无机化学及其化合物制造及其合成,应用技术1.本实用新型涉及单晶碳化硅加工领域,尤其涉及一种单晶碳化硅材料的加工设备。背景技术:2.碳化硅由于其化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好等较多的优点,除作磨料用外,还有很多其他用途,其中单晶碳化硅目前主要应用于半导体加工,而对于碳化硅晶体的加工往往会利用加工设备对原材料进行高温加工。3.现有的单晶碳化硅材料的加工设备大多结构简单且功能性较为单一,当对碳化硅材料加热完成后,加热炉体内部的温度仍然会在一段时间内保持较高状态,需要静置较长的时间,不能在一定程度内快速的进行降温散热,若工作人员不等待完全冷却后直接离开,炉体高温具有一定的危险性。4.因此,有必要提供一种新的单晶碳化硅材料的加工设备解决上述技术问题。技术实现要素:5.为解决上述技术问题,本实用新型提供一种单晶碳化硅材料的加工设备。6.本实用新型提供的一种单晶碳化硅材料的加工设备包括:底座,所述底座的两端均固定连接有立架,两个所述立架的顶端共同连接有顶壳,所述底座上固定连接有加热炉体,所述加热炉体内设有内置板壳,所述顶壳的一端安装连接有电机,所述加热炉体的顶端内壁上固定连接有多口喷头,所述内置板壳内滑动连接有两个嵌合板,所述底座的侧壁上固定连接有水箱,所述水箱的内部设有水泵。7.优选的,所述顶壳上设有便捷开闭机构,所述便捷开闭机构包括驱动长轴,所述驱动长轴的一端与顶壳的壳壁转动连接,所述驱动长轴的另一端与电机的输出端固定连接,所述驱动长轴的两端均设有筒套件,所述驱动长轴的两端设有方向相反的螺纹,两个所述筒套件分别与驱动长轴的两端螺纹连接,两个所述筒套件上均固定连接有连接件,所述顶壳的两端均设有长槽,两个所述连接件分别与两个长槽滑动连接,两个所述连接件分别与两个嵌合板固定连接。8.优选的,所述筒套件的两端均安装连接有导轮,两个所述导轮均与顶壳的内壁相抵。9.优选的,所述内置板壳的中部设有方形开口,左端所述嵌合板上设有嵌合凹槽,右端所述嵌合板上设有嵌合凸块。10.优选的,所述水箱的外部设有辅助散热机构,所述辅助散热机构包括斗形腔固定管,所述斗形腔固定管的一端与水泵的出水端固定连接,所述斗形腔固定管的另一端通过第一连接管与多口喷头相连接,所述斗形腔固定管的管壁上转动连接有细杆,所述细杆的下端固定连接有涡轮叶,所述涡轮叶设于斗形腔固定管内部,所述细杆的顶端安装连接有风扇叶,所述水箱的上端固定连接有曲形分流管,所述风扇叶设于曲形分流管的下方,所述曲形分流管的中端设有多个分流绕管。11.优选的,所述加热炉体的下端设有排水口,所述排水口处安装连接有手动阀,所述曲形分流管的另一端通过第二连接管与排水口相连接。12.与相关技术相比较,本实用新型提供的一种单晶碳化硅材料的加工设备具有如下有益效果:13.1、本实用新型提供一种单晶碳化硅材料的加工设备,通过启动电机使驱动长轴转动带动两个连接件在两个长槽中移动,使两个嵌合板同时在内置板壳中滑动打开,即可使多口喷头暴露在内置板壳上的方形开口位置处,从而进行喷洒冷却水降温,能够很好的避免在高温加工状态下多口喷头与连接管体受热损坏;14.2、本实用新型提供一种单晶碳化硅材料的加工设备,通过水流带动斗形腔固定管中的涡轮叶转动,使细杆顶端的风扇叶随之转动吹风,即可很好的加速多个分流绕管中的水流散温,从而使水流循环散热效果较好。附图说明15.图1为本实用新型提供的一种单晶碳化硅材料的加工设备的一种较佳实施例的结构示意图;16.图2为图1所示的便捷开闭机构的结构示意图;17.图3为图1所示的辅助散热机构的结构示意图;18.图4为图3所示的曲形分流管的俯视图。19.图中标号:1、底座;11、立架;12、顶壳;13、内置板壳;2、加热炉体;21、手动阀;3、电机;4、多口喷头;5、嵌合板;6、便捷开闭机构;61、驱动长轴;62、筒套件;621、导轮;63、连接件;7、水箱;71、水泵;8、辅助散热机构;81、斗形腔固定管;82、细杆;821、涡轮叶;822、风扇叶;83、曲形分流管。具体实施方式20.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。21.请结合参阅图1至图4,一种单晶碳化硅材料的加工设备包括:底座1,底座1的两端均固定连接有立架11,两个立架11的顶端共同连接有顶壳12,底座1上固定连接有加热炉体2,加热炉体2内设有内置板壳13,顶壳12的一端安装连接有电机3,加热炉体2的顶端内壁上固定连接有多口喷头4,内置板壳13内滑动连接有两个嵌合板5,底座1的侧壁上固定连接有水箱7,水箱7的内部设有水泵71。22.在具体实施过程中,如图1和图2所示,顶壳12上设有便捷开闭机构6,便捷开闭机构6包括驱动长轴61,驱动长轴61的一端与顶壳12的壳壁转动连接,驱动长轴61的另一端与电机3的输出端固定连接,驱动长轴61的两端均设有筒套件62,驱动长轴61的两端设有方向相反的螺纹,两个筒套件62分别与驱动长轴61的两端螺纹连接,两个筒套件62上均固定连接有连接件63,顶壳12的两端均设有长槽,两个连接件63分别与两个长槽滑动连接,两个连接件63分别与两个嵌合板5固定连接。23.需要说明的是:启动电机3带动驱动长轴61转动,使其两端的两个筒套件62带动两个连接件63在两个长槽中移动,两个嵌合板5同时在内置板壳13中滑动打开,即可使多口喷头4暴露在内置板壳13上的方形开口位置处。24.参考图2所示,筒套件62的两端均安装连接有导轮621,两个导轮621均与顶壳12的内壁相抵。25.需要说明的是:两个筒套件62上的导轮621紧贴顶壳12的内壁转动,使两个连接件63带动两个嵌合板5移动足够稳定。26.参考图1所示,内置板壳13的中部设有方形开口,左端嵌合板5上设有嵌合凹槽,右端嵌合板5上设有嵌合凸块。27.需要说明的是:当左端嵌合板5的嵌合凹槽与右端嵌合板5上的嵌合凸块相抵时,能够保证关闭时足够稳定。28.参考图3和图4所示,水箱7的外部设有辅助散热机构8,辅助散热机构8包括斗形腔固定管81,斗形腔固定管81的一端与水泵71的出水端固定连接,斗形腔固定管81的另一端通过第一连接管与多口喷头4相连接,斗形腔固定管81的管壁上转动连接有细杆82,细杆82的下端固定连接有涡轮叶821,涡轮叶821设于斗形腔固定管81内部,细杆82的顶端安装连接有风扇叶822,水箱7的上端固定连接有曲形分流管83,风扇叶822设于曲形分流管83的下方,曲形分流管83的中端设有多个分流绕管;加热炉体2的下端设有排水口,排水口处安装连接有手动阀21,曲形分流管83的另一端通过第二连接管与排水口相连接。29.需要说明的是:启动水泵71使斗形腔固定管81中的涡轮叶821转动,即可使涡轮叶821带动细杆82相对于斗形腔固定管81的管壁转动,细杆82顶端的风扇叶822随之转动;30.降温后的水经过曲形分流管83后回流至水箱7的内部,水流流入曲形分流管83后进行分流后,同时在多个分流绕管中流动散热;31.风扇叶822转动吹风,可以很好的加速多个分流绕管中的水流散温,从而使水流循环散热效果较好。32.本实用新型提供的一种单晶碳化硅材料的加工设备的工作原理如下:当加工完成后,将加热炉体2内部的单晶碳化硅材料取出后,此时启动电机3,带动顶壳12内部的驱动长轴61转动,使其两端的两个筒套件62带动两个连接件63在两个长槽中移动,两个筒套件62上的导轮621紧贴顶壳12的内壁转动,使两个连接件63带动两个嵌合板5同时稳定移动,两个嵌合板5同时在内置板壳13中滑动打开,即可使多口喷头4暴露在内置板壳13上的方形开口位置处。33.启动水泵71,使水箱7内部的水流动经过斗形腔固定管81流动至多口喷头4中,进行雾化喷洒降温,水流带动斗形腔固定管81中的涡轮叶821转动,即可使涡轮叶821带动细杆82相对于斗形腔固定管81的管壁转动,细杆82顶端的风扇叶822随之转动;降温后的水经过曲形分流管83后回流至水箱7的内部,水流流入曲形分流管83后进行分流后,同时在多个分流绕管中流动散热,且风扇叶822转动吹风,可以很好的加速多个分流绕管中的水流散温,从而使水流循环散热效果较好。34.以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
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一种单晶碳化硅材料的加工设备的制作方法
作者:admin
2022-08-19 23:03:02
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