HJT制绒清洗机超净清洗系统的制作方法

环保节能,再生,污水处理设备的制造及其应用技术hjt制绒清洗机超净清洗系统技术领域1.本实用新型涉及超净清洗技术领域，具体为hjt制绒清洗机超净清洗系统。背景技术：2.在hjt制绒清洗设备生产线的领域中，设备使用方都希望在一定程度上提高设备生产程中的工艺的稳定性。3.在提高生产批次间的间歇式反应过程中，化学反应需求的工艺条件的稳定性尤为重要，超净清洗槽是整个设备系统中，表面超净表面态清洗的关键工艺步骤，有效保证由于因为整个系统本身材料特性产生的过程携带污染或粘附污染、析出污染，有效的保证初药液纯度以外产生污染物的可能，有效的保证设备整体的工艺制程效果。4.因此有必要对超净清洗槽进行一定的优化设计，以保证硅片表面超净表面态，从而避免硅片在后段制程中表面钝化问题及杜绝污染物产生良率与效率影响。技术实现要素：5.本实用新型的目的在于提供hjt制绒清洗机超净清洗系统，具备了以清洗系统形式安装于制绒清洗机设备主体上，使得整个清洗系统没有无机物或有机物粘附或析出产生污染硅片表面的效果，解决了传统的超净清洗槽难以保证硅片表面超净表面态，以及硅片在后段制程中表面容易出现钝化问题及污染物产生良率与效率的影响。6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：hjt制绒清洗机超净清洗系统，包括槽体，所述槽体的材质为高分子塑料，所述槽体槽内部的底部设置有液体匀流分配器。7.还包括用于所述槽体槽内外部液体超净循环流动的高分子塑料循环管路、气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器和石英容器红外辐射间接加热器，所述气动泵循环动力部件、所述高分子塑料材质过滤器、所述石英容器红外辐射间接加热器和所述液体匀流分配器通过所述高分子塑料循环管路依次连通。8.可选的，所述石英容器红外辐射间接加热器中的石英采用高纯石英玻璃。9.可选的，所述气动泵循环动力部件中的气动泵采用高纯高分子塑料材质。10.可选的，所述高分子塑料循环管路的管道处设置有流量计。11.可选的，所述流量计采用管夹式流量计。12.可选的，还包括比例阀，循环流量通过所述比例阀调整气动泵循环动力部件的通气量来调整循环流量大小，并用所述管夹式流量计反馈进行一个闭环循环系统调整。13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：14.本实用新型结构设计合理，利用高分子塑料循环管路、气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器和石英容器红外辐射间接加热器组成一个超净循环系统，有效保证整个清洗系统在清洗硅片过程中，没有系统本身的无机物或有机物粘附或析出产生污染硅片的表面，影响硅片表面洁净度的现象，有效保证清洗效果。附图说明15.图1为本实用新型结构的示意图。16.图中：1-槽体、2-液体匀流分配器、3-高分子塑料循环管路、4-气动泵循环动力部件、5-高分子塑料材质过滤器、6-石英容器红外辐射间接加热器。具体实施方式17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。18.请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：hjt制绒清洗机超净清洗系统，包括槽体1，所述槽体1的材质为高分子塑料，高分子塑料材质是非极性聚合物，表面自由能很低，所以具有极低的粘附性能，几乎和所有材料都无法粘附，耐强酸、强碱、高温，性能优异，属于超洁净材料，所以在使用过程中，药液中的污染物无法残留在槽体1壁板上面，槽体1长时间使用过程中，不会产能粘附物污染的现象，所述槽体1槽内部的底部设置有液体匀流分配器2；19.还包括用于所述槽体1槽内外部液体超净循环流动的高分子塑料循环管路3、气动泵循环动力部件4、高分子塑料材质过滤器5和石英容器红外辐射间接加热器6。高分子塑料循环管路3和高分子塑料材质过滤器5均采用是氟树脂高分子塑料材质，也与高分子塑料属于同体系的材质，性能一样，所以保证了循环管道中无粘附物污染现象，也有效的保证了药液自换循环过程中，管路系统产生无机物与有机物污染的可能。20.通过石英容器红外辐射间接加热器6的间接式红外辐射加热方式，加热器与药液通过石英容器隔离，没有直接接触药液。21.所述气动泵循环动力部件4、所述高分子塑料材质过滤器5、所述石英容器红外辐射间接加热器6和所述液体匀流分配器2通过所述高分子塑料循环管路3依次连通。22.综上设计有效保证整个清洗系统在清洗硅片过程中，没有系统本身的无机物或有机物粘附或析出产生污染硅片的表面，影响硅片表面洁净度的现象，有效保证清洗效果。23.进一步的，所述石英容器红外辐射间接加热器6中的石英采用高纯石英玻璃，采用高纯石英玻璃，也避免了无机物粘附与析出污染。24.进一步的，所述气动泵循环动力部件4中的气动泵采用高纯高分子塑料材质。通过采用高纯高分子塑料材质的气动泵，因为要保证泵头的强度问题，市面上使用磁力泵都是掺有一定其他玻纤加强的合成材料，有无机物析出污染现象，不能胜任超净清洗系统，而气动泵采用是气体驱动，对泵的输送机构没有刚性要求，所以采用是超纯高分子塑料材质，药液只接触高纯高分子塑料，有效防止了无机物析出污染可能，保证了循环动力系统在使用过程中没有无机物析出污染现象。25.进一步的，所述高分子塑料循环管路3的管道处设置有流量计，所述流量计采用管夹式流量计，与液体也没有接触，也避免了接触污染。26.进一步的，还包括比例阀，循环流量通过所述比例阀调整气动泵循环动力部件4的通气量来调整循环流量大小，并用所述管夹式流量计反馈进行一个闭环循环系统调整。27.工作原理：该hjt制绒清洗机超净清洗系统在使用时，利用高分子塑料循环管路3、气动泵循环动力部件4、高分子塑料材质过滤器5和石英容器红外辐射间接加热器6组成一个超净循环系统，通过气动泵循环动力部件4作为液体循环流动的动力，并经高分子塑料材质过滤器5过滤，以及石英容器红外辐射间接加热器6加热后由液体匀流分配器2进入至槽体1的槽内，再溢出至槽体1的槽外并重新回流至气动泵循环动力部件4进行循环流动。28.在上述超净循环过程中，循环流量通过比例阀调整气动泵循环动力部件4的通气量来调整循环流量大小，并用管夹式流量计反馈进行一个闭环循环系统调整。29.综上设计有效保证整个清洗系统在清洗硅片过程中，没有系统本身的无机物或有机物粘附或析出产生污染硅片的表面，影响硅片表面洁净度的现象，有效保证清洗效果。30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。技术特征：1.hjt制绒清洗机超净清洗系统，包括槽体(1)，其特征在于：所述槽体(1)的材质为高分子塑料，所述槽体(1)槽内部的底部设置有液体匀流分配器(2)；还包括用于所述槽体(1)槽内外部液体超净循环流动的高分子塑料循环管路(3)、气动泵循环动力部件(4)、高分子塑料材质过滤器(5)和石英容器红外辐射间接加热器(6)，所述气动泵循环动力部件(4)、所述高分子塑料材质过滤器(5)、所述石英容器红外辐射间接加热器(6)和所述液体匀流分配器(2)通过所述高分子塑料循环管路(3)依次连通。2.根据权利要求1所述的hjt制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：所述石英容器红外辐射间接加热器(6)中的石英采用高纯石英玻璃。3.根据权利要求1所述的hjt制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：所述气动泵循环动力部件(4)中的气动泵采用高纯高分子塑料材质。4.根据权利要求1-3中任意一项所述的hjt制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：所述高分子塑料循环管路(3)的管道处设置有流量计。5.根据权利要求4所述的hjt制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：所述流量计采用管夹式流量计。6.根据权利要求5所述的hjt制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：还包括比例阀，循环流量通过所述比例阀调整气动泵循环动力部件(4)的通气量来调整循环流量大小，并用所述管夹式流量计反馈进行一个闭环循环系统调整。技术总结本实用新型涉及HJT制绒清洗机超净清洗系统，包括高分子塑料材质的槽体，槽体槽内部的底部设置有液体匀流分配器，还包括用于槽体槽内外部液体超净循环流动的高分子塑料循环管路、气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器和石英容器红外辐射间接加热器，气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器、石英容器红外辐射间接加热器和液体匀流分配器通过高分子塑料循环管路依次连通，有效保证整个清洗系统在清洗硅片时，没有系统本身的无机物或有机物粘附或析出产生污染硅片的表面，影响硅片表面洁净度的现象，有效保证清洗效果。有效保证清洗效果。有效保证清洗效果。技术研发人员：周文彬 李世磊 郑严严 李钊受保护的技术使用者：昆山晟成光电科技有限公司技术研发日：2021.11.15技术公布日：2022/7/28









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