一种用于大电流测试的探针测试设备的制作方法

测量装置的制造及其应用技术1.本发明涉及芯片测试设备技术领域，更具体地说，本发明涉及一种用于大电流测试的探针测试设备。背景技术：2.近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向7纳米以下挺进。产品讲求轻薄短小，ic体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善ic效能，现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及cpu等。上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。3.但是在实际使用时，现有的探针测试设备大多采用人工手动控制探针上下移动，测试准备程序不够自动化，容易导致探针与硅片冲击，进而损坏探针，缩短探针测试设备使用寿命，同时传统的探针测试设备往往采用人工手动调整硅片等待检测物的位置，进而与探针对准，容易导致硅片等待检测物的表面沾染汗渍和杂质，进而影响检测结果的准确性，且市场上现有的探针测试设备常常将硅片等待检测物直接放置在检测台上，硅片容易收到触碰，进而影响检测过程和检测结果。技术实现要素：4.为了克服现有技术的上述缺陷，本发明的实施例提供一种用于大电流测试的探针测试设备，通过设置升降控制机构，自动控制测试探针套筒上下移动，延长探针使用寿命，同时设置移动调节机构，避免硅片等待检测物沾染汗渍和杂质，导致内部短路，从而提高检测精度，确保检测结果的准确性，且设置固定机构，固定硅片等待检测物，避免其在检测台上收到触碰滑动，保证检测过程中硅片等待检测物保持与探针的相对静止，从而保证检测结果准确性，以解决上述背景技术中提出的问题。5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于大电流测试的探针测试设备，包括测试仪，所述测试仪的表面通过导线电性连接有测试探针套筒，所述测试探针套筒的侧面固定连接有对称分布的第一升降杆和第二升降杆，所述第一升降杆和第二升降杆远离测试探针套筒的一端分别固定有第一升降空心螺纹滑块和第二升降空心螺纹滑块，所述第一升降空心螺纹滑块的表面通过导轨滑动连接有第一升降控制箱，所述第二升降空心螺纹滑块的表面通过导轨滑动连接有第二升降控制箱，所述第一升降控制箱和第二升降控制箱的底部固定连接有升降底座，所述升降底座、第一升降控制箱和第二升降控制箱的内部设置有升降控制机构，所述升降底座的顶部固定连接有水平调节箱，所述水平调节箱的内部设置有移动调节机构，所述水平调节箱的顶部固定连接有检测台，所述检测台的表面设置有固定机构。6.进一步的，所述升降控制机构包括升降传动轴，所述升降传动轴的两端通过轴承座与升降底座的内壁转动连接，所述升降底座的侧面通过安装座固定安装有升降驱动电机，所述升降驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有穿设于升降底座的内部的升降主动轴，所述升降主动轴的表面固定套接有主动升降锥齿轮，所述升降传动轴的表面固定套接有从动升降锥齿轮，所述从动升降锥齿轮与主动升降锥齿轮啮合连接。7.进一步的，所述第一升降控制箱的内部通过轴承座转动连接有穿设于升降底座内部的第一升降螺杆，所述第一升降螺杆的表面与第一升降空心螺纹滑块的内部啮合连接，所述第一升降螺杆伸入升降底座内部的一端表面固定套接有第一从动传动升降锥齿轮，所述升降传动轴的表面固定套接有对称分布的第一主动传动升降锥齿轮和第二主动传动升降锥齿轮，所述第一主动传动升降锥齿轮与第一从动传动升降锥齿轮啮合连接。8.进一步的，所述第二升降控制箱的内部通过轴承座转动连接有穿设于升降底座内部的第二升降螺杆，所述第二升降螺杆的表面与第二升降空心螺纹滑块的内部啮合连接，所述第二升降螺杆伸入升降底座内部的一端表面固定套接有第二从动传动升降锥齿轮，所述第二从动传动升降锥齿轮与第二主动传动升降锥齿轮啮合连接。9.进一步的，所述移动调节机构包括水平调节电机，所述水平调节电机的底部通过安装座与水平调节箱的内壁固定连接，所述水平调节电机的输出轴通过联轴器固定连接有水平调节螺杆。10.进一步的，所述水平调节箱的内部固定连接有滑动支架，所述滑动支架与水平调节箱的内壁之间分别通过导轨滑动连接有上下固定连接的水平调节空心螺纹滑块和竖直调节箱，所述水平调节空心螺纹滑块的内部与水平调节螺杆的表面啮合连接。11.进一步的，所述竖直调节箱的内部通过安装座固定安装有竖直调节电机，所述竖直调节电机的输出轴通过联轴器固定连接有竖直调节螺杆，所述竖直调节箱的内部通过导轨滑动连接有竖直调节空心螺纹滑块，所述竖直调节空心螺纹滑块的顶部与检测台的底部固定连接，所述竖直调节空心螺纹滑块的内部与竖直调节螺杆的表面啮合连接。12.进一步的，所述固定机构包括固定框，所述固定框的侧面固定连接有合页，所述合页远离固定框的一端与检测台固定连接。13.进一步的，所述固定框远离合页的一端固定连接有u型锁紧块，所述检测台远离合页的一端开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部啮合连接有锁紧螺杆，所述锁紧螺杆的表面固定套接有锁紧垫片，所述锁紧垫片和锁紧螺杆与u型锁紧块活动衔接，所述锁紧螺杆伸出螺纹孔的一端表面固定连接有锁紧把手。14.本发明的技术效果和优点：15.1、与现有技术相比，通过设置升降控制机构，通过控制升降驱动电机工作，带动升降主动轴和主动升降锥齿轮转动，进而带动从动升降锥齿轮和升降传动轴转动，进而带动第一主动传动升降锥齿轮和第二主动传动升降锥齿轮转动，从而带动第一从动传动升降锥齿轮和第二从动传动升降锥齿轮转动，进而带动第一升降螺杆和第二升降螺杆转动，从而带动第一升降空心螺纹滑块和第二升降空心螺纹滑块上下滑动，进而带动第一升降杆和第二升降杆上下移动，从而自动控制测试探针套筒上下移动，延长探针使用寿命。16.2、与现有技术相比，通过设置移动调节机构，通过控制水平调节电机和竖直调节电机工作，带动水平调节螺杆和竖直调节螺杆转动，进而带动水平调节空心螺纹滑块和竖直调节空心螺纹滑块滑动，进而在探针底部移动调节检测台，避免硅片等待检测物沾染汗渍和杂质，导致内部短路，从而提高检测精度，确保检测结果的准确性。17.3、与现有技术相比，通过设置固定机构，通过控制锁紧把手转动，带动锁紧螺杆和锁紧垫片转动，进而使固定框与检测台保持固定，从而固定硅片等待检测物，避免其在检测台上收到触碰滑动，保证检测过程中硅片等待检测物保持与探针的相对静止，从而保证检测结果准确性。附图说明18.图1为本发明的整体结构示意图。19.图2为本发明升降控制机构结构示意图。20.图3为本发明水平调节箱结构示意图。21.图4为本发明竖直调节箱结构示意图。22.图5为本发明a处放大图。23.附图标记为：1、测试仪；2、测试探针套筒；3、第一升降杆；4、第二升降杆；5、第一升降空心螺纹滑块；6、第二升降空心螺纹滑块；7、第一升降控制箱；8、第二升降控制箱；9、升降底座；10、水平调节箱；11、检测台；12、升降传动轴；13、升降驱动电机；14、升降主动轴；15、主动升降锥齿轮；16、从动升降锥齿轮；17、第一升降螺杆；18、第一从动传动升降锥齿轮；19、第一主动传动升降锥齿轮；20、第二主动传动升降锥齿轮；21、第二升降螺杆；22、第二从动传动升降锥齿轮；23、水平调节电机；24、水平调节螺杆；25、滑动支架；26、水平调节空心螺纹滑块；27、竖直调节箱；28、竖直调节电机；29、竖直调节螺杆；30、竖直调节空心螺纹滑块；31、固定框；32、合页；33、u型锁紧块；34、螺纹孔；35、锁紧螺杆；36、锁紧垫片；37、锁紧把手。具体实施方式24.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。25.如附图1-5所示的一种用于大电流测试的探针测试设备，包括测试仪1，测试仪1的表面通过导线电性连接有测试探针套筒2，测试探针套筒2的侧面固定连接有对称分布的第一升降杆3和第二升降杆4，第一升降杆3和第二升降杆4远离测试探针套筒2的一端分别固定有第一升降空心螺纹滑块5和第二升降空心螺纹滑块6，第一升降空心螺纹滑块5的表面通过导轨滑动连接有第一升降控制箱7，第二升降空心螺纹滑块6的表面通过导轨滑动连接有第二升降控制箱8，第一升降控制箱7和第二升降控制箱8的底部固定连接有升降底座9，升降底座9、第一升降控制箱7和第二升降控制箱8的内部设置有升降控制机构，升降底座9的顶部固定连接有水平调节箱10，水平调节箱10的内部设置有移动调节机构，水平调节箱10的顶部固定连接有检测台11，检测台11的表面设置有固定机构。26.在一个优选地实施方式中，升降控制机构包括升降传动轴12，升降传动轴12的两端通过轴承座与升降底座9的内壁转动连接，升降底座9的侧面通过安装座固定安装有升降驱动电机13，升降驱动电机13的输出轴通过联轴器固定连接有穿设于升降底座9的内部的升降主动轴14，升降主动轴14的表面固定套接有主动升降锥齿轮15，升降传动轴12的表面固定套接有从动升降锥齿轮16，从动升降锥齿轮16与主动升降锥齿轮15啮合连接，以便于通过控制升降驱动电机13工作，带动升降主动轴14和主动升降锥齿轮15转动，进而带动从动升降锥齿轮16和升降传动轴12转动。27.在一个优选地实施方式中，第一升降控制箱7的内部通过轴承座转动连接有穿设于升降底座9内部的第一升降螺杆17，第一升降螺杆17的表面与第一升降空心螺纹滑块5的内部啮合连接，第一升降螺杆17伸入升降底座9内部的一端表面固定套接有第一从动传动升降锥齿轮18，升降传动轴12的表面固定套接有对称分布的第一主动传动升降锥齿轮19和第二主动传动升降锥齿轮20，第一主动传动升降锥齿轮19与第一从动传动升降锥齿轮18啮合连接，以便于当升降传动轴12转动时，带动第一主动传动升降锥齿轮19与第一从动传动升降锥齿轮18转动进而带动第一从动传动升降锥齿轮18和第一升降螺杆17转动，进而带动第一升降空心螺纹滑块5和第一升降杆3上下移动。28.在一个优选地实施方式中，第二升降控制箱8的内部通过轴承座转动连接有穿设于升降底座9内部的第二升降螺杆21，第二升降螺杆21的表面与第二升降空心螺纹滑块6的内部啮合连接，第二升降螺杆21伸入升降底座9内部的一端表面固定套接有第二从动传动升降锥齿轮22，第二从动传动升降锥齿轮22与第二主动传动升降锥齿轮20啮合连接，以便于当第二主动传动升降锥齿轮20转动时，带动第二从动传动升降锥齿轮22和第二升降螺杆21转动，进而带动第二升降空心螺纹滑块6和第二升降杆4上下移动，从而自动调节测试探针套筒2高度，便于测试pcb板的电流流量，减少人工操作劳动量，避免人工操作测试探针套筒2导致内部探针损坏，延长探针使用寿命。29.在一个优选地实施方式中，移动调节机构包括水平调节电机23，水平调节电机23的底部通过安装座与水平调节箱10的内壁固定连接，水平调节电机23的输出轴通过联轴器固定连接有水平调节螺杆24，以便于通过控制水平调节电机23工作，带动水平调节螺杆24转动。30.在一个优选地实施方式中，水平调节箱10的内部固定连接有滑动支架25，滑动支架25与水平调节箱10的内壁之间分别通过导轨滑动连接有上下固定连接的水平调节空心螺纹滑块26和竖直调节箱27，水平调节空心螺纹滑块26的内部与水平调节螺杆24的表面啮合连接，以便于当水平调节螺杆24转动时，带动水平调节空心螺纹滑块26和竖直调节箱27水平移动，调节竖直调节箱27的水平位置。31.在一个优选地实施方式中，竖直调节箱27的内部通过安装座固定安装有竖直调节电机28，竖直调节电机28的输出轴通过联轴器固定连接有竖直调节螺杆29，竖直调节箱27的内部通过导轨滑动连接有竖直调节空心螺纹滑块30，竖直调节空心螺纹滑块30的顶部与检测台11的底部固定连接，竖直调节空心螺纹滑块30的内部与竖直调节螺杆29的表面啮合连接，以便于通过控制竖直调节电机28工作，带动竖直调节螺杆29转动，进而带动竖直调节空心螺纹滑块30和检测台11在竖直方向上移动，避免人为触碰调节pcb板，导致被检测物沾染汗渍和杂质，提高检测精度，确保检测结果准确性。32.在一个优选地实施方式中，固定机构包括固定框31，固定框31的侧面固定连接有合页32，合页32远离固定框31的一端与检测台11固定连接，以便于通过控制固定框31在合页32的作用下转动，进而使检测台11上的待检测物保持固定，避免待检测物晃动，提高检测结果准确性。33.在一个优选地实施方式中，固定框31远离合页32的一端固定连接有u型锁紧块33，检测台11远离合页32的一端开设有螺纹孔34，螺纹孔34的内部啮合连接有锁紧螺杆35，锁紧螺杆35的表面固定套接有锁紧垫片36，锁紧垫片36和锁紧螺杆35与u型锁紧块33活动衔接，锁紧螺杆35伸出螺纹孔34的一端表面固定连接有锁紧把手37，以便于通过控制锁紧把手37转动，带动锁紧螺杆35和锁紧垫片36转动，进而使锁紧垫片36与u型锁紧块33锁紧固定，从而使固定框31与检测台11保持固定。34.本发明工作原理：当一种用于大电流测试的探针测试设备使用时，通过控制升降驱动电机13工作，带动升降主动轴14和主动升降锥齿轮15转动，进而带动从动升降锥齿轮16和升降传动轴12转动，带动第一主动传动升降锥齿轮19与第一从动传动升降锥齿轮18转动进而带动第一从动传动升降锥齿轮18和第一升降螺杆17转动，进而带动第一升降空心螺纹滑块5和第一升降杆3上下移动，带动第二从动传动升降锥齿轮22和第二升降螺杆21转动，进而带动第二升降空心螺纹滑块6和第二升降杆4上下移动，从而自动调节测试探针套筒2高度，便于测试pcb板的电流流量，减少人工操作劳动量，避免人工操作测试探针套筒2导致内部探针损坏，延长探针使用寿命，通过控制水平调节电机23工作，带动水平调节螺杆24转动，带动水平调节空心螺纹滑块26和竖直调节箱27水平移动，调节竖直调节箱27的水平位置，同时通过控制竖直调节电机28工作，带动竖直调节螺杆29转动，进而带动竖直调节空心螺纹滑块30和检测台11在竖直方向上移动，避免人为触碰调节pcb板，导致被检测物沾染汗渍和杂质，提高检测精度，确保检测结果准确性，同时通过控制锁紧把手37转动，带动锁紧螺杆35和锁紧垫片36转动，进而使锁紧垫片36与u型锁紧块33锁紧固定，从而使固定框31与检测台11保持固定，通过控制固定框31在合页32的作用下转动，进而使检测台11上的待检测物保持固定，避免待检测物晃动，提高检测结果准确性。35.最后应说明的几点是：首先，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；36.其次：本发明公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本发明同一实施例及不同实施例可以相互组合；37.最后：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。









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