出sartomer company,inc.制造的作为具有4个亚乙氧基链的4官能丙烯酸酯的sr-494、作为具有4个亚乙氧基链的2官能甲基丙烯酸酯的sartomer company,inc.制造的sr-209、231、239、nippon kayaku co.,ltd.制造的作为具有6个戊烯氧基链的6官能丙烯酸酯的dpca-60、作为具有3个异丁烯氧基链的3官能丙烯酸酯的tpa-330、氨基甲酸酯低聚物uas-10、uab-140(nippon paper industries co.,ltd.制造)、nk ester m-40g、nk ester 4g、nk ester m-9300、nk ester a-9300、ua-7200(shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)、dpha-40h(nippon kayaku co.,ltd.制造)、ua-306h、ua-306t、ua-306i、ah-600、t-600、ai-600(kyoeisha chemical co.,ltd.制造)、blemmer pme400(nof corporation制造)等。[0585]作为自由基交联剂，也优选为如日本特公昭48-041708号公报、日本特开昭51-037193号公报、日本特公平02-032293号公报、日本特公平02-016765号公报中所记载的氨基甲酸酯丙烯酸酯类或日本特公昭58-049860号公报、日本特公昭56-017654号公报、日本特公昭62-039417号公报、日本特公昭62-039418号公报中所记载的具有环氧乙烷系结构的氨基甲酸酯化合物类。另外，作为自由基交联剂，也能够使用日本特开昭63-277653号公报、日本特开昭63-260909号公报、日本特开平01-105238号公报中所记载的在分子内具有氨基结构或硫化物结构的化合物。[0586]自由基交联剂也可以为具有羧基、磷酸基等酸基的自由基交联剂。具有酸基的自由基交联剂优选为脂肪族多羟基化合物与不饱和羧酸的酯，更优选为使非芳香族羧酸酐与脂肪族多羟基化合物的未反应的羟基进行反应而具有酸基的自由基交联剂。尤其优选为，在使非芳香族羧酸酐与脂肪族多羟基化合物的未反应的羟基进行反应而具有酸基的自由基交联剂中，脂肪族多羟基化合物为季戊四醇或二季戊四醇的化合物。作为市售品，例如作为toagosei co.,ltd.制造的多元酸改性丙烯酸低聚物，可以举出m-510、m-520等。[0587]具有酸基的自由基交联剂的优选酸值为0.1～40mgkoh/g，尤其优选为5～30mgkoh/g。只要自由基交联剂的酸值在上述范围内，则制造上的操作性优异，进而显影性优异。并且，聚合性良好。上述酸值根据jis k 0070：1992的记载进行测定。[0588]从图案的解像性和膜的伸缩性的观点考虑，本发明的树脂组合物优选使用2官能的甲基丙烯酸酯或丙烯酸酯。作为具体的化合物，能够使用三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、peg200二丙烯酸酯、peg200二甲基丙烯酸酯、peg600二丙烯酸酯、peg600二甲基丙烯酸酯、聚四乙二醇二丙烯酸酯、聚四乙二醇二甲基丙烯酸酯、季戊二醇二丙烯酸酯、季戊二醇二甲基丙烯酸酯、3-甲基-1,5-戊二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6己二醇二甲基丙烯酸酯、二羟甲基-三环癸烷二丙烯酸酯、二羟甲基-三环癸烷二甲基丙烯酸酯、双酚a的eo加成物二丙烯酸酯、双酚a的eo加成物二甲基丙烯酸酯、双酚a的po加成物二丙烯酸酯、双酚a的po加成物二甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-丙烯酰氧基丙基甲基丙烯酸酯、异氰脲酸eo改性二丙烯酸酯、异氰脲酸改性二甲基丙烯酸酯，以及具有氨基甲酸酯键的2官能丙烯酸酯、具有氨基甲酸酯键的2官能的甲基丙烯酸酯。这些根据需要能够混合使用两种以上。另外，例如peg200二丙烯酸酯是指聚乙二醇二丙烯酸酯且聚乙二醇链的式量为200左右的化合物。[0589]并且，从抑制伴随图案(固化膜)的弹性模量控制而产生的翘曲的观点考虑，作为自由基交联剂，可以优选地使用单官能自由基交联剂。作为单官能自由基交联剂，可以优选地使用(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸卡必醇酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、n-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸衍生物、n-乙烯基吡咯烷酮、n-乙烯基己内酰胺等n-乙烯基化合物类、烯丙基缩水甘油醚、邻苯二甲酸二烯丙酯、偏苯三酸三烯丙酯等烯丙基化合物类等。作为单官能自由基交联剂，也优选为，为了抑制曝光前的挥发，在常压下具有100℃以上的沸点的化合物。[0590]在含有自由基交联剂的情况下，其含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选超过0质量％且60质量％以下。下限更优选为5质量％以上。上限更优选为50质量％以下，进一步优选为30质量％以下。[0591]自由基交联剂可以单独使用一种，但是也可以混合使用两种以上。在同时使用两种以上的情况下，优选其合计量成为上述范围。[0592]＜其他交联剂＞[0593]本发明的树脂组合物优选包含与上述自由基交联剂不同的其他交联剂。[0594]在本发明中，其他交联剂是指除了上述自由基交联剂以外的交联剂，优选为在分子内具有多个通过上述感光剂的感光而促进在与组合物中的其他化合物或其反应产物之间形成共价键的反应的基团的化合物，优选为在分子内具有多个通过酸或碱的作用而促进在与组合物中的其他化合物或其反应产物之间形成共价键的反应的基团的化合物。[0595]上述酸或碱优选为在曝光工序中从感光剂产生的酸或碱。[0596]作为其他交联剂，优选为具有选自羟甲基及烷氧基甲基中的至少一种基团的化合物，更优选为具有选自羟甲基及烷氧基甲基中的至少一种基团与氮原子直接键合的结构的化合物。[0597]作为其他交联剂，例如可以举出具有使甲醛或甲醛和醇与三聚氰胺、甘脲、脲、亚烷基脲、苯并胍胺等含有氨基的化合物进行反应而经羟甲基或烷氧基甲基取代的上述氨基的氢原子的结构的化合物。这些化合物的制造方法并无特别限定，只要为具有与通过上述方法制造的化合物相同的结构的化合物即可。并且，也可以为这些化合物的羟甲基彼此自缩合而成的低聚物。[0598]将作为上述含有氨基的化合物而使用了三聚氰胺的交联剂称为三聚氰胺系交联剂，将使用了甘脲、脲或亚烷基脲的交联剂称为脲系交联剂，将使用了亚烷基脲的交联剂称为亚烷基脲系交联剂，将使用了苯并胍胺的交联剂称为苯并胍胺系交联剂。[0599]在这些之中，本发明的树脂组合物优选包含选自脲系交联剂及三聚氰胺系交联剂中的至少一种化合物，更优选包含选自后述甘脲系交联剂及三聚氰胺系交联剂中的至少一种化合物。[0600]作为三聚氰胺系交联剂的具体例，可以举出六甲氧基甲基三聚氰胺、六乙氧基甲基三聚氰胺、六丙氧基甲基三聚氰胺、六丁氧基丁基三聚氰胺等。[0601]作为脲系交联剂的具体例，例如可以举出单羟基甲基化甘脲、二羟基甲基化甘脲、三羟基甲基化甘脲、四羟基甲基化甘脲、单甲氧基甲基化甘脲，二甲氧基甲基化甘脲、三甲氧基甲基化甘脲、四甲氧基甲基化甘脲、单甲氧基甲基化甘脲、二甲氧基甲基化甘脲、三甲氧基甲基化甘脲、四乙氧基甲基化甘脲、单丙氧基甲基化甘脲、二丙氧基甲基化甘脲、三丙氧基甲基化甘脲、四丙氧基甲基化甘脲、单丁氧基甲基化甘脲、二丁氧基甲基化甘脲、三丁氧基甲基化甘脲或四丁氧基甲基化甘脲等甘脲系交联剂；[0602]双甲氧基甲基脲、双乙氧基甲基脲、双丙氧基甲基脲、双丁氧基甲基脲等脲系交联剂；[0603]单羟基甲基化亚乙脲或二羟基甲基化亚乙脲、单甲氧基甲基化亚乙脲、二甲氧基甲基化亚乙脲、单乙氧基甲基化亚乙脲、二乙氧基甲基化亚乙脲、单丙氧基甲基化亚乙脲、二丙氧基甲基化亚乙脲、单丁氧基甲基化亚乙脲或二丁氧基甲基化亚乙脲等亚乙脲系交联剂；[0604]单羟基甲基化亚丙脲、二羟基甲基化亚丙脲、单甲氧基甲基化亚丙脲、二甲氧基甲基化亚丙脲、单二乙氧基甲基化亚丙脲、二乙氧基甲基化亚丙脲、单丙氧基甲基化亚丙脲、二丙氧基甲基化亚丙脲、单丁氧基甲基化亚丙脲或二丁氧基甲基化亚丙脲等亚丙脲系交联剂；[0605]1,3-二(甲氧基甲基)4,5-二羟基-2-咪唑啉酮、1,3-二(甲氧基甲基)-4,5-二甲氧基-2-咪唑啉酮等。[0606]作为苯并胍胺系交联剂的具体例，例如可以举出单羟基甲基化苯并胍胺、二羟基甲基化苯并胍胺、三羟基甲基化苯并胍胺、四羟基甲基化苯并胍胺、单甲氧基甲基化苯并胍胺、二甲氧基甲基化苯并胍胺、三甲氧基甲基化苯并胍胺、四甲氧基甲基化苯并胍胺、单甲氧基甲基化苯并胍胺、二甲氧基甲基化苯并胍胺、三甲氧基甲基化苯并胍胺、四乙氧基甲基化苯并胍胺、单丙氧基甲基化苯并胍胺、二丙氧基甲基化苯并胍胺、三丙氧基甲基化苯并胍胺、四丙氧基甲基化苯并胍胺、单丁氧基甲基化苯并胍胺、二丁氧基甲基化苯并胍胺、三丁氧基甲基化苯并胍胺、四丁氧基甲基化苯并胍胺等。[0607]除此以外，作为具有选自羟甲基及烷氧基甲基中的至少一种基团的化合物，也可以优选地使用在芳香环(优选为苯环)上直接键合有选自羟甲基及烷氧基甲基中的至少一种基团的化合物。[0608]作为这样的化合物的具体例，可以举出苯二甲醇、双(羟基甲基)甲酚、双(羟基甲基)二甲氧基苯、双(羟基甲基)二苯醚、双(羟基甲基)二苯甲酮、羟基甲基苯甲酸羟基甲基苯酯、双(羟基甲基)联苯、二甲基双(羟基甲基)联苯、双(甲氧基甲基)苯、双(甲氧基甲基)甲酚、双(甲氧基甲基)二甲氧基苯、双(甲氧基甲基)二苯醚、双(甲氧基甲基)二苯甲酮、甲氧基甲基苯甲酸甲氧基甲基苯酯、双(甲氧基甲基)联苯、二甲基双(甲氧基甲基)联苯、4,4’,4”‑亚乙基三[2,6-双(甲氧基甲基)苯酚]、5,5’‑[2,2,2-三氟-1-(三氟甲基)亚乙基]双[2-羟基-1,3-苯二甲醇]、3,3’,5,5’‑四(甲氧基甲基)-1,1’‑联苯-4,4’‑二醇等。[0609]作为其他交联剂，也可以使用市售品，作为优选的市售品，可以举出46dmoc、46dmoep(以上为asahi yukizai corporation制造)、dml-pc、dml-pep、dml-oc、dml-oep、dml-34x、dml-ptbp、dml-pchp、dml-ochp、dml-pfp、dml-psbp、dml-pop、dml-mboc、dml-mbpc、dml-mtrispc、dml-bisoc-z、dml-bisochp-z、dml-bpc、dmlbisoc-p、dmom-pc、dmom-ptbp、dmom-mbpc、triml-p、triml-35xl、tml-hq、tml-bp、tml-pp-bpf、tml-bpe、tml-bpa、tml-bpaf、tml-bpap、tmom-bp、tmom-bpe、tmom-bpa、tmom-bpaf、tmom-bpap、hml-tpphba、hml-tphap、hmom-tpphba、hmom-tphap(以上为honshu chemical industry co.,ltd.制造)、nikarac(注册商标，以下相同)mx-290、nikarac mx-280、nikarac mx-270、nikarac mx-279、nikarac mw-100lm、nikarac mx-750lm(以上为sanwa chemical co.,ltd.制造)等。[0610]并且，本发明的树脂组合物也优选包含选自环氧化合物、氧环丁烷化合物及苯并噁嗪化合物中的至少一种化合物作为其他交联剂。[0611]〔环氧化合物(具有环氧基的化合物)〕[0612]作为环氧化合物，优选为在1个分子中具有2个以上的环氧基的化合物。环氧基在200℃以下进行交联反应，并且不产生来自于交联的脱水反应，因此不易产生膜收缩。因此，含有环氧化合物对于树脂组合物的低温固化及翘曲的抑制是有效的。[0613]环氧化合物优选含有聚环氧乙烷基。由此，弹性模量进一步下降，并且能够抑制翘曲。聚环氧乙烷基表示环氧乙烷的重复单元数为2以上的基团，优选重复单元数为2～15。[0614]作为环氧化合物的例子，可以举出双酚a型环氧树脂；双酚f型环氧树脂；丙二醇二缩水甘油醚、季戊二醇二缩水甘油醚、乙二醇二缩水甘油醚、丁二醇二缩水甘油醚、六亚甲基二醇二缩水甘油醚、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚等亚烷基二醇型环氧树脂或多元醇烃型环氧树脂；聚丙二醇二缩水甘油醚等聚亚烷基二醇型环氧树脂；聚甲基(缩水甘油氧基丙基)硅氧烷等环氧环氧基的硅酮等，但是并不限定于这些。具体而言，可以举出epiclon(注册商标)850-s、epiclon(注册商标)hp-4032、epiclon(注册商标)hp-7200、epiclon(注册商标)hp-820、epiclon(注册商标)hp-4700、epiclon(注册商标)exa-4710、epiclon(注册商标)hp-4770、epiclon(注册商标)exa-859crp、epiclon(注册商标)exa-1514、epiclon(注册商标)exa-4880、epiclon(注册商标)exa-4850-150、epiclon exa-4850-1000、epiclon(注册商标)exa-4816、epiclon(注册商标)exa-4822、epiclon(注册商标)exa-830lvp、epiclon(注册商标)exa-8183、epiclon(注册商标)exa-8169、epiclon(注册商标)n-660、epiclon(注册商标)n-665-exp-s、epiclon(注册商标)n-740、rika resin(注册商标)beo-20e(以上为商品名，dic corporation制造)、rika resin(注册商标)beo-60e(商品名，new japan chemical co.,ltd.)、ep-4003s、ep-4000s、rika resin(注册商标)hbe-100、rika resin(注册商标)dme-100、rika resin(注册商标)l-200、ep-4088s、ep-3950s(以上为商品名，adeka corporation制造)、celloxide 2021p、2081、2000、3000、ehpe3150、epolead gt400、celvenus b0134、b0177(以上为商品名，daicel corporation制造)、nc-3000、nc-3000-l、nc-3000-h、nc-3000-fh-75m、nc-3100、cer-3000-l、nc-2000-l、xd-1000、nc-7000l、nc-7300l、eppn-501h、eppn-501hy、eppn-502h、eocn-1020、eocn-102s、eocn-103s、eocn-104s、cer-1020、eppn-201、bren-s、bren-10s(以上为商品名，nippon kayaku co.,ltd.制造)等。[0615]〔氧环丁烷化合物(具有氧环丁基的化合物)〕[0616]作为氧环丁烷化合物，可以举出在1个分子中具有2个以上的氧环丁烷环的化合物、3-乙基-3-羟基甲基氧环丁烷、1,4-双{[(3-乙基-3-氧环丁基)甲氧基]甲基}苯、3-乙基-3-(2-乙基己基甲基)氧环丁烷、1,4-苯二羧酸-双[(3-乙基-3-氧环丁基)甲基]酯等。作为具体例，可以优选地使用toagosei co.,ltd.制造的aron oxetane系列(例如，oxt-121、oxt-221、oxt-191、oxt-223)，这些可以单独使用或者混合两种以上。[0617]〔苯并噁嗪化合物(具有苯并噁嗪基的化合物)〕[0618]苯并噁嗪化合物由于来自于开环加成反应的交联反应而在固化时不产生脱气，并且进一步减少热收缩而抑制产生翘曲，因此优选。[0619]作为苯并噁嗪化合物的优选例，可以举出b-a型苯并噁嗪、b-m型苯并噁嗪、p-d型苯并噁嗪、f-a型苯并噁嗪(以上为商品名，shikoku chemicals corporation制造)、多羟基苯乙烯树脂的苯并噁嗪加成物、苯酚酚醛清漆型二氢苯并噁嗪化合物。这些可以单独使用或者混合两种以上。[0620]其他交联剂的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.1～30质量％，更优选为0.1～20质量％，进一步优选为0.5～15质量％，尤其优选为1.0～10质量％。其他交联剂可以仅含有一种，也可以含有两种以上。在含有两种以上的其他交联剂的情况下，优选其合计在上述范围内。[0621]＜迁移抑制剂＞[0622]本发明的树脂组合物优选还包含迁移抑制剂。通过包含迁移抑制剂，能够有效地抑制来自于金属层(金属配线)的金属离子向树脂组合物层内移动。[0623]作为迁移抑制剂，并无特别限制，可以举出具有杂环(吡咯环、呋喃环、噻吩环、三唑环、咪唑环、噁唑环、噻唑环、吡唑环、异噁唑环、异噻唑环、四唑环、吡啶环、哒嗪环、嘧啶环、吡嗪环、哌啶环、哌嗪环、吗啉环、2h-吡喃环及6h-吡喃环、三嗪环)的化合物、硫脲类及具有氢硫基的化合物、受阻苯酚系化合物、水杨酸衍生物系化合物、酰肼衍生物系化合物。尤其，可以优选地使用1,2,4-三唑、苯并三唑等三唑系化合物、1h-四唑、5-苯基四唑等四唑系化合物。[0624]或者，也能够使用捕捉卤素离子等阴离子的离子捕捉剂。[0625]作为其他迁移抑制剂，能够使用日本特开2013-015701号公报的0094段中所记载的防锈剂、日本特开2009-283711号公报的0073～0076段中所记载的化合物、日本特开2011-059656号公报的0052段中所记载的化合物、日本特开2012-194520号公报的0114、0116及0118段中所记载的化合物、国际公开第2015/199219号的0166段中所记载的化合物等。[0626]作为迁移抑制剂的具体例，可以举出下述化合物。[0627][化学式49][0628][0629]在树脂组合物具有迁移抑制剂的情况下，迁移抑制剂的含量相对于树脂组合物的总固体成分优选为0.01～5.0质量％，更优选为0.05～2.0质量％，进一步优选为0.1～1.0质量％。[0630]迁移抑制剂可以仅为一种，也可以为两种以上。在迁移抑制剂为两种以上的情况下，优选其合计在上述范围内。[0631]＜阻聚剂＞[0632]本发明的树脂组合物优选包含阻聚剂。[0633]作为阻聚剂，例如可以优选地使用氢醌、邻甲氧基苯酚、对甲氧基苯酚、二-叔丁基-对甲酚、五倍子酚、对叔丁基邻苯二酚、1,4-苯醌、二苯基-对苯醌、4,4’‑硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2’‑亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、n-亚硝基-n-苯基羟胺铝盐、吩噻嗪、n-亚硝基二苯胺、n-苯基萘胺、2,6-二-叔丁基-4-甲基苯酚、5-亚硝基-8-羟基喹啉、1-亚硝基-2-萘酚、2-亚硝基-1-萘酚、2-亚硝基-5-(n-乙基-n-磺基丙基氨基)苯酚、n-亚硝基苯基羟胺亚铈盐、n-亚硝基-n-(1-萘基)羟胺铵盐、双(4-羟基-3,5-叔丁基)苯基甲烷、1,3,5-三(4-叔丁基-3-羟基-2,6-二甲基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1h,3h,5h)-三酮、4-羟基-2,2,6,6-四甲基哌啶1-氧基自由基、吩噻嗪、1,1-二苯基-2-苦味基肼、二丁基二硫代氨基甲酸铜(ii)、硝基苯、n-亚硝基-n-苯基羟胺铝盐、n-亚硝基-n-苯基羟胺铵盐、n,n’‑二苯基-对亚苯基二胺、2,4-二-叔丁基苯酚、二-叔丁基羟基甲苯、1,4-萘醌等。并且，也能够使用日本特开2015-127817号公报的0060段中所记载的阻聚剂及国际公开第2015/125469号的0031～0046段中所记载的化合物。[0634]并且，能够使用下述化合物(me为甲基)。[0635][化学式50][0636][0637]在本发明的树脂组合物具有阻聚剂的情况下，可以举出阻聚剂的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分为0.01～20.0质量％，优选为0.01～5质量％，更优选为0.02～3质量％，进一步优选为0.05～2.5质量％。[0638]阻聚剂可以仅为一种，也可以为两种以上。在阻聚剂为两种以上的情况下，优选其合计在上述范围内。[0639]＜金属粘接性改良剂＞[0640]本发明的树脂组合物优选包含用于提高与电极或配线等中所使用的金属材料的粘接性的金属粘接性改良剂。作为金属粘接性改良剂，可以举出硅烷偶联剂、铝系粘接助剂、钛系粘接助剂、具有磺酰胺结构的化合物及具有硫基脲结构的化合物、磷酸衍生物化合物、β酮酸酯(βketo ester)化合物、氨基化合物等。[0641]作为硅烷偶联剂的例子，可以举出国际公开第2015/199219号的0167段中所记载的化合物、日本特开2014-191002号公报的0062～0073段中所记载的化合物、国际公开第2011/080992号的0063～0071段中所记载的化合物、日本特开2014-191252号公报的0060～0061段中所记载的化合物、日本特开2014-041264号公报的0045～0052段中所记载的化合物、国际公开第2014/097594号的0055段中所记载的化合物。并且，也优选如日本特开2011-128358号公报的0050～0058段中所记载，使用两种以上的不同的硅烷偶联剂。并且，硅烷偶联剂也优选使用下述化合物。以下式中，et表示乙基。[0642][化学式51][0643][0644]作为其他硅烷偶联剂，例如可以举出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基三乙氧基硅烷、对苯乙烯基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、n-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、n-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-三乙氧基甲硅烷基-n-(1,3-二甲基-亚丁基)丙胺、n-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、三-(三甲氧基甲硅烷基丙基)异氰脲酸酯、3-脲基丙基三烷氧基硅烷、3-巯基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷、3-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐。这些能够单独使用一种或者组合使用两种以上。[0645]〔铝系粘接助剂〕[0646]作为铝系粘接助剂，例如可以举出三(乙酰乙酸乙基)铝、三(乙酰丙酮)铝、乙酰乙酸乙基铝二异丙酯等。[0647]并且，作为金属粘接性改良剂，也能够使用日本特开2014-186186号公报的0046～0049段中所记载的化合物、日本特开2013-072935号公报的0032～0043段中所记载的硫化物系化合物。[0648]金属粘接性改良剂的含量相对于特定树脂100质量份，优选为0.1～30质量份，更优选为在0.5～15质量份的范围内，进一步优选为在0.5～5质量份的范内围。通过设为上述下限值以上，固化工序后的固化膜与金属层的粘接性变得良好，通过设为上述上限值以下，固化工序后的固化膜的耐热性、机械特性变得良好。金属粘接性改良剂可以仅为一种，也可以为两种以上。在使用两种以上的情况下，优选合计量在上述范围内。[0649]＜其他添加剂＞[0650]本发明的树脂组合物在可以获得本发明的效果的范围内根据需要能够配合各种添加物，例如增感剂、链转移剂、表面活性剂、高级脂肪酸衍生物、无机粒子、固化剂、固化催化剂、填充剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、抗凝聚剂等。在配合这些添加剂的情况下，优选其合计配合量设为树脂组合物的固体成分的3质量％以下。[0651]〔增感剂〕[0652]本发明的树脂组合物可以包含增感剂。增感剂吸收特定的活性放射线而成为电子激发状态。成为电子激发状态的增感剂与热固化促进剂、热自由基聚合引发剂、光自由基聚合引发剂等接触而产生电子转移、能量转移、发热等作用。由此，热固化促进剂、热自由基聚合引发剂、光自由基聚合引发剂引起化学变化而分解，从而生成自由基、酸或碱。[0653]作为增感剂，例如可以举出米其勒酮、4,4’‑双(二乙基氨基)二苯甲酮、2,5-双(4’‑二乙基氨基亚苄基)环戊烷、2,6-双(4’‑二乙基氨基亚苄基)环己酮、2,6-双(4’‑二乙基氨基亚苄基)-4-甲基环己酮、4,4’‑双(二甲基氨基)查耳酮、4,4’‑双(二乙基氨基)查耳酮、对二甲基氨基苯亚烯丙基二氢茚酮、对二甲基氨基亚苄基二氢茚酮、2-(对二甲基氨基苯基亚联苯基)-苯并噻唑、2-(对二甲基氨基苯基亚乙烯基)苯并噻唑、2-(对二甲基氨基苯基亚乙烯基)异萘并噻唑、1,3-双(4’‑二甲基氨基亚苄基)丙酮、1,3-双(4’‑二乙基氨基亚苄基)丙酮、3,3’‑羰基-双(7-二乙基氨基香豆素)、3-乙酰基-7-二甲基氨基香豆素、3-乙氧基羰基-7-二甲基氨基香豆素、3-苄氧基羰基-7-二甲基氨基香豆素、3-甲氧基羰基-7-二乙基氨基香豆素、3-乙氧基羰基-7-二乙基氨基香豆素、n-苯基-n’‑乙基乙醇胺、n-苯基二乙醇胺、n-对甲苯基二乙醇胺、n-苯基乙醇胺、4-吗啉基二苯甲酮、二甲基氨基苯甲酸异戊酯、二乙基氨基苯甲酸异戊酯、2-巯基苯并咪唑、1-苯基-5-巯基四唑、2-巯基苯并噻唑、2-(对二甲基氨基苯乙烯基)苯并噁唑、2-(对二甲基氨基苯乙烯基)苯并噻唑、2-(对二甲基氨基苯乙烯基)萘并(1,2-d)噻唑、2-(对二甲基氨基苯甲酰基)苯乙烯、二苯基乙酰胺、苯甲酰苯胺、n-甲基乙酰苯胺、3’,4’‑二甲基乙酰苯胺等。[0654]作为增感剂，也可以使用增感色素。[0655]关于增感色素的详细内容，能够参考日本特开2016-027357号公报的0161～0163段的记载，该内容被编入本说明书中。[0656]在本发明的树脂组合物包含增感剂的情况下，增感剂的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.01～20质量％，更优选为0.1～15质量％，进一步优选为0.5～10质量％。增感剂可以单独使用一种，也可以同时使用两种以上。[0657]〔链转移剂〕[0658]本发明的树脂组合物可以含有链转移剂。链转移剂例如在高分子词典第三版(高分子学会编，2005年)第683-684页中被定义。作为链转移剂，例如可以使用在分子内具有sh、ph、sih及geh的化合物组。这些能够将氢供应给低活性的自由基而生成自由基，或者在氧化之后通过去质子而生成自由基。尤其，可以优选地使用硫醇化合物。[0659]并且，链转移剂也能够使用国际公开第2015/199219号的0152～0153段中所记载的化合物。[0660]在本发明的树脂组合物具有链转移剂的情况下，链转移剂的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分100质量份优选为0.01～20质量份，更优选为1～10质量份，进一步优选为1～5质量份。链转移剂可以仅为一种，也可以为两种以上。在链转移剂为两种以上的情况下，优选其合计在上述范围内。[0661]〔表面活性剂〕[0662]从进一步提高涂布性的观点考虑，在本发明的树脂组合物中可以添加各种类型的表面活性剂。作为表面活性剂，能够使用氟系表面活性剂、非离子系表面活性剂、阳离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂、硅酮系表面活性剂等各种表面活性剂。并且，也优选为下述表面活性剂。下述式中，表示主链的重复单元的括号表示各重复单元的含量(摩尔％)，表示侧链的重复单元的括号表示各重复单元的重复数。[0663][化学式52][0664][0665]并且，表面活性剂也能够使用国际公开第2015/199219号的0159～0165段中所记载的化合物。[0666]关于氟系表面活性剂，也能够将在侧链中具有乙烯性不饱和基的含氟聚合物用作氟系表面活性剂。作为具体例，可以举出日本特开2010-164965号公报的0050～0090段及0289～0295段中所记载的化合物，例如dic corporation制造的megaface rs-101、rs-102、rs-718k等。[0667]氟系表面活性剂中的氟含有率优选为3～40质量％，更优选为5～30质量％，尤其优选为7～25质量％。在涂布膜的厚度的均匀性或省液性的观点上，氟含有率在该范围内的氟系表面活性剂为有效，在组合物中的溶解性也良好。[0668]作为硅酮系表面活性剂，例如可以举出toray silicone dc3pa、toray silicone sh7pa、toray silicone dc11pa、toray silicone sh21pa、toray silicone sh28pa、toray silicone sh29pa、toray silicone sh30pa、toray silicone sh8400(以上为dow corning toray co.,ltd.制造)、tsf-4440、tsf-4300、tsf-4445、tsf-4460、tsf-4452(以上为momentive performance materials inc.制造)、kp341、kf6001、kf6002(以上为shin-etsu silicone co.,ltd.制造)、byk307、byk323、byk330(以上为byk chemie gmbh制造)等。[0669]作为烃系表面活性剂，例如可以举出pionin a-76、new kalgen fs-3pg、pionin b-709、pionin b-811-n、pionin d-1004、pionin d-3104、pionin d-3605、pionin d-6112、pionin d-2104-d、pionin d-212、pionin d-931、pionin d-941、pionin d-951、pionin e-5310、pionin p-1050-b、pionin p-1028-p、pionin p-4050-t等(以上为takemoto oil&fat co.,ltd.制造)等。[0670]作为非离子型表面活性剂，可以举出甘油、三羟甲基丙烷、三羟甲基乙烷以及这些的乙氧基化物及丙氧基化物(例如，甘油丙氧基化物、甘油乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、pluronic l10、l31、l61、l62、10r5、17r2、25r2(basf公司制造)、tetronic 304、701、704、901、904、150r1(basf公司制造)、solsperse 20000(lubrizol japan limited.制造)、ncw-101、ncw-1001、ncw-1002(fujifilm wako pure chemical corporation制造)、pionin d-6112、d-6112-w、d-6315(takemoto oil&fat co.,ltd.制造)、olfine e1010、surfynol 104、400、440(nissin chemical co.,ltd.制造)等。[0671]作为阳离子型表面活性剂，具体而言，可以举出有机硅氧烷聚合物kp341(shin-etsu chemical co.,ltd.制造)、(甲基)丙烯酸系(共)聚合物polyflow no.75、no.77、no.90、no.95(kyoeisha chemical co.,ltd.制造)、w001(yusho co.,ltd.制造)等。[0672]作为阴离子型表面活性剂，具体而言，可以举出w004、w005、w017(yusho co.,ltd.制造)、sandet bl(sanyo kasei co.,ltd.制造)等。[0673]在本发明的树脂组合物具有表面活性剂的情况下，表面活性剂的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.001～2.0质量％，更优选为0.005～1.0质量％。表面活性剂可以仅为一种，也可以为两种以上。在表面活性剂为两种以上的情况下，优选其合计在上述范围内。[0674]〔高级脂肪酸衍生物〕[0675]为了防止由氧引起的聚合阻碍，本发明的树脂组合物可以添加如二十二酸或二十二酸酰胺那样的高级脂肪酸衍生物以使其在涂布后进行干燥过程中不均匀地分布于树脂组合物的表面上。[0676]并且，高级脂肪酸衍生物也能够使用国际公开第2015/199219号的0155段中所记载的化合物。[0677]在本发明的树脂组合物具有高级脂肪酸衍生物的情况下，高级脂肪酸衍生物的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.1～10质量％。高级脂肪酸衍生物可以仅为一种，也可以为两种以上。在高级脂肪酸衍生物为两种以上的情况下，优选其合计在上述范围内。[0678]〔无机粒子〕[0679]本发明的树脂组合物可以包含无机粒子。作为无机粒子，具体而言，能够包含碳酸钙、磷酸钙、二氧化硅、高岭土、滑石、二氧化钛、氧化铝、硫酸钡、氟化钙、氟化锂、沸石、硫化钼、玻璃等。[0680]作为上述无机粒子的平均粒径优选为0.01～2.0μm，更优选为0.02～1.5μm，进一步优选为0.03～1.0μm，尤其优选为0.04～0.5μm。[0681]通过大量含有上述无机粒子的平均粒径，有时上述固化膜的机械特性会劣化。并且，若上述无机粒子的平均粒径超过2.0μm，则有时解析度因曝光光的散射而下降。[0682]〔紫外线吸收剂〕[0683]本发明的组合物可以包含紫外线吸收剂。作为紫外线吸收剂，能够使用水杨酸酯系、二苯甲酮系、苯并三唑系、取代丙烯腈系、三嗪系等紫外线吸收剂。[0684]作为水杨酸酯系紫外线吸收剂的例子，可以举出水杨酸苯酯、水杨酸对辛基苯酯、水杨酸对叔丁基苯酯等，作为二苯甲酮系紫外线吸收剂的例子，可以举出2,2’‑二羟基-4-甲氧基二苯甲酮、2,2’‑二羟基-4,4’‑二甲氧基二苯甲酮、2,2’,4,4’‑四羟基二苯甲酮、2-羟基-4-甲氧基二苯甲酮、2,4-二羟基二苯甲酮、2-羟基-4-辛氧基二苯甲酮等。并且，作为苯并三唑系紫外线吸收剂的例子，可以举出2-(2’‑羟基-3’,5’‑二-叔丁基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2’‑羟基-3’‑叔丁基-5’‑甲基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2’‑羟基-3’‑叔戊基-5’‑异丁基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2’‑羟基-3’‑异丁基-5’‑甲基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2’‑羟基-3’‑异丁基-5’‑丙基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2’‑羟基-3’,5’‑二-叔丁基苯基)苯并三唑、2-(2’‑羟基-5’‑甲基苯基)苯并三唑、2-[2’‑羟基-5’‑(1,1,3,3-四甲基)苯基]苯并三唑等。[0685]作为取代丙烯腈系紫外线吸收剂的例子，可以举出2-氰基-3,3-二苯基丙烯酸乙酯、2-氰基-3,3-二苯基丙烯酸2-乙基己酯等。进而，作为三嗪系紫外线吸收剂的例子，可以举出2-[4-[(2-羟基-3-十二烷氧基丙基)氧基]-2-羟基苯基]-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-[4-[(2-羟基-3-十三烷氧基丙基)氧基]-2-羟基苯基]-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2,4-二羟基苯基)-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪等单(羟基苯基)三嗪化合物；2,4-双(2-羟基-4-丙氧基苯基)-6-(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(2-羟基-3-甲基-4-丙氧基苯基)-6-(4-甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(2-羟基-3-甲基-4-己氧基苯基)-6-(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪等双(羟基苯基)三嗪化合物；2,4-双(2-羟基-4-丁氧基苯基)-6-(2,4-二丁氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4,6-三(2-羟基-4-辛氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4,6-三[2-羟基-4-(3-丁氧基-2-羟基丙氧基)苯基]-1,3,5-三嗪等三(羟基苯基)三嗪化合物等。[0686]在本发明中，上述各种紫外线吸收剂可以单独使用一种，也可以组合使用两种以上。[0687]本发明的组合物可以包含紫外线吸收剂或不包含紫外线吸收剂，但是在包含紫外线吸收剂的情况下，紫外线吸收剂的含量相对于本发明的组合物的总固体成分质量优选为0.001质量％以上且1质量％以下，更优选为0.01质量％以上且0.1质量％以下。[0688]〔有机钛化合物〕[0689]本实施方式的树脂组合物可以含有有机钛化合物。通过树脂组合物含有有机钛化合物，即使在低温下进行固化的情况下，也能够形成耐药品性优异的树脂层。[0690]作为能够使用的有机钛化合物，可以举出在钛原子上经由共价键或离子键键合有有机基团的化合物。[0691]将有机钛化合物的具体例示于以下的i)～vii)：[0692]i)钛螯合化合物：其中，由于负型感光性树脂组合物的保存稳定性良好且可以获得良好的固化图案，因此更优选为具有2个以上的烷氧基的钛螯合化合物。具体例为双(三乙醇胺)二异丙氧基钛、双(2,4-戊二酸酯)二(正丁氧基)钛、双(2,4-戊二酸酯)二异丙氧基钛、双(四甲基庚二酸酯)二异丙氧基钛、双(乙基乙酰乙酸酯)二异丙氧基钛等。[0693]ii)四烷氧基钛化合物：例如为四(正丁氧基)钛、四乙氧基钛、四(2-乙基己氧基)钛、四异丁氧基钛、四异丙氧基钛、四甲氧基钛、四甲氧基丙氧基钛、四甲基苯氧基钛、四(正壬氧基)钛、四(正丙氧基)钛、四硬脂酰氧基钛、四[双{2,2-(烯丙氧基甲基)丁氧基}]钛等。[0694]iii)二茂钛化合物：例如为五甲基环戊二烯基三甲醇钛、双(η5-2,4-环戊二烯-1-基)双(2,6-二氟苯基)钛、双(η5-2,4-环戊二烯-1-基)双(2,6-二氟-3-(1h-吡咯-1-基)苯基)钛等。[0695]iv)单烷氧基钛化合物：例如为三(二辛基磷酸酯)异丙氧基钛、三(十二烷基苯磺酸酯)异丙氧基钛等。[0696]v)氧化钛化合物：例如为双(戊二酸酯)氧化钛、双(四甲基庚二酸酯)氧化钛、酞菁氧化钛等。[0697]vi)四乙酰丙酮钛化合物：例如为四乙酰丙酮钛等。[0698]vii)钛酸酯偶联剂：例如为异丙基三(十二烷基)苯磺酰基钛酸酯等。[0699]其中，作为有机钛化合物，从发挥更加良好的耐药品性的观点考虑，优选为选自上述i)钛螯合化合物、ii)四烷氧基钛化合物及iii)二茂钛化合物中的至少一种化合物。尤其，优选为双(乙基乙酰乙酸酯)二异丙氧基钛、四(正丁氧基)钛及双(η5-2,4-环戊二烯-1-基)双(2,6-二氟-3-(1h-吡咯-1-基)苯基)钛。[0700]在配合有机钛化合物的情况下，其配合量相对于环化树脂的前体100质量份优选为0.05～10质量份，更优选为0.1～2质量份。在配合量为0.05质量份以上的情况下，在所获得的固化图案中显现良好的耐热性及耐药品性，另一方面，在配合量为10质量份以下的情况下，组合物的保存稳定性优异。[0701]〔抗氧化剂〕[0702]本发明的组合物可以包含抗氧化剂。通过含有抗氧化剂作为添加剂，能够提高固化后的膜的伸长率特性或与金属材料的密合性。作为抗氧化剂，可以举出酚化合物、亚磷酸酯化合物、硫醚化合物等。作为酚化合物，能够使用作为酚系抗氧化剂而已知的任意的酚化合物。作为优选的酚化合物，可以举出受阻酚化合物。优选为在与酚性羟基邻接的部位(邻位)具有取代基的化合物。作为前述取代基，优选为碳原子数1～22的经取代或未经取代的烷基。并且，抗氧化剂也优选为在同一分子内具有酚基和亚磷酸酯基的化合物。并且，抗氧化剂也可以优选地使用磷系抗氧化剂。作为磷系抗氧化剂，可以举出三[2-[[2,4,8,10-四(1,1-二甲基乙基)二苯并[d,f][1,3,2]二噁磷杂庚英(dioxaphosphepin)-6-基]氧基]乙基]胺、三[2-[(4,6,9,11-四-叔丁基二苯并[d,f][1,3,2]二噁磷杂庚英-2-基)氧基]乙基]胺、双(2,4-二-叔丁基-6-甲基苯酚)亚磷酸乙酯等。作为抗氧化剂的市售品，例如可以举出adkstab ao-20、adkstab ao-30、adkstab ao-40、adkstab ao-50、adkstab ao-50f、adkstab ao-60、adkstab ao-60g、adkstab ao-80、adkstab ao-330(以上为adeka corporation制造)等。并且，抗氧化剂也能够使用日本专利第6268967号公报的段落号0023～0048中所记载的化合物。并且，本发明的组合物根据需要可以含有潜在抗氧化剂。作为潜在抗氧化剂，可以举出作为抗氧化剂而发挥作用的部位被保护基保护的化合物，且通过在100～250℃下加热或者在酸/碱催化剂存在下在80～200℃下加热而保护基脱离从而作为抗氧化剂而发挥作用的化合物。作为潜在抗氧化剂，可以举出国际公开第2014/021023号、国际公开第2017/030005号、日本特开2017-008219号公报中所记载的化合物。作为潜在抗氧化剂的市售品，可以举出adeka arkls gpa-5001(adeka corporation制造)等。作为优选的抗氧化剂的例子，可以举出2,2-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二叔丁基苯酚及通式(3)所表示的化合物。[0703][化学式53][0704][0705]通式(3)中，r5表示氢原子或碳原子数2以上的烷基，r6表示碳原子数2以上的亚烷基。r7表示碳原子数2以上的亚烷基、包含o原子及n原子中的至少任一种的1～4价的有机基团。k表示1～4的整数。[0706]通式(3)所表示的化合物抑制树脂的脂肪族基或酚性羟基的氧化劣化。并且，通过对金属材料的防锈作用，能够抑制金属氧化。[0707]由于能够同时作用于树脂和金属材料，因此k更优选为2～4的整数。作为r7，可以举出烷基、环烷基、烷氧基、烷基醚基、烷基甲硅烷基、烷氧基甲硅烷基、芳基、芳基醚基、羧基、羰基、烯丙基、乙烯基、杂环基、-o-、-nh-、-nhnh-、将这些组合而成的基团等，并且还可以具有取代基。其中，从在显影液中的溶解性或金属密合性的观点而言，优选具有烷基醚、-nh-，从与树脂的相互作用和基于金属络合形成的金属密合性的观点而言，更优选为-nh-。[0708]作为下述通式(3)所表示的化合物的例子，可以举出以下的化合物，但是并不限于下述结构。[0709][化学式54][0710][0711][化学式55][0712][0713][化学式56][0714][0715][化学式57][0716][0717]抗氧化剂的添加量相对于树脂优选为0.1～10质量份，更优选为0.5～5质量份。在添加量少于0.1质量份的情况下，难以获得提高可靠性后的伸长率特性或对金属材料的密合性的效果，并且在多于10质量份的情况下，有可能通过与感光剂的相互作用而导致树脂组合物的灵敏度下降。抗氧化剂可以仅使用一种，也可以使用两种以上。在使用两种以上的情况下，优选这些的合计量在上述范围内。[0718]＜关于其他含有物质的限制＞[0719]从涂布面性状的观点考虑，本发明的树脂组合物的水分含量优选小于5质量％，更优选小于1质量％，进一步优选小于0.6质量％。作为维持水分的含量的方法，可以举出在保管条件下的湿度的调整、收容容器的孔隙率降低等。[0720]从绝缘性的观点考虑，本发明的树脂组合物的金属含量优选小于5质量ppm(parts per million：百万分率)，更优选小于1质量ppm，进一步优选小于0.5质量ppm。作为金属，可以举出钠、钾、镁、钙、铁、铬、镍等。在包含多种金属的情况下，优选这些金属的合计在上述范围内。[0721]并且，作为减少无意包含于本发明的树脂组合物中的金属杂质的方法，可以举出如下等方法：选择金属含量少的原料作为构成本发明的树脂组合物的原料；对构成本发明的树脂组合物的原料进行过滤器过滤；在装置内用聚四氟乙烯等进行加衬(lining)而在尽可能抑制污染的条件下进行蒸馏。[0722]在本发明的树脂组合物中，若考虑作为半导体材料的用途，则从配线腐蚀性的观点考虑，卤素原子的含量优选小于500质量ppm，更优选小于300质量ppm，进一步优选小于200质量ppm。其中，以卤素离子的状态存在的卤素原子优选小于5质量ppm，更优选小于1质量ppm，进一步优选小于0.5质量ppm。作为卤素原子，可以举出氯原子及溴原子。优选氯原子及溴原子或氯离子及溴离子的合计分别在上述范围内。[0723]作为调节卤素原子的含量的方法，可以优选地举出离子交换处理等。[0724]作为本发明的树脂组合物的收容容器，能够使用以往公知的收容容器。并且，作为收容容器，也优选以抑制杂质混入原材料或树脂组合物中为目的，使用将容器内壁由6种6层的树脂构成的多层瓶或用6种树脂形成7层结构的瓶。作为这样的容器，例如可以举出日本特开2015-123351号公报中所记载的容器。[0725]＜树脂组合物的用途＞[0726]本发明的树脂组合物优选用于再配线层用层间绝缘膜的形成。[0727]并且，除此以外，也能够用于半导体器件的绝缘膜的形成或应力缓冲膜的形成等。[0728]＜树脂组合物的制备＞[0729]本发明的树脂组合物能够通过混合上述各成分来制备。混合方法并无特别限定，能够利用以往公知的方法来进行。[0730]并且，以去除树脂组合物中的灰尘或微粒等异物为目的，优选进行使用过滤器的过滤。过滤器孔径优选为1μm以下，更优选为0.5μm以下，进一步优选为0.1μm以下。另一方面，在生产性的观点上，优选为5μm以下，更优选为3μm以下，进一步优选为1μm以下。过滤器的材质优选为聚四氟乙烯、聚乙烯或尼龙。过滤器可以使用利用有机溶剂预先进行了清洗的过滤器。在过滤器过滤工序中，可以将多种过滤器串联或并联连接使用。在使用多种过滤器的情况下，可以将孔径或材质不同的过滤器组合使用。并且，可以将各种材料过滤多次。在过滤多次的情况下，可以为循环过滤。并且，可以通过加压而进行过滤。在通过加压而进行过滤的情况下，加压压力优选为0.05mpa以上且0.3mpa以下。另一方面，在生产性的观点上，优选为0.01mpa以上且1.0mpa以下，更优选为0.03mpa以上且0.9mpa以下，进一步优选为0.05mpa以上且0.7mpa以下。[0731]除了使用过滤器的过滤以外，也可以进行使用吸附材料的杂质的去除处理。也可以将过滤器过滤和使用吸附材料的杂质去除处理进行组合。作为吸附材料，能够使用公知的吸附材料。例如，可以举出硅胶、沸石等无机系吸附材料、活性碳等有机系吸附材料。[0732](固化膜、层叠体、半导体器件及这些的制造方法)[0733]接着，对固化膜、层叠体、半导体器件及这些的制造方法进行说明。[0734]本发明的固化膜为将本发明的树脂组合物固化而成的固化膜。本发明的固化膜的膜厚例如能够设为0.5μm以上，也能够设为1μm以上。并且，作为上限值，能够设为100μm以下，也能够设为30μm以下。[0735]可以将本发明的固化膜层叠2层以上、进而层叠3～7层而形成层叠体。本发明的层叠体优选为包括2层以上的固化膜且在任意的上述固化膜彼此之间包括金属层的方式。例如，作为优选的层叠体可以举出至少包括依次层叠有第一固化膜、金属层、第二固化膜这3个层的层结构的层叠体。上述第一固化膜及上述第二固化膜均为本发明的固化膜，作为优选的固化膜，例如可以举出上述第一固化膜及上述第二固化膜中的任一者为将本发明的树脂组合物固化而成的膜的方式。用于上述第一固化膜的形成的本发明的树脂组合物和用于上述第二固化膜的形成的本发明的树脂组合物可以为组成相同的组合物，也可以为组成不同的组合物。本发明的层叠体中的金属层可以优选地用作再配线层等的金属配线。[0736]作为能够适用本发明的固化膜的领域，可以举出半导体器件的绝缘膜、再配线层用层间绝缘膜、应力缓冲膜等。除此以外，可以举出通过蚀刻而对密封膜、基板材料(可挠性印刷板的基底膜或覆盖膜、层间绝缘膜)或如上所述的实际安装用途的绝缘膜形成图案等。关于这些的用途，例如能够参考science and technology co.,ltd.“聚酰亚胺的高功能化与应用技术”2008年4月、柿本雅明/监修、cmc technical library“聚酰亚胺材料的基础与开发”2011年11月发行、日本聚酰亚胺/芳香族系高分子研究会编“最新聚酰亚胺基础与应用”nts inc.，2010年8月等。[0737]并且，本发明中的固化膜也能够用于胶板印刷版或网版印刷版等印刷版的制造、在成形组件的蚀刻中的使用、电子学、尤其是微电子学中的保护漆及介电层的制造等。[0738]本发明的固化膜的制造方法(以下，也简称为“本发明的制造方法”。)优选包括将本发明的树脂组合物适用于基材而形成膜的膜形成工序。[0739]本发明的固化膜的制造方法优选包括上述膜形成工序以及对上述膜进行曝光的曝光工序及对上述膜进行显影的显影工序。[0740]并且，本发明的固化膜的制造方法更优选包括上述膜形成工序及根据需要包括上述显影工序且包括在50～450℃下对上述膜进行加热的加热工序。[0741]具体而言，也优选包括以下的(a)～(d)的工序。[0742](a)将树脂组合物适用于基材而形成膜(树脂组合物层)的膜形成工序[0743](b)在膜形成工序之后，对膜进行曝光的曝光工序[0744](c)对经曝光的上述膜进行显影的显影工序[0745](d)在50～450℃下对经显影的上述膜进行加热的加热工序[0746]通过在上述加热工序中进行加热，能够使通过曝光而固化的树脂层进一步固化。在该加热工序中，例如上述热产碱剂分解而可以获得足够的固化性。[0747]本发明的优选实施方式的层叠体的制造方法包括本发明的固化膜的制造方法。本实施方式的层叠体的制造方法按照上述固化膜的制造方法形成固化膜之后，进而再次进行(a)的工序或(a)～(c)的工序或(a)～(d)的工序。尤其，优选将上述各工序依次进行多次，例如2～5次(即，合计为3～6次)。通过如此层叠固化膜，能够形成层叠体。在本发明中，尤其优选在设置有固化膜的部分上或固化膜之间或设置有固化膜的部分上和固化膜之间设置金属层。另外，在制造层叠体时，无需反复进行(a)～(d)的所有工序，如上所述，通过至少进行多次(a)、优选为(a)～(c)或(a)～(d)的工序，能够获得固化膜的层叠体。[0748]＜膜形成工序(层形成工序)＞[0749]本发明的优选实施方式的制造方法包括将树脂组合物适用于基材而形成膜(层状)的膜形成工序(层形成工序)。[0750]基材的种类能够根据用途适当地规定，可以为硅、氮化硅、多晶硅、氧化硅、非晶硅等半导体制作基材、石英、玻璃、光学膜、陶瓷材料、蒸镀膜、磁性膜、反射膜、ni、cu、cr、fe等金属基材、纸、sog(spin on glass：旋涂式玻璃)、tft(薄膜晶体管)阵列基材、等离子显示面板(pdp)的电极板等，并不受特别制约。并且，可以在这些基材的表面上设置有密合层或氧化层等层。在本发明中，尤其优选为半导体制作基材，更优选为硅基材、cu基材及模制(mold)基材。[0751]并且，可以在这些基材的表面上设置有由六甲基二硅氮烷(hmds)等形成的密合层或氧化层等层。[0752]并且，作为基材，例如可以使用板状的基材(基板)。[0753]基材的形状并无特别限定，可以为圆形，也可以为矩形，但是优选为矩形。[0754]作为基材的尺寸，只要为圆形，则例如直径为100～450mm，优选为200～450mm。只要为矩形，则例如短边的长度为100～1000mm，优选为200～700mm。[0755]并且，在树脂层的表面上或金属层的表面上形成树脂组合物层的情况下，树脂层或金属层成为基材。[0756]作为将树脂组合物适用于基材的方法，优选为涂布。[0757]具体而言，作为所适用的方法，可以例示出浸涂法、气刀涂布法、帘式涂布法、线棒涂布法、凹版涂布法、挤出涂布法、喷涂法、旋涂法、狭缝涂布法及喷墨法等。从树脂组合物层的厚度的均匀性的观点考虑，更优选为旋涂法、狭缝涂布法、喷涂法、喷墨法。通过根据方法调整适当的固体成分浓度或涂布条件，能够获得所期望的厚度的树脂层。并且，也能够根据基材的形状适当地选择涂布方法，若为晶片等圆形基材，则优选为旋涂法或喷涂法、喷墨法等，若为矩形基材，则优选为狭缝涂布法或喷涂法、喷墨法等。在为旋涂法的情况下，例如能够以500～2,000rpm的转速适用10秒钟～1分钟左右。并且，根据感光性树脂组合物的粘度或要设定的膜厚，也优选以300～3,500rpm的转速适用10～180秒钟。并且，为了获得膜厚的均匀性，也能够将多种转速进行组合而涂布。[0758]并且，也能够适用将预先通过上述赋予方法赋予并形成于临时支承体上的涂膜转印到基材上的方法。[0759]关于转印方法，在本发明中也可以优选地使用日本特开2006-023696号公报的0023段、0036～0051段或日本特开2006-047592号公报的0096～0108段中所记载的制作方法。[0760]并且，在基材的端部可以进行去除多余的膜的工序。作为这样的工序的例子，可以举出边缘珠状残余物冲洗(ebr)、气刀(air knife)、背面冲洗(back rinse)等。[0761]并且，也可以采用如下预湿工序：将树脂组合物涂布于基材之前，对基材涂布各种溶剂，提高基材的润湿性之后，涂布树脂组合物。[0762]＜干燥工序＞[0763]本发明的制造方法可以在形成上述膜(树脂组合物层)之后包括为了在膜形成工序(层形成工序)之后去除溶剂而进行干燥的工序。优选的干燥温度为50～150℃，更优选为70℃～130℃，进一步优选为90℃～110℃。作为干燥时间，可以例示出30秒钟～20分钟，优选为1分钟～10分钟，更优选为3分钟～7分钟。[0764]＜曝光工序＞[0765]本发明的制造方法可以包括对上述膜(树脂组合物层)进行曝光的曝光工序。关于曝光量，只要能够将树脂组合物固化，则并无特别规定，例如优选以在波长365nm下的曝光能量换算照射100～10,000mj/cm2，更优选照射200～8,000mj/cm2。[0766]曝光波长能够适当地规定在190～1,000nm的范围内，优选为240～550nm。[0767]若以与光源的关系来说明曝光波长，则可以举出(1)半导体激光(波长830nm、532nm、488nm、405nm等)、(2)金属卤化物灯、(3)高压汞灯、g射线(波长436nm)、h射线(波长405nm)、i射线(波长365nm)、宽(g、h、i射线的3种波长)、(4)准分子激光、krf准分子激光(波长248nm)、arf准分子激光(波长193nm)、f2准分子激光(波长157nm)、(5)极紫外线；euv(波长13.6nm)、(6)电子束、(7)yag激光的第二谐波532nm且第三谐波355nm等。对于本发明的树脂组合物，尤其优选为基于高压汞灯的曝光，其中，优选为基于i射线的曝光。由此，尤其可以获得高曝光灵敏度。[0768]并且，在操作和生产性的观点上，也优选为高压汞灯的宽(g、h、i射线的3种波长)光源或半导体激光405nm。[0769]＜显影工序＞[0770]本发明的制造方法可以包括对经曝光的膜(树脂组合物层)进行显影(对上述膜进行显影)的显影工序。通过进行显影来去除未被曝光的部分(非曝光部)。关于显影方法，只要能够形成所期望的图案，则并无特别限制，例如可以举出从喷嘴喷出显影液、喷射喷雾、基材的显影液浸渍等，可以优选地利用从喷嘴喷出。在显影工序中能够采用将显影液连续地持续供给到基材的工序、在基材上以大致静止的状态保持显影液的工序、用超声波等使显影液振动的工序及将这些组合的工序等。[0771]关于显影，使用显影液来进行。显影液只要能够去除未被曝光的部分(非曝光部)，则能够无特别限制地使用。[0772]作为显影液，能够使用包含有机溶剂的显影液或碱水溶液。[0773]在本发明中，显影液优选包含clogp值为-1～5的有机溶剂，更优选包含clogp值为0～3的有机溶剂。关于clogp值，能够通过在chembiodraw中输入结构式来作为计算值而求出。[0774]在显影液为包含有机溶剂的显影液的情况下，关于有机溶剂，作为酯类，例如可以优选地举出乙酸乙酯、乙酸正丁酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、乙酸异丁酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、γ-丁内酯、ε-己内酯、δ-戊内酯、烷氧基乙酸烷基酯(例如：烷氧基乙酸甲酯、烷氧基乙酸乙酯、烷氧基乙酸丁酯(例如，甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等))、3-烷氧基丙酸烷基酯类(例如：3-烷氧基丙酸甲酯、3-烷氧基丙酸乙酯等(例如，3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等))、2-烷氧基丙酸烷基酯类(例如：2-烷氧基丙酸甲酯、2-烷氧基丙酸乙酯、2-烷氧基丙酸丙酯等(例如，2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯))、2-烷氧基-2-甲基丙酸甲酯及2-烷氧基-2-甲基丙酸乙酯(例如，2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等)、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯等，以及，作为醚类，例如可以优选地举出二乙二醇二甲醚、四氢呋喃、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯等，以及，作为酮类，例如可以优选地举出甲基乙基酮、环己酮、环戊酮、2-庚酮、3-庚酮、n-甲基-2-吡咯烷酮等，以及，作为芳香族烃类，例如可以优选地举出甲苯、二甲苯、苯甲醚、柠檬烯等，作为亚砜类，例如可以优选地举出二甲基亚砜，并且也可以优选地举出这些有机溶剂的混合物。[0775]在显影液为包含有机溶剂的显影液的情况下，在本发明中，尤其优选为环戊酮、γ-丁内酯，更优选为环戊酮。并且，在显影液包含有机溶剂的情况下，有机溶剂能够使用一种或者也能够混合使用两种以上。[0776]在显影液为包含有机溶剂的显影液的情况下，在显影液中优选50质量％以上为有机溶剂，更优选70质量％以上为有机溶剂，进一步优选90质量％以上为有机溶剂。并且，在显影液中，也可以100质量％为有机溶剂。[0777]〔显影液的供给方法〕[0778]关于显影液的供给方法，只要能够形成所期望的图案，则并无特别限制，有将基材浸渍于显影液中的方法、使用喷嘴向基材上供给显影液的旋覆浸没显影或连续供给显影液的方法。喷嘴的种类并无特别限制，可以举出直式喷嘴、喷淋喷嘴、喷雾喷嘴等。[0779]从显影液的渗透性、非图像部的去除性、制造上的效率的观点考虑，优选为用直式喷嘴供给显影液的方法或用喷雾喷嘴连续供给的方法，显影液对图像部的渗透性的观点考虑，更优选为用喷雾喷嘴供给的方法。[0780]并且，可以采用用直式喷嘴连续供给显影液之后，旋转基材而从基材上去除显影液，并进行旋转干燥之后，再次用直式喷嘴连续供给之后，旋转基材而从基材上去除显影液的工序，并且可以反复进行多次该工序。[0781]并且，作为显影工序中的显影液的供给方法，能够采用将显影液连续地持续供给到基材的工序、在基材上以大致静止的状态保持显影液的工序、用超声波等使显影液在基材上振动的工序及将这些组合的工序等。[0782]在显影液为碱水溶液的情况下，作为碱水溶液能够包含的碱性化合物，可以举出tmah(氢氧化四甲基氢氧化铵)、koh(氢氧化钾)、碳酸钠等，优选为tmah。例如，在使用tmah的情况下，显影液中的碱性化合物的含量在显影液总质量中优选为0.01～10质量％，更优选为0.1～5质量％，进一步优选为0.3～3质量％。[0783]〔显影液的供给方法〕[0784]关于显影液的供给方法，只要能够形成所期望的图案，则并无特别限制，有将基材浸渍于显影液中的方法、使用喷嘴向基材上供给显影液的旋覆浸没显影或连续供给显影液的方法。喷嘴的种类并无特别限制，可以举出直式喷嘴、喷淋喷嘴、喷雾喷嘴等。[0785]从显影液的渗透性、非图像部的去除性、制造上的效率的观点考虑，优选为用直式喷嘴供给显影液的方法或用喷雾喷嘴连续供给的方法，显影液对图像部的渗透性的观点考虑，更优选为用喷雾喷嘴供给的方法。[0786]并且，可以采用用直式喷嘴连续供给显影液之后，旋转基材而从基材上去除显影液，并进行旋转干燥之后，再次用直式喷嘴连续供给之后，旋转基材而从基材上去除显影液的工序，并且可以反复进行多次该工序。[0787]并且，作为显影工序中的显影液的供给方法，能够采用将显影液连续地持续供给到基材的工序、在基材上以大致静止的状态保持显影液的工序、用超声波等使显影液在基材上振动的工序及将这些组合的工序等。[0788]作为显影时间，优选为5秒钟～10分钟，更优选为10秒钟～5分钟。显影时的显影液的温度并无特别规定，通常能够在10～45℃、优选为在20～40℃下进行。[0789]在进行使用显影液的处理之后，可以进一步进行冲洗。并且，可以采用在与图案上接触的显影液未完全干燥之前供给冲洗液等方法。[0790]冲洗优选在与显影液不同的溶剂中进行。例如，能够使用树脂组合物中所包含的溶剂进行冲洗。[0791]在显影液为包含有机溶剂的显影液的情况下，作为冲洗液，可以举出pgmea(丙二醇单乙醚乙酸酯)、ipa(异丙醇)等，优选为pgmea。并且，作为对于基于包含碱水溶液的显影液的显影的冲洗液，优选为水。[0792]冲洗时间优选为10秒钟～10分钟，更优选为20秒钟～5分钟，优选为5秒钟～1分钟。冲洗时的冲洗液的温度并无特别规定，但是可以优选在10～45℃、更优选在18℃～30℃下进行。[0793]关于冲洗液包含有机溶剂时的有机溶剂，作为酯类，例如可以优选地举出乙酸乙酯、乙酸正丁酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、乙酸异丁酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、γ-丁内酯、ε-己内酯、δ-戊内酯、烷氧基乙酸烷基酯(例如：烷氧基乙酸甲酯、烷氧基乙酸乙酯、烷氧基乙酸丁酯(例如，甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等))、3-烷氧基丙酸烷基酯类(例如：3-烷氧基丙酸甲酯、3-烷氧基丙酸乙酯等(例如，3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等))、2-烷氧基丙酸烷基酯类(例如：2-烷氧基丙酸甲酯、2-烷氧基丙酸乙酯、2-烷氧基丙酸丙酯等(例如，2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯))、2-烷氧基-2-甲基丙酸甲酯及2-烷氧基-2-甲基丙酸乙酯(例如，2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等)、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯等，以及，作为醚类，例如可以优选地举出二乙二醇二甲醚、四氢呋喃、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚(pgme)、丙二醇单甲醚乙酸酯(pgmea)、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯等，以及，作为酮类，例如可以优选地举出甲基乙基酮、环己酮、环戊酮、2-庚酮、3-庚酮、n-甲基-2-吡咯烷酮等，以及，作为芳香族烃类，例如可以优选地举出甲苯、二甲苯、苯甲醚、柠檬烯等，作为亚砜类，例如可以优选地举出二甲基亚砜，以及，作为醇类，可以优选地举出甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇、戊醇、辛醇、二乙二醇、丙二醇、甲基异丁基卡必醇、三乙二醇等，以及作为酰胺类，可以优选地举出n-甲基吡咯烷酮、n-乙基吡咯烷酮、二甲基甲酰胺等。[0794]在冲洗液包含有机溶剂的情况下，有机溶剂能够使用一种或者混合使用两种以上。在本发明中，尤其优选为环戊酮、γ-丁内酯、二甲基亚砜、n-甲基吡咯烷酮、环己酮、pgmea、pgme，更优选为环戊酮、γ-丁内酯、二甲基亚砜、pgmea、pgme，进一步优选为环己酮、pgmea。[0795]在冲洗液包含有机溶剂的情况下，在冲洗液中优选50质量％以上为有机溶剂，更优选70质量％以上为有机溶剂，进一步优选90质量％以上为有机溶剂。并且，在冲洗液中，也可以100质量％为有机溶剂。[0796]冲洗液还可以包含其他成分。[0797]作为其他成分，例如可以举出公知的表面活性剂或公知的消泡剂等。[0798]〔冲洗液的供给方法〕[0799]关于冲洗液的供给方法，只要能够形成所期望的图案，则并无特别限制，有将基材浸渍于冲洗液中的方法、在基材上的旋覆浸没显影、用喷淋器向基材供给冲洗液的方法、利用直式喷嘴等机构向基材上连续供给显影液的方法。[0800]从冲洗液的渗透性、非图像部的去除性、制造上的效率的观点考虑，有用喷淋喷嘴、直式喷嘴、喷雾喷嘴等供给冲洗液的方法，优选为用喷雾喷嘴连续供给的方法，从冲洗液对图像部的渗透性的观点考虑，更优选为用喷雾喷嘴供给的方法。喷嘴的种类并无特别限制，可以举出直式喷嘴、喷淋喷嘴、喷雾喷嘴等。[0801]即，冲洗工序优选为利用直式喷嘴对上述曝光后的膜供给或连续供给冲洗液的工序，更优选为利用喷雾喷嘴供给冲洗液的工序。[0802]并且，作为冲洗工序中的显影液的供给方法，能够采用将冲洗液连续地持续供给到基材的工序、在基材上以大致静止的状态保持冲洗液的工序、用超声波等使冲洗液在基材上振动的工序及将这些组合的工序等。[0803]＜加热工序＞[0804]本发明的制造方法优选包括将经显影的上述膜在50～450℃下进行加热的工序(加热工序)。[0805]优选在膜形成工序(层形成工序)、干燥工序及显影工序之后包括加热工序。在加热工序中，例如通过上述热产碱剂分解而产生碱来进行作为特定树脂的前体的环化反应。并且，本发明的树脂组合物可以包含除了作为特定树脂的前体以外的自由基聚合性化合物，但是也能够在该工序中进行除了作为未反应的特定树脂的前体以外的自由基聚合性化合物的固化等。作为加热工序中的层的加热温度(最高加热温度)，优选为50℃以上，更优选为80℃以上，进一步优选为140℃以上，进一步优选为150℃以上，更进一步优选为160℃以上，再进一步优选为170℃以上。作为上限，优选为500℃以下，更优选为450℃以下，进一步优选为350℃以下，进一步优选为250℃以下，更进一步优选为220℃以下。[0806]关于加热，优选从加热开始时的温度至最高加热温度为止以1～12℃/分钟的升温速度进行，更优选为2～10℃/分钟，进一步优选为3～10℃/分钟。通过将升温速度设为1℃/分钟以上，能够确保生产性，同时防止胺的过度挥发，通过将升温速度设为12℃/分钟以下，能够减轻固化膜的残余应力。而且，在能够快速加热的烘箱的情况下，优选从加热开始时的温度至最高加热温度为止以1～8℃/秒钟的升温速度进行，更优选为2～7℃/秒钟，进一步优选为3～6℃/秒钟。[0807]加热开始时的温度优选为20℃～150℃，更优选为20℃～130℃，进一步优选为25℃～120℃。加热开始时的温度是指开始进行加热至最高加热温度的工序时的温度。例如，在将树脂组合物适用于基材上之后使其干燥的情况下，为该干燥后的膜(层)的温度，例如优选从比树脂组合物中所包含的溶剂的沸点低30～200℃的温度开始逐渐升温。[0808]加热时间(在最高加热温度下的加热时间)优选为10～360分钟，更优选为20～300分钟，进一步优选为30～240分钟。[0809]尤其，在形成多层的层叠体的情况下，从固化膜的层间的密合性的观点考虑，加热温度优选为180℃～320℃，更优选为180℃～260℃。其原因虽尚不明确，但是认为其原因在于通过设为该温度而层间的特定树脂的乙炔基彼此进行交联反应。[0810]加热可以阶段性地进行。作为例子，可以进行如下预处理工序：从25℃至180℃为止以3℃/分钟升温，在180℃下保持60分钟，从180℃至200℃为止以2℃/分钟升温，在200℃下保持120分钟。作为预处理工序的加热温度优选为100～200℃，更优选为110～190℃，进一步优选为120～185℃。在该预处理工序中，也优选如美国专利第9159547号说明书中所记载，一边照射紫外线一边进行处理。通过这样的预处理工序，能够进一步提高膜的特性。以10秒钟～2小时左右的短时间进行预处理工序即可，更优选为15秒钟～30分钟。预处理也可以设为2个阶段以上的步骤，例如可以在100～150℃的范围内进行预处理工序1，然后，在150～200℃的范围内进行预处理工序2。[0811]进而，可以在加热后进行冷却，作为此时的冷却速度，优选为1～5℃/分钟。[0812]在防止特定树脂的分解的观点上，优选通过流放氮、氦、氩等非活性气体等而在低氧浓度的气氛下进行加热工序。氧浓度优选为50ppm(体积比)以下，更优选为20ppm(体积比)以下。[0813]作为加热机构，并无特别限定，例如可以举出加热板、红外炉、电热式烘箱、热风式烘箱等。[0814]＜金属层形成工序＞[0815]本发明的制造方法优选包括在显影后的膜(树脂组合物层)的表面上形成金属层的金属层形成工序。[0816]作为金属层，并无特别限定，能够使用现有的金属种类，可以例示出铜、铝、镍、钒、钛、铬、钴、金及钨，更优选为铜、铝及包含这些金属的合金，进一步优选为铜。[0817]金属层的形成方法并无特别限定，能够适用现有的方法。例如，能够适用日本特开2007-157879号公报、日本特表2001-521288号公报、日本特开2004-214501号公报、日本特开2004-101850号公报中所记载的方法。例如，可以考虑光刻、剥离(lift off)、电解电镀、无电解电镀、蚀刻、印刷及将这些组合的方法等。更具体而言，可以举出将溅射、光刻及蚀刻组合的图案化方法、将光刻和电解电镀组合的图案化方法。[0818]作为金属层的厚度，在最厚壁部，优选为0.01～100μm，优选为0.1～50μm，更优选为1～10μm。[0819]＜层叠工序＞[0820]本发明的制造方法优选还包括层叠工序。[0821]层叠工序为包括在固化膜(树脂层)或金属层的表面再次依次进行(a)膜形成工序(层形成工序)、(b)曝光工序、(c)显影工序、(d)加热工序的一系列工序。但是，也可以为仅反复进行(a)膜形成工序的方式。并且，可以设为如下方式：在层叠的最后或中间总括进行(d)加热工序。即，可以设为如下方式：将(a)～(c)的工序反复进行规定的次数，然后进行(d)加热，从而将所层叠的树脂组合物层总括固化。并且，在(c)显影工序之后可以包括(e)金属层形成工序，此时，也可以每次进行(d)的加热，也可以在层叠规定次数之后总括进行(d)加热。在层叠工序中，还可以适当地包括上述干燥工序或加热工序等，这是不言而喻的。[0822]在层叠工序之后进一步进行层叠工序的情况下，可以在上述加热工序之后，上述曝光工序之后或上述金属层形成工序之后进一步进行表面活性化处理工序。作为表面活性化处理，可以例示出等离子体处理。[0823]上述层叠工序优选进行2～20次，更优选进行2～5次，进一步优选进行3～5次。[0824]并且，层叠工序中的各层可以为组成、形状、膜厚等相同的层，也可以为不同的层。[0825]例如，优选为如树脂层/金属层/树脂层/金属层/树脂层/金属层那样的、树脂层为2层以上且20层以下的结构，更优选为树脂层为3层以上且7层以下的结构，进一步优选为3层以上且5层以下。[0826]在本发明中，尤其优选为在设置金属层之后，进一步以覆盖上述金属层的方式形成上述树脂组合物的固化膜(树脂层)的方式。具体而言，可以举出以(a)膜形成工序、(b)曝光工序、(c)显影工序、(e)金属层形成工序、(d)加热工序的顺序反复进行的方式或以(a)膜形成工序、(b)曝光工序、(c)显影工序、(e)金属层形成工序的顺序反复进行并在最后或中间总括设置(d)加热工序的方式。通过交替进行层叠树脂组合物层(树脂层)的层叠工序和金属层形成工序，能够交替层叠树脂组合物层(树脂层)和金属层。[0827]本发明还掲示包括本发明的固化膜或层叠体的半导体器件。作为将本发明的树脂组合物用于再配线层用层间绝缘膜的形成的半导体器件的具体例，能够参考日本特开2016-027357号公报的0213～0218段的记载及图1的记载，这些内容被编入本说明书中。[0828](表面活性化处理工序)[0829]本发明的层叠体的制造方法可以包括对上述金属层及感光性树脂组合物层的至少一部分进行表面活性化处理的表面活性化处理工序。[0830]表面活性化处理工序通常在金属层形成工序之后进行，但是也可以在上述曝光显影工序之后，对感光性树脂组合物层进行表面活性化处理工序之后进行金属层形成工序。[0831]表面活性化处理可以仅对金属层的至少一部分进行，也可以仅对曝光后的感光性树脂组合物层的至少一部分进行，也可以对金属层及曝光后的感光性树脂组合物层这两者的至少一部分分别进行。优选对金属层的至少一部分进行表面活性化处理，优选对金属层中的在表面上形成有感光性树脂组合物层的区域的一部分或全部进行表面活性化处理。如此，通过对金属层的表面进行表面活性化处理，能够提高与设置于该表面上的树脂层的密合性。[0832]并且，优选对曝光后的感光性树脂组合物层(树脂层)的一部分或全部也进行表面活性化处理。如此，通过对感光性树脂组合物层的表面进行表面活性化处理，能够提高与设置于经表面活性化处理的表面上的金属层或树脂层的密合性。[0833]作为表面活性化处理，具体而言，选自各种原料气体(氧、氢、氩、氮、氮/氢混合气体、氩/氧混合气体等)的等离子体处理、电晕放电处理、基于cf4/o2、nf3/o2、sf6、nf3、nf3/o2的蚀刻处理、基于紫外线(uv)臭氧法的表面处理、浸渍于盐酸水溶液中去除氧化皮膜之后浸渍于包含有氨基和硫醇基中的至少一种的化合物的有机表面处理剂中的处理、使用刷子的机械粗糙化处理，优选为等离子体处理，尤其优选为在原料气体中使用了氧的氧等离子体处理。在电晕放电处理的情况下，能量优选为500～200,000j/m2，更优选为1000～100,000j/m2，最优选为10,000～50,000j/m2。[0834]实施例[0835]以下举出实施例对本发明进行进一步具体的说明。以下实施例所示的材料、使用量、比例、处理内容、处理步骤等，只要不脱离本发明的宗旨，则能够适当地进行变更。因此，本发明的范围并不限定于以下所示的具体例。除非另有说明，则“份”、“％”为质量基准。[0836]＜合成例1＞[0837]〔由均苯四甲酸二酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯合成聚酰亚胺前体(a-1)〕[0838]混合14.06g(64.5毫摩尔)的均苯四甲酸二酐(在140℃下干燥12小时而获得的物质)、16.8g(129毫摩尔)的甲基丙烯酸2-羟乙酯、0.05g的氢醌、20.4g的吡啶(258毫摩尔)及100g的二甘醇二甲醚(二乙二醇二甲醚)，并在60℃的温度下搅拌18小时，从而制造了均苯四甲酸和甲基丙烯酸2-羟乙酯的二酯。接着，将反应混合物冷却至-10℃，一边将温度保持在-10±4℃一边经10分钟加入了16.12g(135.5毫摩尔)的socl2。在加入socl2的期间，粘度增加。用50ml的n-甲基吡咯烷酮进行稀释之后，将反应混合物在室温下搅拌了2小时。接着，将使11.08g(58.7毫摩尔)的4,4’‑二氨基二苯醚溶解于100ml的n-甲基吡咯烷酮而成的溶液在-5～0℃下经20分钟滴加到反应混合物中。接着，使反应混合物在0℃下反应1小时之后，加入70g的乙醇，并在室温下搅拌过夜。接着，使聚酰亚胺前体在5升的水中沉淀，并将水-聚酰亚胺前体混合物以5,000rpm(revolutions per minute：每分钟转数)的速度搅拌了15分钟。通过过滤而获取聚酰亚胺前体，并在4升的水中再次搅拌30分钟并再次进行了过滤。接着，在减压状态下，将所获得的聚酰亚胺前体在45℃下干燥3天，从而获得了聚酰亚胺前体a-1。该聚酰亚胺前体a-1的重均分子量为19,000。推测所获得的聚酰亚胺前体a-1包含下述式(a-1)所表示的重复单元。[0839][化学式58][0840][0841]＜合成例2＞[0842]〔由3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯合成聚酰亚胺前体(a-2)〕[0843]混合20.0g(64.5毫摩尔)的3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐(在140℃下干燥12小时而获得的物质)、16.8g(129毫摩尔)的甲基丙烯酸2-羟乙酯、0.05g的氢醌、20.4g(258毫摩尔)的吡啶及100g的二甘醇二甲醚(含水率88ppm)，并在60℃的温度下搅拌18小时，从而制造了3,3’,4,4’‑联苯四羧酸和甲基丙烯酸2-羟乙酯的二酯。接着，将所获得的二酯用socl2氯化之后，以与合成例1相同的方法用4,4’‑二氨基二苯醚转换成聚酰亚胺前体，并以与合成例1相同的方法获得了聚酰亚胺前体a-2。该聚酰亚胺前体a-2的重均分子量为20,000。推测所获得的聚酰亚胺前体a-2包含下述式(a-2)所表示的重复单元。[0844]在式(a-2)所表示的重复单元中，有来自于3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐的联苯结构中所包含的单键与由3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐及甲基丙烯酸2-羟乙酯形成的酯结构存在于苯环上的间位的情况和存在于对位的情况(例如，下述式(a-2-2)所表示的重复单元等)，认为在聚酰亚胺前体a-2中混合存在这些结构。[0845]相同地，在以下合成例中的表示在使用3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐或4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐作为酸二酐的情况下制造的聚酰亚胺前体中所包含的重复单元的化学式中，来自于3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐的联苯结构中所包含的单键或4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐中所包含的醚键和与各重复单元中所包含的苯环键合的酯键及酰胺键在苯环上的位置关系并不限于作为化学式所记载的结构，可以设为也混合存在有上述位置关系不同的结构。[0846][化学式59][0847][0848]＜合成例3＞[0849]〔由4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯合成聚酰亚胺前体(a-3)〕[0850]混合20.0g(64.5毫摩尔)的4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐(在140℃下干燥12小时而获得的物质)、16.8g(129毫摩尔)的甲基丙烯酸2-羟乙酯、0.05g的氢醌、20.4g的吡啶(258毫摩尔)及100g的二甘醇二甲醚，并在60℃的温度下搅拌18小时，从而制造了4,4’‑氧二邻苯二甲酸和甲基丙烯酸2-羟乙酯的二酯。接着，将所获得的二酯用socl2氯化之后，以与合成例1相同的方法用4,4’‑二氨基二苯醚转换成聚酰亚胺前体，并以与合成例1相同的方法获得了聚酰亚胺前体。该聚酰亚胺前体的重均分子量为18,000。推测所获得的聚酰亚胺前体a-3包含下述式(a-3)所表示的重复单元。[0851][化学式60][0852][0853]＜合成例4＞[0854]〔由4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐、4,4’‑二氨基-2,2’‑二甲基联苯基(联甲苯胺)及甲基丙烯酸2-羟乙酯合成聚酰亚胺前体(a-4)〕[0855]混合20.0g(64.5毫摩尔)的4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐(在140℃下干燥12小时而获得的物质)、16.8g(129毫摩尔)的甲基丙烯酸2-羟乙酯、0.05g的氢醌、20.4g的吡啶(258毫摩尔)及100g的二甘醇二甲醚(含水率67ppm)，并在60℃的温度下搅拌18小时，从而制造了4,4’‑氧二邻苯二甲酸和甲基丙烯酸2-羟乙酯的二酯。接着，将所获得的二酯用socl2氯化之后，以与合成例1相同的方法用4,4’‑二氨基-2,2’‑二甲基联苯基转换成聚酰亚胺前体，并以与合成例1相同的方法获得了聚酰亚胺前体a-4。该聚酰亚胺前体a-4的重均分子量为19,000。推测所获得的聚酰亚胺前体a-4包含下述式(a-4)所表示的重复单元。[0856][化学式61][0857][0858]＜合成例5＞[0859]〔由4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯合成聚酰亚胺前体(a”‑5)〕[0860]混合20.0g(64.5毫摩尔)的4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐(在140℃下干燥12小时而获得的物质)、16.8g(129毫摩尔)的甲基丙烯酸2-羟乙酯、0.05g的氢醌、20.4g的吡啶(258毫摩尔)及200g的γ-丁内酯，在室温下搅拌36小时，从而制造了4,4’‑氧二邻苯二甲酸和甲基丙烯酸2-羟乙酯的二酯。[0861]接着，在冰冷却下，一边搅拌一边滴加了将二环己基碳二亚胺(dcc)26.6g溶解于25g的γ-丁内酯中的溶液。接着，一边搅拌一边经60分钟同时加入了将4,4’‑二氨基二苯醚12.0g悬浮于γ-丁内酯45ml的悬浮液和使dcc 3.8g溶解于10g的γ-丁内酯中的溶液。进而，在室温下搅拌2小时之后，加入乙醇30ml，并搅拌1小时，接着，加入了γ-丁内酯100ml。通过过滤而去除在反应混合物中产生的沉淀物，从而获得了反应液。接着，使聚酰亚胺前体在3升的水中沉淀，并将水-聚酰亚胺前体混合物以5,000rpm(revolutions per minute：每分钟转数)的速度搅拌了15分钟。通过过滤而获取聚酰亚胺前体，并将其溶解于300ml的四氢呋喃中之后，在2升的水中再次作为沉淀物获得了聚酰亚胺前体。在减压状态下，将所获得的聚酰亚胺前体在45℃下干燥3天，从而获得了聚酰亚胺前体a”‑5。该聚酰亚胺前体a”‑5的重均分子量为22,000。[0862]＜合成例6＞[0863]〔由均苯四甲酸二酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯合成聚酰亚胺前体(a”‑6)〕[0864]混合14.1g(64.5毫摩尔)的均苯四甲酸二酐、16.8g(129毫摩尔)的甲基丙烯酸2-羟乙酯、0.05g的氢醌、20.4g(258毫摩尔)的吡啶及200g的γ-丁内酯，在室温下搅拌36小时，从而制造了3,3’,4,4’‑联苯四羧酸和甲基丙烯酸2-羟乙酯的二酯。接着，使用dcc，以与合成例5相同的方法用4,4’‑二氨基二苯醚将所获得的二酯转换成聚酰亚胺前体，并以与合成例5相同的方法获得了聚酰亚胺前体a”‑6。该聚酰亚胺前体a”‑6的重均分子量为20,000。[0865]＜合成例7＞[0866]〔由3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯合成聚酰亚胺前体(a”‑7)〕[0867]混合19.0g(64.5毫摩尔)的3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐、16.8g(129毫摩尔)的甲基丙烯酸2-羟乙酯、0.05g的氢醌、20.4g(258毫摩尔)的吡啶及200g的γ-丁内酯，在室温下搅拌36小时，从而制造了3,3’,4,4’‑联苯四羧酸和甲基丙烯酸2-羟乙酯的二酯。接着，使用dcc，以与合成例5相同的方法用4,4’‑二氨基二苯醚将所获得的二酯转换成聚酰亚胺前体，并以与合成例5相同的方法获得了聚酰亚胺前体a”‑7。该聚酰亚胺前体a”‑7的重均分子量为21,000。[0868]＜合成例8＞[0869]〔由4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐、4,4’‑二氨基-2,2’‑二甲基联苯基(联甲苯胺)及甲基丙烯酸2-羟乙酯合成聚酰亚胺前体(a”‑8)〕[0870]混合19.0g(64.5毫摩尔)的4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐、16.8g(129毫摩尔)的甲基丙烯酸2-羟乙酯、0.05g的氢醌、20.4g(258毫摩尔)的吡啶及200g的γ-丁内酯，在室温下搅拌36小时，从而制造了3,3’,4,4’‑联苯四羧酸和甲基丙烯酸2-羟乙酯的二酯。接着，使用dcc，以与合成例5相同的方法用4,4’‑二氨基-2,2’‑二甲基联苯基(联甲苯胺)将所获得的二酯转换成聚酰亚胺前体，并以与合成例5相同的方法获得了聚酰亚胺前体a”‑8。该聚酰亚胺前体a”‑8的重均分子量为19,000。[0871]＜合成例1-1＞[0872]〔由均苯四甲酸二酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯改性聚酰亚胺前体a-1(聚酰亚胺前体a’‑1的合成)〕[0873]将在合成例1中所获得的聚酰亚胺前体a-1 20g溶解于四氢呋喃200g中。接着，在冰冷却下，一边搅拌一边滴加了将dcc13.0g溶解于50g的四氢呋喃中的溶液。在冰冷却下继续搅拌了2小时。通过过滤而去除在反应混合物中产生的沉淀物，从而获得了反应液。接着，使聚酰亚胺前体在3升的水中沉淀，并将水-聚酰亚胺前体混合物以5,000rpm(revolutions per minute：每分钟转数)的速度搅拌了15分钟。通过过滤而获取聚酰亚胺前体，并在减压状态下，将所获得的聚酰亚胺前体在45℃下干燥3天，从而获得了聚酰亚胺前体a’‑1。该聚酰亚胺前体a’‑1的重均分子量为20,500。推测聚酰亚胺前体a’‑1包含下述式(a’‑1)所表示的结构的重复单元。[0874][化学式62][0875][0876]＜合成例2-1＞[0877]〔由3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯改性聚酰亚胺前体a-2(聚酰亚胺前体a’‑2的合成)〕[0878]在合成例1-1中，使用在合成例2中所获得的聚酰亚胺前体a-2 20g来代替聚酰亚胺前体a-1，除此以外，以与合成例1-1相同的方法获得了作为改性聚酰亚胺前体的聚酰亚胺前体a’‑2。该聚酰亚胺前体a’‑2的重均分子量为21,200。推测聚酰亚胺前体a’‑2包含下述式(a’‑2)所表示的结构的重复单元。[0879][化学式63][0880][0881]＜合成例3-1＞[0882]〔由4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯改性聚酰亚胺前体a-3(聚酰亚胺前体a’‑3的合成)〕[0883]在合成例1-1中，使用在合成例3中所获得的聚酰亚胺前体a-3 20g来代替聚酰亚胺前体a-1，除此以外，以与合成例1-1相同的方法获得了作为改性聚酰亚胺前体的聚酰亚胺前体a’‑3。该聚酰亚胺前体a’‑3的重均分子量为18,500。推测聚酰亚胺前体a’‑3包含下述式(a’‑3)所表示的结构的重复单元。[0884][化学式64][0885][0886]＜合成例4-1＞[0887]〔由4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐、4,4’‑二氨基-2,2’‑二甲基联苯基(联甲苯胺)及甲基丙烯酸2-羟乙酯改性聚酰亚胺前体a-4(聚酰亚胺前体a’‑4的合成)〕[0888]在合成例1-1中，使用在合成例4中所获得的聚酰亚胺前体a-4 20g来代替聚酰亚胺前体a-1，除此以外，以与合成例1-1相同的方法获得了改性聚酰亚胺前体a’‑4。该聚酰亚胺前体a’‑4的重均分子量为20,500。推测聚酰亚胺前体a’‑4包含下述式(a’‑4)所表示的结构的重复单元。[0889][化学式65][0890][0891]＜合成例5-1＞[0892]〔由3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯改性聚酰亚胺前体a-2(聚酰亚胺前体a’‑5的合成)〕[0893]在合成例1-1中，使用在合成例2中所获得的聚酰亚胺前体a-2 20g来代替聚酰亚胺前体a-1，并使用二异丙基碳二亚胺(dic)来代替dcc，除此以外，以与合成例1-1相同的方法获得了改性聚酰亚胺前体a’‑5。该聚酰亚胺前体a’‑5的重均分子量为21,000。推测聚酰亚胺前体a’‑5包含下述式(a’‑5)所表示的结构的重复单元。[0894][化学式66][0895][0896]＜合成例6-1＞[0897]〔由3,3’,4,4’‑联苯四羧酸酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯改性聚酰亚胺前体a-2(聚酰亚胺前体a’‑6的合成)〕[0898]在合成例1-1中，使用在合成例2中所获得的聚酰亚胺前体a-2 20g来代替聚酰亚胺前体a-1，并使用(2,6-二异丙基苯基)碳二亚胺(dipc)来代替dcc，除此以外，以与合成例1-1相同的方法获得了改性聚酰亚胺前体a’‑6。该聚酰亚胺前体a’‑6的重均分子量为21,500。推测聚酰亚胺前体a’‑6包含下述式(a’‑6)所表示的结构的重复单元。[0899][化学式67][0900][0901]＜合成例7-1＞[0902]〔由4,4’‑氧二邻苯二甲酸酐、4,4’‑二氨基二苯醚及甲基丙烯酸2-羟乙酯改性聚酰亚胺前体a-3(聚酰亚胺前体a’‑7的合成)〕[0903]在合成例1-1中，使用在合成例3中所获得的聚酰亚胺前体a-3 20g来代替聚酰亚胺前体a-1，并使用dic来代替dcc，除此以外，以与合成例1-1相同的方法获得了改性聚酰亚胺前体a’‑7。该聚酰亚胺前体a’‑7的重均分子量为19,000。推测聚酰亚胺前体a’‑7包含下述式(a’‑7)所表示的结构的重复单元。[0904][化学式68][0905][0906]＜合成例8-1＞[0907]〔聚酰亚胺p-1的合成)〕[0908]在安装有冷凝器及搅拌机的烧瓶中，一边去除水分一边将下述式(a-1)所表示的酐(a-1)11.4g(25毫摩尔)溶解于n-甲基吡咯烷酮(nmp)33.1g中。接着，添加1,3-苯二胺(tokyo chemical industry co.,ltd.制造)2.70g(25毫摩尔)，在25℃下搅拌3小时，并在45℃下进一步搅拌了3小时。接着，添加吡啶7.50g(94.8毫摩尔)、乙酸酐6.38g(62毫摩尔)、n-甲基吡咯烷酮(nmp)20.0g，在80℃下搅拌3小时，并添加n-甲基吡咯烷酮(nmp)50g进行了稀释。[0909]使该反应液在1.2升的甲醇中沉淀，并以3,000rpm的速度搅拌了15分钟。通过过滤而获取树脂，并在1升的甲醇中再次搅拌30分钟并再次进行了过滤。在减压状态下，将所获得的树脂在40℃下干燥1天，从而获得了闭环型聚酰亚胺p-1。p-1的分子量为重均分子量(mw)＝74,300，数均分子量(mn)＝30,100。[0910]推测p-1的结构为下述式(p-1)所表示的结构。[0911][化学式69][0912][0913]＜合成例h-1＞[0914]在三口烧瓶中混合了二环己基碳二亚胺41.3g(0.20mol)和四氢呋喃200ml。接着，用滴加漏斗将使苯甲酸24.4g(0.02mol)溶解于四氢呋喃200ml中的溶液在室温下经30分钟滴加于烧瓶中。滴加完成后，在室温下继续反应了30分钟之后静置24小时。过滤析出物并回收了滤液。将所回收的滤液(thf溶液)进行浓缩后，通过再结晶操作而获得了化合物h-1作为白色粉体。推测化合物h-1的结构为后述式(h-1)所表示的结构。[0915]＜合成例h-2＞[0916]在合成例h-1中，使用邻苯二甲酸单甲酯36.0g(0.2mol)来代替苯甲酸，除此以外，以与合成例h-1相同的方法获得了化合物h-2。推测化合物h-2的结构为后述式(h-2)所表示的结构。[0917]＜合成例h-3＞[0918]在合成例h-1中，将二环己基碳二亚胺变更为1,3-二对三碳二亚胺44.5g(0.2mol)，并将苯甲酸变更为4-叔丁基苯甲酸35.2g(0.2mol)，除此以外，以与合成例h-1相同的方法获得了化合物h-3。推测化合物h-3的结构为后述式(h-3)所表示的结构。[0919]＜合成例h-4＞[0920]在合成例h-1中，将二环己基碳二亚胺变更为1,3-二对三碳二亚胺44.5g(0.2mol)，并将苯甲酸变更为邻苯二甲酸单甲酯36.0g(0.2mol)，除此以外，以与合成例h-1相同的方法获得了化合物h-4。推测化合物h-4的结构为后述式(h-4)所表示的结构。[0921]＜合成例h-5＞[0922]在合成例h-1中，将二环己基碳二亚胺变更为双(2,6-二异丙基苯基)碳二亚胺72.5g(0.2mol)，除此以外，以与合成例h-1相同的方法获得了化合物h-5。推测化合物h-5的结构为后述式(h-5)所表示的结构。[0923]＜合成例h-6＞[0924]将在合成例h-1中所使用的二环己基碳二亚胺变更为1,3-二对三碳二亚胺44.5g(0.2mol)，并将苯甲酸变更为邻苯二甲酸单丁酯44.4g(0.2mol)，除此以外，以与合成例h-1相同的方法获得了化合物h-6。推测化合物h-6的结构为后述式(h-6)所表示的结构。[0925]＜合成例h-7＞[0926]在三口烧瓶中混合了5,5-二甲基乙内酰脲10.0g(78mmol)和吡啶40ml。将氯化苯甲酰基11.0g(78mmol)在室温下经30分钟滴加于烧瓶中。滴加完成后，在170℃下反应15小时。反应完成后，将其进行减压浓缩之后，用乙酸乙酯进行了稀释。使用硅胶进行过滤之后，使用乙酸乙酯/己烷(将乙酸乙酯和己烷以乙酸乙酯:己烷＝1:9(体积比)混合而成的溶剂)进行再结晶，从而获得了化合物h-7作为白色粉末。推测化合物h-7的结构为后述式(h-7)所表示的结构。[0927]＜合成例h-8＞[0928]在三口烧瓶中混合了二异丙基碳二亚胺1.26g(10mmol)和四氢呋喃100ml、氯化苯甲酰基1.41g(10mmol)。在室温下继续搅拌了48小时。接着，加入1,3-二甲基硫脲1.04g(10mmol)，进而继续搅拌了12小时。将反应液进行减压浓缩，通过硅胶柱色谱法，并使用乙酸乙酯/己烷(将乙酸乙酯和己烷以乙酸乙酯:己烷＝1:9(体积比)混合而成的溶剂)进行纯化，从而获得了化合物h-8作为白色固体。推测化合物h-8的结构为后述式(h-8)所表示的结构。[0929][化学式70][0930][0931]＜实施例及比较例＞[0932]在各实施例及比较例中，分别混合下述表1中所记载的成分，从而获得了树脂组合物或比较用组合物。[0933]除了表1中所记载的溶剂以外的各成分一栏中的数值表示各成分的含量(质量份)。[0934]将所获得的树脂组合物及比较用组合物通过细孔的宽度为0.8μm的聚四氟乙烯制过滤器进行了加压过滤。[0935]并且，在表1中，“‑”的记载表示不含有对应的成分。[0936][表1][0937][0938]表1中所记载的各成分的详细内容如下所述。[0939]〔树脂〕[0940]·a-1～a-4、a”‑5～a”‑8、a’‑1～a’‑7、p-1：在上述合成例中所合成的聚酰亚胺前体a-1～a-4、聚酰亚胺前体a”‑5～a”‑8、聚酰亚胺前体a’‑1～a’‑7、聚酰亚胺p-1[0941]〔热产碱剂〕[0942]·b-1～b-5：下述式(b-1)～式(b-5)所表示的化合物[0943][化学式71][0944][0945]〔自由基聚合引发剂〕[0946]·c-1：irgacure oxe 01(basf公司制造)[0947]·c-2：irgacure oxe 02(basf公司制造)[0948]·c-3：irgacure 369(basf公司制造)[0949][自由基聚合性化合物][0950]·d-1：a-dph(shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)[0951]·d-2：sr-209(sartomer company,inc制造、下述结构的化合物)[0952]·d-3：a-tmmt(shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)[0953][化学式72][0954][0955]〔阻聚剂〕[0956]·e-1：2-亚硝基-1-萘酚(tokyo chemical industry co.,ltd.制造)[0957]·e-2：对苯醌(tokyo chemical industry co.,ltd.制造)[0958]·e-3：对甲氧基苯酚(tokyo chemical industry co.,ltd.制造)[0959]〔迁移抑制剂〕[0960]·f-1～f-4：下述结构的化合物[0961][化学式73][0962][0963]〔硅烷偶联剂(金属粘接性改良剂)〕[0964]·g-1～g-4：下述结构的化合物。以下结构式中，et表示乙基。[0965][化学式74][0966][0967]〔特定化合物〕[0968]·h-1～h-8：上述化合物h-1～h-8[0969]〔其他添加剂〕[0970]·j-1：下述式(j-1)所表示的化合物[0971]·j-2：n-苯基二乙醇胺[0972][化学式75][0973][0974]〔溶剂〕[0975]·i-1：n-甲基-2-吡咯烷酮[0976]·i-2：乳酸乙酯[0977]·i-3：γ-丁内酯:二甲基亚砜＝80质量％:20质量％的混合溶剂[0978]＜评价＞[0979]〔特定结构的定量〕[0980]作为添加剂(化合物h-1～h-8)添加时和与聚合物键合时的特定结构的含量的定量方法如下。[0981]-作为添加剂添加时-[0982]用d6-dmso(二甲基亚砜-d6)对所制备的组合物进行nmr解析，从而计算出聚合物和添加剂的摩尔比。接着，用四氢呋喃稀释组合物之后，添加水:丙酮＝50质量％:50质量％的混合溶剂，过滤析出物并使所获得的过滤物干燥。通过计算出干燥质量而获得聚合物的质量。根据聚合物/添加剂的摩尔比和聚合物质量来定量添加剂的含量。[0983]-与聚合物键合时-[0984]用四氢呋喃稀释组合物之后，添加水:丙酮＝50质量％:50质量％的混合溶剂，过滤析出物并使所获得的过滤物干燥。通过计算出干燥质量而获得聚合物的质量。用d6-dmso对所获得的聚合物进行nmr解析，从而计算出聚合物和添加剂的摩尔比。根据聚合物质量和摩尔比来定量特定结构的含量。[0985]并且，关于树脂组合物的总固体成分，在70℃/0.1torr/3小时的条件下干燥溶剂，并将干燥残渣的质量设为总固体成分。1torr为表示1气压的760分之一的值，并设为133.322pa。在上述干燥中，通过挥发成分的1h-nmr(使用dmso(二甲基亚砜)-d6作为溶剂)确认了没有除了溶剂以外的挥发成分。[0986]通过上述方法来定量相对于树脂组合物的总固体成分的式(1-1)所表示的结构的含量(mol/g)，并将定量结果记载于表1的“特定结构的含量”一栏中。[0987]〔保存稳定性的评价〕[0988]关于在各实施例及比较例中所制备的树脂组合物及比较用组合物，分别在制备后立即使用e型粘度计测定了粘度。此时，将所测定的粘度的值设为“粘度(0天)”。之后，将各实施例及比较例中的树脂组合物及比较用组合物在密闭容器中在遮光、25℃的条件下静置14天之后，再次使用e型粘度计测定了粘度。此时，将所测定的粘度的值设为“粘度(14天)”。根据以下式计算出粘度变动率。[0989]根据上述粘度变动率，并按照下述评价基准进行了评价。评价结果记载于表2的“保存稳定性”一栏中。[0990]可以说上述粘度变动率越低，保存稳定性越高。[0991]粘度变动率＝|100×{1-(粘度(14天)/粘度(0天))}|[0992]粘度的测定在25℃下进行，其他测定条件根据jis z 8803：2011。[0993]-评价基准-[0994]a：粘度变动率为5％以下。[0995]b：粘度变动率超过了5％。[0996]〔密合性的评价〕[0997]通过旋涂法分别将在各实施例及比较例中所制备的树脂组合物或比较用组合物以层状适用于铜基板上，从而形成了树脂组合物层或比较用组合物层。在100℃下将形成了所获得的树脂组合物层或比较用组合物层的铜基板在加热板上干燥5分钟，从而在铜基板上形成了20μm的均匀的厚度的树脂组合物层或比较用组合物层。使用步进机(nikon nsr 2005i9c)，使用形成100μm见方的正方形状的非掩模部的光掩模并通过i射线以500mj/cm2的曝光能量对铜基板上的树脂组合物层或比较用组合物层进行曝光，之后用环戊酮显影60秒钟，从而获得了100μm见方的正方形状的树脂层。进而，在氮气气氛下，在230℃下加热3小时，从而形成了树脂层(图案)。[0998]在25℃、65％相对湿度(rh)的环境下，使用粘结强度试验机(xyztec公司制造、condorsigma)，测定铜基板上的100μm见方的正方形状的树脂层的剪力，并按照下述评价基准进行了评价。评价结果记载于表2的“密合性”一栏中。可以说剪力越大，固化膜的金属密合性(铜密合性)越优异。[0999]-评价基准-[1000]a：剪力超过了40gf。[1001]b：剪力超过35gf且为40gf以下。[1002]c：剪力超过25gf且为35gf以下。[1003]d：剪力为25gf以下。[1004]并且，1gf为0.00980665n。[1005]〔可靠性(加热后的金属密合性)的评价〕[1006]在各实施例或比较例中，在上述密合性的评价中，在230℃下加热3小时而形成树脂层之后，使树脂层在175℃的恒温槽中经过1,000小时之后进行了剪力的测定，除此以外，按照与上述密合性的评价中的评价方法相同的评价方法及评价基准，进行了加热后的金属密合性的评价。评价结果记载于表2的“可靠性”一栏中。可以说剪力越大，固化膜的金属密合性(铜密合性)越优异。[1007][表2][1008] 保存稳定性密合性可靠性实施例1aaa实施例2baa实施例3aaa实施例4baa实施例5abb实施例6abb实施例7abb实施例8aaa实施例9aaa实施例10aaa实施例11baa实施例12baa实施例13baa实施例14aaa实施例15aaa实施例16aaa实施例17aaa实施例18aaa实施例19aaa实施例20aaa实施例21aaa实施例22aaa实施例23aaa实施例24aaa实施例25aaa实施例26aaa实施例27aaa实施例28aaa实施例29aaa实施例30aaa实施例31bcc实施例32abb实施例33bbb比较例1bdd比较例2bdd[1009]根据以上结果，可知在使用了本发明的包含选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂且在固体成分中包含式(1-1)所表示的结构的树脂组合物的情况下，可以获得与金属层的密合性优异的固化膜。[1010]比较例1～比较例3中所记载的比较用组合物在固体成分中不包含式(1-1)所表示的结构。可知由这样的比较用组合物可以获得的固化膜与金属层的密合性较差。[1011]＜实施例101＞[1012]通过旋涂法，将在实施例1中所使用的树脂组合物以层状适用于表面上形成有铜薄层的树脂基材的铜薄层的表面上，并在100℃下干燥5分钟而形成膜厚20μm的树脂组合物层之后，使用步进机(nikon co.,ltd.制造，nsr1505i6)进行了曝光。关于曝光，经由掩模(图案为1:1线与空间、线宽为10μm的二元掩模)照射波长365nm的光来进行。曝光之后，用环戊酮显影30秒钟，并且用pgmea冲洗20秒钟，从而获得了层的图案。[1013]接着，在230℃下加热3小时而形成了再配线层用层间绝缘膜。该再配线层用层间绝缘膜的绝缘性优异。[1014]并且，使用这些再配线层用层间绝缘膜制造出半导体器件，其结果，确认到正常动作。









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