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一种测试台、测试头结构组件的制作方法 专利技术说明

作者:admin      2023-06-28 13:56:21     848



测量装置的制造及其应用技术1.本实用新型涉及测试台、测试头技术领域,尤其是一种测试台、测试头结构组件。背景技术:2.在功率半导体器件研发过程中或器件出厂测试试验中,通常会做一些测试试验。在试验时需要把器件与设备连接到一起,通常一台设备需要测试多种器件,并且还要匹配其它设备来完成量产型器件测试。3.传统的测试头和测试台连接时,会出现以下问题:4.1、连接效果差,容易出现松动的情况,影响测试的精度;5.2、而若要保证连接效果好,则连接结构复杂,会出现测试头更换不便的问题;6.3、测试台设计过厚,导致寄生电感增加,在测试设备中,待测期间通常从测试台下面,通过测试头与测试机完成电气连接,如果测试台设计的很“厚”,会增加电信号的“路程”,从而增加寄生电感。7.为此,我们提出一种测试台、测试头结构组件。技术实现要素:8.本技术人针对上述现有生产技术中的缺点,提供一种测试台、测试头结构组件,测试头和测试台连接效率高效果好,测试台具有扁平化、操作省力、操作方便及低寄生电感功能,测试头具有更换方便、高互换性功能。9.本实用新型所采用的技术方案如下:10.一种测试台、测试头结构组件,包括测试台,和可拆卸的连接在测试台上的测试头;11.所述测试头的端部连接有探针塔顶板,测试头的两端侧壁上均连接有至少两个凸轮轴承,同时在测试头的底部连接有轴套;12.所述测试台包括探针限位板,以及卡接在探针限位板上并与探针塔顶板接触完成电气连接的探针塔;13.所述探针限位板的侧壁上连接有两个平行的侧板,两个侧板上均连接有滑板,两个滑板上连接有对测试头进行定位的定位销安装板;14.所述侧板的上端还开设有多个与凸轮轴承相适配的滑轨槽;15.还包括驱动结构,所述驱动结构能够控制侧板和滑板之间的相对移动,并使测试头与测试台断开或闭合。16.其进一步特征在于:17.所述探针限位板上设置有对探针塔进行限位的凸起结构,使探针塔不能移动。18.两个所述侧板位于探针塔的两端。19.所述定位销安装板上连接有与轴套相对应并用于限位的定位销。20.所述驱动结构包括设置在侧板端部的连接件,连接件上转动连接有手柄,且手柄上转动连接有第二连杆,且第二连杆的另一端转动连接有第三连杆,且第三连杆与滑板转动连接。21.两个手柄的侧壁上分别通过曲柄连接有同一个第一连杆,实现两侧的驱动机构同步工作。22.所述连接件上插接有限制手柄转动的分度销。23.所述手柄上还设置有可以拆卸的手柄延长杆。24.本实用新型的有益效果如下:25.本实用新型结构紧凑、合理,操作方便,在测试设备中引入一种特殊的测试头、测试台,测试头和测试台连接效率高效果好,测试台具有扁平化、操作省力、操作方便及低寄生电感功能,测试头具有更换方便、高互换性功能。26.同时,本实用新型还具备如下优点:27.(1)扁平化结构设计:把旋转运动通过多连杆转为直线运动,结构紧凑,不占用空间。28.(2)操作方便:用三个动作可实现可靠的电气连接(放下测试头、推动手柄延长杆和旋转分度销)。29.(3)“省力”的结构设计:合理的结构设计,旋转动作的结构与不同尺寸连杆的设计及加强杆的设计,实现用较小的旋转力形成较大的推动力,且有自锁功能。通过第三连杆、第二连杆及手柄延长杆的长度设计,使动力臂远远大于阻力臂,达到省力的目的,且完成“闭合位”的动作后,反向力矩为0,故有自锁功能。30.(4)互换性能提高:通过测试头凸轮轴轴承、轴套和测试台的定位销、滑轨槽结构来保证配合精度,提高测试头与测试台的配合可靠性,可实现一个测试台匹配多种测试头的结构。31.(5)寄生电感较低的结构设计:通过扁平紧凑的结构设计,减少电气连接上的寄生电感。附图说明32.图1为本实用新型的结构示意图。33.图2为本实用新型测试台的结构示意图。34.图3为本实用新型测试头的结构示意图。35.图4为本实用新型测试头另一个视角的结构示意图。36.图5为本实用新型测试台和测试头断开状态下结构示意图。37.图6为本实用新型测试台和测试头闭合状态下结构示意图。38.其中:39.1、测试台;2、测试头;40.101、探针限位板;102、探针塔;103、定位销;104、定位销安装板;105、侧板;106、分度销;107、第一连杆;108、手柄;109、第二连杆;110、第三连杆;111、滑板;112、手柄延长杆;113、滑轨槽;41.201、探针塔顶板;202、凸轮轴承;203、轴套。具体实施方式42.下面结合附图,说明本实用新型的具体实施方式。43.如图1-图6所示,本实施例的特殊的测试台、测试头结构组件,包括测试台1,和可拆卸的连接在测试台1上的测试头2;44.测试头2的端部连接有探针塔顶板201,测试头2的两端侧壁上均连接有至少两个凸轮轴承202,同时在测试头2的底部连接有轴套203;45.测试台1包括探针限位板101,以及卡接在探针限位板101上并与探针塔顶板201接触完成电气连接的探针塔102;46.探针限位板101的侧壁上连接有两个平行的侧板105,两个侧板105上均连接有滑板111,两个滑板111上连接有对测试头2进行定位的定位销安装板104;47.侧板105的上端还开设有多个与凸轮轴承202相适配的滑轨槽113;48.还包括驱动结构,驱动结构能够控制侧板105和滑板111之间的相对移动,并使测试头2与测试台1断开或闭合。49.探针限位板101上设置有对探针塔102进行限位的凸起结构,使探针塔102不能移动。50.两个侧板105位于探针塔102的两端。51.定位销安装板104上连接有与轴套203相对应并用于限位的定位销103。52.驱动结构包括设置在侧板105端部的连接件,连接件上转动连接有手柄108,且手柄108上转动连接有第二连杆109,且第二连杆109的另一端转动连接有第三连杆110,且第三连杆110与滑板111转动连接。53.两个手柄108的侧壁上分别通过曲柄连接有同一个第一连杆107,实现两侧的驱动机构同步工作。54.连接件上插接有限制手柄108转动的分度销106。55.手柄108上还设置有可以拆卸的手柄延长杆112。56.测试台1的主要结构如图2所示,包括如下部件:57.探针限位板101:探针限位板101固定连接在主机上,探针限位板101上设置有对探针塔102进行限位的凸起结构,使探针塔102不能移动。58.探针塔102:连接在探针限位板101上同时与测试头2上的探针塔顶板201相接触,完成电气连接。59.两个侧板105:两个侧板105平行连接在探针限位板101位于探针塔102两端的侧壁上,两个侧板105相背的一侧均通过滑轨连接有滑板111,两个滑板111的下端连接有同一个定位销安装板104。60.定位销安装板104:用于安装定位销103;61.定位销103:与测试头2的轴套203配合,起定位作用。62.滑轨槽113:与测试头2凸轮轴承202配合,测试头2通过定位销103插入测试台1后,轴承与滑轨槽113紧密配合,完成前后运动动作。63.手柄108:使用手柄延长杆112插入手柄108中,推/拉手柄延长杆112,可以通过第三连杆110、第二连杆109、第一连杆107来最终实现定位销安装板104的前后运动(测试台1的断开位/闭合位)。64.分度销106:对手柄108进行限位,当定位销安装板104到达指定位置后,旋转分度销106,自动锁紧,使定位销安装板104无法移动。65.测试头2的主要结构如图3和图4所示,包括如下部件:66.凸轮轴承202:与测试台1滑轨槽113配合零件,测试头2安装好后,可通过凸轮轴承202与滑轨槽113配合,实现测试头2的前后移动(探针塔102与探针塔顶板201的断开位/闭合位)。67.轴套203:测试头2通过轴套203与测试台1的定位销103配合,使测试头2与测试台1精准定位。68.探针塔顶板201:测试头2与测试台1探针塔102连接零件,通过测试台1的断开位/闭合位来实现电气连接的断开/闭合。69.设备的测试台1与测试头2为分离式结构,每台设备可匹配多款测试头2,用于不同器件的测试。在安装时,首先测试台1处于断开位,将测试头2垂直放到测试台1上,测试头2的轴套203与测试台1的定位销103紧密配合(定位销103有导向功能)后,测试头2的凸轮轴嵌入测试台1的滑轨槽113内,且凸轮轴承202搭接在滑轨槽113内凹台上,如图5所示,此时,测试台1仍处于“断开位”,测试头2未与测试台1发生电气连接。将手柄延长杆112插入手柄108中,推动手柄108,通过第三连杆110、第二连杆109、第一连杆107的联动实现定位销安装板104向前运动,同时拉动测试头2向前运动,测试头2的凸轮轴承202滑入测试台1滑轨槽113,完成电气连接(探针塔102与探针塔顶板201连接),此时测试台1处于“闭合位”,如图6所示。最后,旋转分度销106,自动锁紧定位销安装板104,防止测试头2前后移动。70.扁平化结构设计:把旋转运动通过多连杆转为直线运动,结构紧凑,不占用空间。71.操作方便:用三个动作可实现可靠的电气连接(放下测试头2、推动手柄延长杆112和旋转分度销106)。[0072]“省力”的结构设计:合理的结构设计,旋转动作的结构与不同尺寸连杆的设计及加强杆的设计,实现用较小的旋转力形成较大的推动力,且有自锁功能。通过第三连杆110、第二连杆109及手柄延长杆112的长度设计,使动力臂远远大于阻力臂,达到省力的目的,且完成“闭合位”的动作后,反向力矩为0,故有自锁功能。[0073]互换性能提高:通过测试头2凸轮轴轴承、轴套203和测试台1的定位销103、滑轨槽113结构来保证配合精度,提高测试头2与测试台1的配合可靠性,可实现一个测试台1匹配多种测试头2的结构。[0074]寄生电感较低的结构设计:通过扁平紧凑的结构设计,减少电气连接上的寄生电感。在测试设备中,待测期间通常从测试台1下面,通过测试头2与测试机完成电气连接,如果测试台1设计的很“厚”,会增加电信号的“路程”,从而增加寄生电感。[0075]在测试设备中引入一种特殊的测试头2、测试台1。测试头2和测试台1连接效率高效果好,测试台1具有扁平化、操作省力、操作方便及低寄生电感功能,测试头2具有更换方便、高互换性功能。[0076]以上描述是对本实用新型的解释,不是对实用新型的限定,本实用新型所限定的范围参见权利要求,在本实用新型的保护范围之内,可以作任何形式的修改。









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