一种半导体硅晶片清洗液用耐压罐加工装置的制作方法

塑料加工应用技术1.本实用新型涉及压力容器相关技术领域，具体为一种半导体硅晶片清洗液用耐压罐加工装置。背景技术：2.在用半导体硅单晶圆片（简称硅晶片）制造集成电路芯片的过程中，每一道制备工序之前都需要对硅晶片进行清洗。传统的硅晶片清洗大多采用的湿法清洗技术，随着湿法清洗技术本身的不断改进和发展，加压雾化喷洒清洗就是湿法清洗技术的发展中已被证明对芯片良率有很大改进的一项技术。3.该设备系统中用于存放化学清洗酸碱液的容器通常用氟塑料制造，需要达到一定的耐压能力，但是氟塑料压力罐的制造通常采用聚四氟乙烯为原料，采用模压法制造，该方法成本较高，且加工设备较为复杂，操作较为繁琐，且成本较高，不适合小批量生产。技术实现要素：4.本实用新型的目的在于提供一种半导体硅晶片清洗液用耐压罐加工装置，以解决上述背景技术中提出的问题。5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体硅晶片清洗液用耐压罐加工装置，包括耐压罐及罐体固定机构；所述耐压罐包括罐体、罐盖、罐底，罐体的顶端设置有罐口，罐口安装在罐盖的中部，罐口的顶端固定有罐口盖，罐口盖上固定有盖罩；所述罐口盖的内侧设置有内垫，罐口上套设有密封圈，罐口与内垫之间设置有安全隔膜；6.所述罐体固定机构包括上端固定箍、底端固定箍和辅助固定箍，上端固定箍固定在罐体上部分的顶端，底端固定箍固定在罐体下部分的底端，辅助固定箍设置在罐体上部分与下部分的连接处；所述底端固定箍的顶端转动连接有连接螺杆，连接螺杆与上端固定箍螺纹连接，连接螺杆的顶端连接有旋转电机；7.所述上端固定箍的上方设置有弧形限位板，弧形限位板的外侧壁固定在墙面上，弧形限位板的底部通过限位滑杆与固定底架固定连接，固定底架与底端固定箍固定连接。8.优选的，所述罐口盖与罐口通过螺纹旋转连接，使得内垫将安全隔膜压紧在密封圈上，起到密封保压的作用。9.优选的，所述罐口与罐盖采用热熔焊接的方式焊接，罐盖与罐体的上部分焊接，罐底与罐体的下部分焊接。10.优选的，所述盖罩与罐口盖之间间隙设置，使得当耐压罐内的压力异常增大时，安全隔膜先行破裂，提供泄压通道，保护其它设备不被损坏。11.优选的，所述上端固定箍、底端固定箍和辅助固定箍均包括固定抱箍、活动抱箍，固定抱箍、活动抱箍之间通过锁紧螺杆和锁紧螺母连接。12.优选的，所述旋转电机固定在弧形限位板的顶端，位于罐体上部分的两个固定箍之间通过连接筒固定连接，位于罐体下部分的两个固定箍之间也通过连接筒固定连接。13.优选的，所述限位滑杆与连接螺杆错开设置，限位滑杆与上端固定箍、底端固定箍和辅助固定箍滑动连接。14.优选的，该耐压罐采用聚丙烯材料替代聚四氟乙烯材料，在大幅降低原料成本的同时，能够很好地满足系统应用的需求。15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：16.1、本实用新型提供的一种半导体硅晶片清洗液用耐压罐加工装置，该耐压罐采用标准管材和板材等进行加工制造，无需定制模具，适合于小批量灵活加工制造操作，降低加工成本，而且该耐压罐采用热熔焊接的方法，加工工序简单，能够保证压力罐的密封和耐压性能。17.2、本实用新型提供的一种半导体硅晶片清洗液用耐压罐加工装置，该耐压罐在加工时采用的罐体定位机构结构简单，操作简便，自动化程度较高，能够实现对耐压罐的快速固定。附图说明18.图1为本实用新型的耐压罐的整体结构示意图；19.图2为本实用新型的罐体固定机构的具体结构示意图；20.图3为本实用新型的上端固定箍的俯视图。21.图中：1、罐口；2、罐盖；3、罐底；4、罐体；5、上端固定箍；6、底端固定箍；7、罐口盖；8、内垫；9、盖罩；10、密封圈；11、安全隔膜；12、辅助固定箍；13、连接螺杆；14、旋转电机；15、锁紧螺杆；16、锁紧螺母；17、弧形限位板；18、固定底架；19、限位滑杆；20、连接筒。具体实施方式22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。23.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。24.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。25.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体硅晶片清洗液用耐压罐加工装置，包括耐压罐及罐体固定机构；耐压罐包括罐体4、罐盖2、罐底3，罐体4的顶端设置有罐口1，罐口1安装在罐盖2的中部，罐口1的顶端固定有罐口盖7，罐口盖7上固定有盖罩9；罐口盖7的内侧设置有内垫8，罐口1上套设有密封圈10，罐口1与内垫8之间设置有安全隔膜11；26.罐体固定机构包括上端固定箍5、底端固定箍6和辅助固定箍12，上端固定箍5固定在罐体4上部分的顶端，底端固定箍6固定在罐体4下部分的底端，辅助固定箍12设置在罐体4上部分与下部分的连接处；底端固定箍6的顶端转动连接有连接螺杆13，连接螺杆13与上端固定箍5螺纹连接，连接螺杆13的顶端连接有旋转电机14；27.上端固定箍5的上方设置有弧形限位板17，弧形限位板17的外侧壁固定在墙面上，弧形限位板17的底部通过限位滑杆19与固定底架18固定连接，固定底架18与底端固定箍6固定连接。28.进一步的，罐口盖7与罐口1通过螺纹旋转连接，使得内垫8将安全隔膜11压紧在密封圈10上，起到密封保压的作用。29.进一步的，罐口1与罐盖2采用热熔焊接的方式焊接，罐盖2与罐体4的上部分焊接，罐底3与罐体4的下部分焊接。30.进一步的，盖罩9与罐口盖7之间间隙设置，使得当耐压罐内的压力异常增大时，安全隔膜11先行破裂，提供泄压通道，保护其它设备不被损坏。31.进一步的，上端固定箍5、底端固定箍6和辅助固定箍12均包括固定抱箍、活动抱箍，固定抱箍、活动抱箍之间通过锁紧螺杆15和锁紧螺母16连接。32.进一步的，旋转电机14固定在弧形限位板17的顶端，位于罐体4上部分的两个固定箍之间通过连接筒20固定连接，位于罐体4下部分的两个固定箍之间也通过连接筒20固定连接。33.进一步的，限位滑杆19与连接螺杆13错开设置，限位滑杆19与上端固定箍5、底端固定箍6和辅助固定箍12滑动连接。34.进一步的，该耐压罐采用聚丙烯材料替代聚四氟乙烯材料，在大幅降低原料成本的同时，能够很好地满足系统应用的需求。35.工作原理：在对该耐压罐进行加工时，将罐体4的上、下部分分别放置在上端固定箍5、底端固定箍6上，将上端固定箍5、底端固定箍6和辅助固定箍12上的固定抱箍、活动抱箍之间通过锁紧螺杆15和锁紧螺母16连接，然后接通旋转电机14的电源，使得旋转电机14带动连接螺杆13旋转，通过连接螺杆13与上端固定箍5的螺纹连接，使其带动上端固定箍5、对应的辅助固定箍12移动至合适的位置。36.将罐口1与罐盖2采用热熔焊接法焊接在一起，罐盖2与罐体4的上部分焊接在一起，罐底3与罐体4的下部分焊接在一起。37.采用热熔对接技术，首先把分别焊接完成的罐体4的上、下两部分的对接面处同时进行铣削加工，使两个端面能够密切贴合；按照选定工艺参数，以设定的温度和加热时间，用加热板对两个端面进行加热，达到设定时间后，取出加热板，按设定的压力压合两个端面，然后自然冷却。38.将罐口盖7与罐口1通过螺纹旋转连接，将密封圈10安装在罐口1上平面的槽内，在罐口1上覆盖安全隔膜11，通过旋紧的罐口盖7使内垫8把安全隔膜11压紧在密封圈10上，起到密封保压的作用；39.将盖罩9固定于罐口盖7之上，盖罩9与罐口盖7之间留有空隙，在耐压罐内的压力异常增大时，安全隔膜11先行破裂，提供泄压通道，保护其它设备不被损坏。40.值得注意的是：整个装置通过控制器对其实现控制，由于控制器为常用设备，属于现有成熟技术，在此不再赘述其电性连接关系以及具体的电路结构。41.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。









图片声明：本站部分配图来自人工智能系统AI生成,觅知网授权图片,PxHere摄影无版权图库。本站只作为美观性配图使用,无任何非法侵犯第三方意图,一切解释权归图片著作权方,本站不承担任何责任。如有恶意碰瓷者,必当奉陪到底严惩不贷!




内容声明：本文中引用的各种信息及资料（包括但不限于文字、数据、图表及超链接等）均来源于该信息及资料的相关主体（包括但不限于公司、媒体、协会等机构）的官方网站或公开发表的信息。部分内容参考包括:(百度百科,百度知道,头条百科,中国民法典,刑法,牛津词典,新华词典,汉语词典,国家院校,科普平台)等数据,内容仅供参考使用,不准确地方联系删除处理！本站为非盈利性质站点,发布内容不收取任何费用也不接任何广告!




免责声明：我们致力于保护作者版权，注重分享，被刊用文章因无法核实真实出处，未能及时与作者取得联系，或有版权异议的，请联系管理员，我们会立即处理，本文部分文字与图片资源来自于网络，部分文章是来自自研大数据AI进行生成,内容摘自(百度百科,百度知道,头条百科,中国民法典,刑法,牛津词典,新华词典,汉语词典,国家院校,科普平台)等数据,内容仅供学习参考,不准确地方联系删除处理!的,若有来源标注错误或侵犯了您的合法权益，请立即通知我们，情况属实，我们会第一时间予以删除，并同时向您表示歉意,谢谢!