一种晶圆校准机构的制作方法

电气元件制品的制造及其应用技术1.本发明涉及半导体芯片加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆校准机构。背景技术：2.半导体芯片行业是现在最热门，国家也在大力扶持相关企业科研机构研发，早日实现芯片独立生产，防止被国外“卡脖子”，半导体加工的相关设备也在逐步国产化。芯片制造的过程复杂，工序多，其中硅片切割是其中一个环节，现在多以八寸片为主，以后会做大到十二寸，来提高效率。3.目前硅片定位方式有两种：一种是加工台定位；另一种是用校准工位预先定位；4.加工台定位时间长，浪费了激光加工的工位时间；5.用校准工位进行预先定位，效率大大提高，因为用第二片的等待时间去做预先定位，与正在加工片互不影响。6.有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆校准机构，使其更具有产业上的利用价值。技术实现要素：7.为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种晶圆校准机构。8.为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：9.一种晶圆校准机构，包括校准平台、影像轴和扫码器，影像轴位于校准平台沿着x轴负方向一侧的上方位置，扫码器位于校准平台沿着y轴正方向一侧的上方位置；校准平台包括y轴线性模组、x轴线性模组、固定支架、水平固定板、吸附台和吸附台固定板，y轴线性模组上的驱动端通过模组固定板与上方的x轴线性模组沿着y轴方向驱动连接设置，x轴线性模组上的驱动端通过固定支架与上方的水平固定板沿着x轴方向驱动连接设置，水平固定板上设置有同步带旋转驱动机构和吸附台固定板，同步带旋转驱动机构与吸附台固定板驱动连接设置，吸附台固定板上设置有吸附台。10.作为本发明的进一步改进，吸附台固定板的正下方设置有光源，光源通过光源固定板安装在水平固定板上。11.作为本发明的进一步改进，影像轴包括z轴线性模组、相机固定块和相机，z轴线性模组通过相机固定块与相机沿着z轴方向驱动连接设置，相机安装在z轴线性模组沿着x轴正方向的一侧，且相机位于校准平台的上方位置。12.作为本发明的进一步改进，同步带旋转驱动机构包括减速机、主动皮带轮、皮带和从动皮带轮，减速机安装在水平固定板的底部一侧，减速机顶部的驱动端与上方的主动皮带轮驱动连接设置，主动皮带轮通过皮带与从动皮带轮啮合传动，吸附台固定板固定在从动皮带轮上。13.作为本发明的进一步改进，从动皮带轮通过轴承安装在水平固定板上，轴承压入轴承固定板的槽内，轴承固定板固定在水平固定板上，通过外圈压板压住轴承外圈，从动皮带轮压入轴承内孔，另一侧用内圈压板压住轴承内圈。14.作为本发明的进一步改进，轴承固定板上设置有传感器，从动皮带轮上设置有与传感器相配合的感应拨片。15.作为本发明的进一步改进，水平固定板和固定支架之间通过调节螺钉和调节螺套连接在一起，调节螺套拧入水平固定板的螺纹孔内，弹垫套入调节螺钉后整体穿过调节螺套的中心孔，并拧入固定支架的螺纹孔内。16.作为本发明的进一步改进，吸附台和吸附台固定板之间设置有密封圈，密封圈放入吸附台固定板顶部的槽内，吸附台固定板底部的中心螺纹孔内拧入有旋转接头。17.借由上述方案，本发明至少具有以下优点：18.本发明一种晶圆校准机构，采用螺纹配合弹垫的结构来调整水平固定板的平面度；半透明的吸附台和背光源使用，再配合相机，实现找中心功能，符合半导体行业要求，提高了激光加工效率。19.上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。附图说明20.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。21.图1是本发明一种晶圆校准机构的结构示意图；22.图2是图1中校准平台的结构示意图；23.图3是图2的主视图；24.图4是图3的内部结构示意图；25.图5是图1中影像轴的结构示意图。26.其中，图中各附图标记的含义如下。27.1校准平台ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2影像轴28.3扫码器ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-1y轴线性模组29.1-2模组固定板ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-3x轴线性模组30.1-4固定支架ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-5水平固定板31.1-6调节螺钉ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-7吸附台32.1-8光源ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-9光源固定板33.1-10主动皮带轮ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-11弹垫34.1-12调节螺套ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-13轴承固定板35.1-14外圈压板ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-15内圈压板36.1-16旋转接头ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-17从动皮带轮37.1-18轴承ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-19传感器38.1-20吸附台固定板ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-21密封圈39.1-22皮带ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1-23减速机40.2-1z轴线性模组ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2-2相机固定块41.2-3相机具体实施方式42.下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。43.为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。44.实施例45.如图1～图5所示，46.一种晶圆校准机构，包括校准平台1、影像轴2和扫码器3，影像轴2位于校准平台1沿着x轴负方向一侧的上方位置，扫码器3位于校准平台1沿着y轴正方向一侧的上方位置；校准平台1包括y轴线性模组1-1、x轴线性模组1-3、固定支架1-4、水平固定板1-5、吸附台1-7和吸附台固定板1-20，y轴线性模组1-1上的驱动端通过模组固定板1-2与上方的x轴线性模组1-3沿着y轴方向驱动连接设置，x轴线性模组1-3上的驱动端通过固定支架1-4与上方的水平固定板1-5沿着x轴方向驱动连接设置，水平固定板1-5上设置有同步带旋转驱动机构和吸附台固定板1-20，同步带旋转驱动机构与吸附台固定板1-20驱动连接设置，吸附台固定板1-20上设置有吸附台1-7。47.优选的，吸附台固定板1-20的正下方设置有光源1-8，光源1-8通过光源固定板1-9安装在水平固定板1-5上。48.优选的，影像轴2包括z轴线性模组2-1、相机固定块2-2和相机2-3，z轴线性模组2-1通过相机固定块2-2与相机2-3沿着z轴方向驱动连接设置，相机2-3安装在z轴线性模组2-1沿着x轴正方向的一侧，且相机2-3位于校准平台1的上方位置。49.优选的，同步带旋转驱动机构包括减速机1-23、主动皮带轮1-10、皮带1-22和从动皮带轮1-17，减速机1-23安装在水平固定板1-5的底部一侧，减速机1-23顶部的驱动端与上方的主动皮带轮1-10驱动连接设置，主动皮带轮1-10通过皮带1-22与从动皮带轮1-17啮合传动，吸附台固定板1-20固定在从动皮带轮1-17上。50.优选的，从动皮带轮1-17通过轴承1-18安装在水平固定板1-5上，轴承1-18压入轴承固定板1-13的槽内，轴承固定板1-13固定在水平固定板1-5上，通过外圈压板1-14压住轴承1-18外圈，从动皮带轮1-17压入轴承1-18内孔，另一侧用内圈压板1-15压住轴承1-18内圈。51.优选的，轴承固定板1-13上设置有传感器1-19，从动皮带轮1-17上设置有与传感器1-19相配合的感应拨片。52.优选的，水平固定板1-5和固定支架1-4之间通过调节螺钉1-6和调节螺套1-12连接在一起，调节螺套1-12拧入水平固定板1-5的螺纹孔内，弹垫1-11套入调节螺钉1-6后整体穿过调节螺套1-12的中心孔，并拧入固定支架1-4的螺纹孔内。53.优选的，吸附台1-7和吸附台固定板1-20之间设置有密封圈1-21，密封圈1-21放入吸附台固定板1-20顶部的槽内，吸附台固定板1-20底部的中心螺纹孔内拧入有旋转接头1-16。54.本发明是用激光加工硅片前，可以解决硅片圆心定位、角度定位、硅片编码扫描等问题，减少后续激光加工的定位时间，提高整体效率。55.本发明工作原理及工作过程：56.整个机构装好后，先要调整吸附台1-7的平面度，通过调节三个调节螺套1-12来实现水平固定板1-5的姿态调整，最终实现吸附台1-7的平面度调整，调好后将调节螺钉1-6锁紧固定。57.减速机1-23输出轴带动主动皮带轮1-10，通过皮带1-22将从动皮带轮1-17带动，实现吸附台1-7旋转。58.通过y轴线性模组和x轴线性模组将吸附台1-7移动到影像轴2下方，光源1-8打开，半透明的吸附台1-7表面是黑白相间的结构，背面打光，正面对比度很好，相机2-3拍照，通过软件算法可以算出相机2-3中心的相对位置；吸附台1-7载出，机械手将硅片放到吸附台1-7上，真空打开，将硅片牢牢吸附固定在吸附台1-7上，再将吸附台1-7载入到相机相机2-3中心位置，硅片边缘轮廓清晰可见，相机2-3拍照后可以算出圆心位置及缺口位置，间接知道了编码位置，将编码移到扫码器3下方，读取数据并记录存储，方便以后追溯；将圆心的位置数据补偿到线性模组内，使载出后机械手取到的硅片圆心与手指圆心能同心，角度也可以任意设置。其中，上述影像轴2和扫码器3的结构以及工作过程均为本领域内常规技术，在此不做多余的说明。59.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。60.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。61.以上所述仅是本发明的优选实施方式，并不用于限制本发明，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。









图片声明：本站部分配图来自人工智能系统AI生成,觅知网授权图片,PxHere摄影无版权图库。本站只作为美观性配图使用,无任何非法侵犯第三方意图,一切解释权归图片著作权方,本站不承担任何责任。如有恶意碰瓷者,必当奉陪到底严惩不贷!




内容声明：本文中引用的各种信息及资料（包括但不限于文字、数据、图表及超链接等）均来源于该信息及资料的相关主体（包括但不限于公司、媒体、协会等机构）的官方网站或公开发表的信息。部分内容参考包括:(百度百科,百度知道,头条百科,中国民法典,刑法,牛津词典,新华词典,汉语词典,国家院校,科普平台)等数据,内容仅供参考使用,不准确地方联系删除处理！本站为非盈利性质站点,发布内容不收取任何费用也不接任何广告!




免责声明：我们致力于保护作者版权，注重分享，被刊用文章因无法核实真实出处，未能及时与作者取得联系，或有版权异议的，请联系管理员，我们会立即处理，本文部分文字与图片资源来自于网络，部分文章是来自自研大数据AI进行生成,内容摘自(百度百科,百度知道,头条百科,中国民法典,刑法,牛津词典,新华词典,汉语词典,国家院校,科普平台)等数据,内容仅供学习参考,不准确地方联系删除处理!的,若有来源标注错误或侵犯了您的合法权益，请立即通知我们，情况属实，我们会第一时间予以删除，并同时向您表示歉意,谢谢!