输送结构及研磨设备的制作方法 专利技术说明

金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术1.本实用新型涉及精密仪器设备技术领域，特别是涉及输送结构及研磨设备。背景技术：2.化学机械抛光(cmp)是集成电路制造过程中实现晶圆表面平坦化的关键工艺。与传统的纯机械或纯化学的抛光方法不同，cmp工艺是通过表面化学作用和机械研磨的技术结合来实现晶圆表面微米/纳米级不同材料的去除，从而达到晶圆表面纳米级平坦化，使下一步的光刻工艺得以进行。而输送作为化学试剂的研磨液需要通过cmp上的输送结构，输送结构的尺寸对应晶圆的尺寸进行设置，因此需要储备多种尺寸的输送结构，增大了企业的使用成本。技术实现要素：3.基于此，有必要针对上述问题，提供一种能够根据晶圆尺寸进行调节的输送结构及研磨设备。4.一种输送结构，所述输送结构包括输送件，所述输送件上形成有输送通道，所述输送通道贯穿所述输送件的两侧形成有输入口和输出口，所述输送件上还开设有与所述输送通道相连通的流出口，所述流出口位于所述输入口和所述输出口之间，所述输送件的数量为至少两个，一所述输送件可拆卸地连接在另一所述输送件上，其中至少一所述输送件的所述输入口或所述流出口用于输入研磨液，所述输出口与另一所述输送件的输入口相连通，另一所述流出口用于输出研磨液。5.在一个实施例中，所述输入口处开设有连接槽，所述输出口出形成有连接凸起，其中一所述输送件的连接凸起能够卡设在另一所述输送件的连接槽内，以使一所述输送件的所述输出口与另一所述输送件的所述输入口相连通。6.在一个实施例中，所述连接凸起的数量为至少两个，至少两个所述连接凸起沿所述输出口的外沿周向间隔设置，所述连接槽的数量对应所述连接凸起的数量间隔设置。7.在一个实施例中，所述连接凸起为环状凸起，环状的所述连接凸起沿所述输出口的边缘设置，所述连接槽的形状与所述连接凸起的形状相适配。8.在一个实施例中，所述输送件为圆柱状结构件、矩形结构件或弧形结构件。9.在一个实施例中，所述输送件为柔性结构件，所述输送件受力能够发生弹性形变。10.在一个实施例中，所述输送件的数量为多个，相邻两个所述输送件的所述输入口和所述输出口相连通，其中位于首端的所述输送件的输入口和位于尾端的所述输送件的输出口相连通，以使多个所述输送件形成圆环状结构，其中一所述输送件的所述流出口用于输入研磨液，其他所述输送件的所述流出口用于输出研磨液。11.一种研磨设备，所述研磨设备包括安装件和如上所述的输送结构，所述安装件上形成有输出通道，所述输出通道用于输出研磨液；所述输送结构安装在所述安装件上，所述输出通道通过所述输入口或所述流出口与所述输送通道相连通。12.在一个实施例中，所述输出通道的数量为至少两个，至少两个所述输出通道在所述安装件上间隔设置，所述输送结构的数量对应所述输出通道设置，每一所述输出通道均能够通过一所述输送结构的所述输送通道相连通。13.在一个实施例中，所述输送结构的数量为至少两个，相邻两个所述输送结构的所述输送通道长度不一致，以使任一所述输送结构上的所述流出口用于对位于晶圆上的不同位置。14.上述输送结构及研磨设备，至少两个输送件可拆卸地连接，其中一个输出口与另一个输入口相连通。其中一个输送件的通过输入口或流出口与安装件上的输出通道相连通，输出通道输出研磨液，研磨液通过输入口或流出口流向一个输送件的输送通道内，再有输送通道通过输出口流向另一个输送件的输入口，然后由流出口流出。输送件之间可拆卸使得输送结构整体的长度可调节，使得流出口能够对应晶圆的不同位置，由此将研磨液输送至晶圆上的不同位置或者使输送结构能够适用于不同尺寸的晶圆。进一步提高了输送结构的应用范围、实用性和可靠性。输送结构能够根据不同的晶圆尺寸在输送件之间进行拆装组合，调节流出口的位置，也降低了企业使用成本。附图说明15.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。16.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。17.图1为一实施例中的输送结构的结构示意图；18.图2为一实施例中的安装件的结构示意图。19.图中各元件标记如下：20.100、输送结构；110、输送件；111、连接凸起；112、连接槽；113、流出口；200、安装件；210、输出通道。具体实施方式21.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。22.参阅图1和图2，一实施例中的研磨设备，所述研磨设备包括输送结构100和安装件200，所述安装件200上形成有输出通道210，所述输出通道210用于输出研磨液；所述输送结构100安装在所述安装件200上。所述输送结构100包括输送件110，所述输送件110上形成有输送通道，所述输送通道贯穿所述输送件110的两侧形成有输入口和输出口，所述输送件110上还开设有与所述输送通道相连通的流出口113，所述流出口113位于所述输入口和所述输出口之间，所述输送件110的数量为至少两个，一所述输送件110可拆卸地连接在另一所述输送件110上，其中至少一所述输送件110的所述输入口或所述流出口113用于输入研磨液，所述输出口与另一所述输送件110的输入口相连通，另一所述流出口113用于输出研磨液。所述输出通道210通过所述输入口或所述流出口113与所述输送通道相连通。23.至少两个输送件110可拆卸地连接，其中一个输出口与另一个输入口相连通。其中一个输送件110的通过输入口或流出口113与安装件200上的输出通道210相连通，输出通道210输出研磨液，研磨液通过输入口或流出口113流向一个输送件110的输送通道内，再有输送通道通过输出口流向另一个输送件110的输入口，然后由流出口113流出。输送件110之间可拆卸使得输送结构100整体的长度可调节，使得流出口113能够对应晶圆的不同位置，由此将研磨液输送至晶圆上的不同位置或者使输送结构100能够适用于不同尺寸的晶圆。进一步提高了输送结构100的应用范围、实用性和可靠性。输送结构100能够根据不同的晶圆尺寸在输送件110之间进行拆装组合，调节流出口113的位置，也降低了企业使用成本。24.在一个实施例中，所述输出通道210的数量为至少两个，至少两个所述输出通道210在所述安装件200上间隔设置，所述输送结构100的数量对应所述输出通道210设置，每一所述输出通道210均能够通过一所述输送结构100的所述输送通道相连通。由此能够进一步提高研磨液的输出量。也可以将不同输送结构100上的流出口113对应于不同的晶圆，进一步提高输送结构100的效率和实用性。25.在一个实施例中，所述输送结构100的数量为至少两个，相邻两个所述输送结构100的所述输送通道长度不一致，以使任一所述输送结构100上的所述流出口113用于对位于晶圆上的不同位置。输送结构100的长度不同或者输送通道的长度不同，可以使得流出口113对位于晶圆上的不同位置，或者对应适用于不同尺寸的晶圆。避免了将输送结构100从安装件200上拆卸下来再进行组合的步骤，进一步提高了输送结构100的使用便捷性和实用性。26.在一个实施例中，所述输入口处开设有连接槽112，所述输出口出形成有连接凸起111，其中一所述输送件110的连接凸起111能够卡设在另一所述输送件110的连接槽112内，以使一所述输送件110的所述输出口与另一所述输送件110的所述输入口相连通。连接槽112和连接凸起111配合使得两个输送件110能够可拆卸地进行连接，并使一输送件110的输出口与另一输送件110的输入口相连通，进一步提高了输送结构100的可靠性和实用性。27.在一个实施例中，所述连接凸起111的数量为至少两个，至少两个所述连接凸起111沿所述输出口的外沿周向间隔设置，所述连接槽112的数量对应所述连接凸起111的数量间隔设置。至少两个连接凸起111和连接槽112之间配合，能够进一步提高两个输送件110之间的接触面积，进而保证两个输送件110之间的连接稳定性。同时至少两个连接凸起111还具有安装定位的作用。28.在一个实施例中，至少两个所述连接凸起111呈轴对称设置。连接槽112的开设和连接凸起111对应设置。由此，当不需要其中某些流出口113输出研磨液时可以将其中的输送件110的流出口113朝上设置，而需要流出研磨液的输送件110的流出口113朝下设置。更加便于输送件110的安装和使用。29.在一个实施例中，所述连接凸起111为环状凸起，环状的所述连接凸起111沿所述输出口的边缘设置，所述连接槽112的形状与所述连接凸起111的形状相适配。环状的连接凸起111和连接槽112能够进一步提高两个输送件110之间的接触面积，进而保证两个输送件110之间的连接稳定性。当不需要其中某些流出口113输出研磨液时，可以转动输送件110，使其流出口113朝上设置，而需要流出研磨液的输送件110的流出口113朝下设置。更加便于输送件110的安装和使用。进一步提高了输送件110的使用便捷性。30.在一个实施例中，所述输送件110为圆柱状结构件、矩形结构件或弧形结构件。可选地，输送件110的形状可以根据实际情况进行替换和改变。并不局限于本实施例中的形状。31.在一个实施例中，所述输送件110为柔性结构件，所述输送件110受力能够发生弹性形变。由此，输送件110可以根据实际情况需要进行形变，进一步提高了输送结构100的可靠性和实用性。32.在一个实施例中，所述输送件110的数量为多个，相邻两个所述输送件110的所述输入口和所述输出口相连通，其中位于首端的所述输送件110的输入口和位于尾端的所述输送件110的输出口相连通，以使多个所述输送件110形成圆环状结构，其中一所述输送件110的所述流出口113用于输入研磨液，其他所述输送件110的所述流出口113用于输出研磨液。当多个输送件110首尾相连形成圆环状结构时，即输送结构100为圆环状结构，则其中一个流出口113用于和输出通道210相连通，并向输送通道内输送研磨液，研磨液经其他流出口113流出。进一步提高了输送结构100的实用性，拓宽了输送结构100的使用范围。需要说明的是，多个输送件110上的任一流出口113均可以与输出通道210相连通。进一步，若存在多个输出通道210，则可以有多个流出口113与多个输出通道210一一对应相连通。33.在一个实施例中，所述输送件110的数量为两个，两个所述输送件110均为半圆弧状结构。由此使得两个输送件110也能够形成圆环状结构。34.在其他实施例中，也可以存在一些输送件110上未开设流出口113。35.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。36.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。37.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。38.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接抵触，或第一和第二特征通过中间媒介间接抵触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。39.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。40.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。41.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。









图片声明：本站部分配图来自人工智能系统AI生成,觅知网授权图片,PxHere摄影无版权图库。本站只作为美观性配图使用,无任何非法侵犯第三方意图,一切解释权归图片著作权方,本站不承担任何责任。如有恶意碰瓷者,必当奉陪到底严惩不贷!




内容声明：本文中引用的各种信息及资料（包括但不限于文字、数据、图表及超链接等）均来源于该信息及资料的相关主体（包括但不限于公司、媒体、协会等机构）的官方网站或公开发表的信息。部分内容参考包括:(百度百科,百度知道,头条百科,中国民法典,刑法,牛津词典,新华词典,汉语词典,国家院校,科普平台)等数据,内容仅供参考使用,不准确地方联系删除处理！本站为非盈利性质站点,发布内容不收取任何费用也不接任何广告!




免责声明：我们致力于保护作者版权，注重分享，被刊用文章因无法核实真实出处，未能及时与作者取得联系，或有版权异议的，请联系管理员，我们会立即处理，本文部分文字与图片资源来自于网络，部分文章是来自自研大数据AI进行生成,内容摘自(百度百科,百度知道,头条百科,中国民法典,刑法,牛津词典,新华词典,汉语词典,国家院校,科普平台)等数据,内容仅供学习参考,不准确地方联系删除处理!的,若有来源标注错误或侵犯了您的合法权益，请立即通知我们，情况属实，我们会第一时间予以删除，并同时向您表示歉意,谢谢!