一种控温组件及衬底处理设备的制作方法

电气元件制品的制造及其应用技术1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种控温组件及具有该控温组件的衬底处理设备。背景技术：2.衬底处理设备是常用的薄膜沉积设备，常见的如气相沉积设备(cvd)、外延设备等，在这些设备中通常设有加热装置和石英罩壳形成的反应腔；其中加热装置由多盏卤素加热灯及反射板组成，用于对反应腔中的衬底(或称晶圆)进行辐射加热，以在衬底的表面形成沉积薄膜。加热过程中，衬底的温度高达1200℃，其他部件(例如加热灯、反射板和反应腔等)的温度则会间接性地达到700℃以上；由于反应腔内填充的工艺气体中包括氢气这一易燃易爆的危险气体，为保证腔室内的安全性，通常采用控温组件(如水冷盘)对除衬底外的其他高温部件(例如反射板和反应腔等)进行冷却。3.控温组件(如水冷盘)内一般开设有冷却通路，用于通入冷却液给高温部件(或称待冷却部件)降温；当控温组件设置于高温部件表面时，冷却通路可以通过热传导的方式对高温部件进行降温冷却或控温。将控温组件安装在衬底处理设备之前，通常会对控温组件的冷却通路进行水压试验及测漏试验，以确保控温组件强度的可靠性及不存在漏水现象。然而，在长期使用过程中，控温组件仍会出现以下问题：1、由于控温组件一般采用紫铜材料加工制备，冷却通路中的冷却液会对紫铜造成腐蚀作用，致使控温组件生锈及强度可靠性降低；2、在衬底处理设备进行沉积工艺过程中，控温组件内部具有一定的液压，而且控温组件本身也存在较大的温度波动，液压和温度的变化会使得控温组件产生一定的交变应力，较大的交变应力则会降低控温组件的疲劳强度，其中接缝处(通常采用焊接连接)成为最危险的地方。上述问题导致现有的控温组件存在极大的漏液风险，在控温组件漏液时往往无法进行及时的检测，一旦泄露的冷却液流至加热灯、石英罩壳反应腔上，轻则使加热灯报废、石英罩壳发生碎裂，重则发生腔室爆炸，造成安全事故。因此，有必要对控温组件的结构进行改进或调整。技术实现要素：4.本发明的目的在于提供一种控温组件及衬底处理设备，通过冷却通路可以对待冷却部件降温，同时通过密封件可以将冷却通路与外部密封隔绝，以防止泄露的冷却液流至加热灯或反应腔上而造成安全事故。5.为了达到上述目的，本发明通过以下技术方案实现：6.一种控温组件，用于控制衬底处理设备的待冷却部件的温度，包括：7.控温组件本体，其包括设置于控温组件本体上的冷却通路，所述冷却通路中通有冷却液，用于对所述待冷却部件降温；8.密封件，所述密封件至少部分地覆盖所述冷却通路，用于将被覆盖处的冷却通路与外部密封隔绝。9.优选地，所述控温组件，还包括：第一容纳空间，所述第一容纳空间位于所述控温组件本体和所述密封件之间，用于在所述控温组件本体发生漏液时存储泄漏的冷却液。10.优选地，所述控温组件，还包括：导管，所述导管的一端设置于所述密封件上，与所述第一容纳空间连通，用于将泄漏的冷却液导出。11.优选地，所述控温组件，还包括：承接容器，通过引流管与所述导管的另一端连通，以使所述第一容纳空间内存储的冷却液流入所述承接容器。12.优选地，所述控温组件，还包括：漏液传感器，设置于所述密封件、所述导管、所述引流管及所述承接容器至少一者上，用于检测所述控温组件本体是否发生泄漏。13.优选地，所述控温组件本体包括：底板，所述底板包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，且所述第二表面为靠近所述待冷却部件的一面；所述密封件设置于所述底板的第一表面上。14.优选地，所述密封件通过紧固件设置于所述底板上。15.优选地，所述紧固件为螺钉。16.优选地，所述冷却通路包括盖板，设置于所述底板的第一表面上；所述盖板与所述底板之间形成第二容纳空间，且所述第二容纳空间内通有所述冷却液。17.优选地，所述密封件覆盖在所述盖板的外侧。18.优选地，所述控温组件本体为环状的板；所述密封件为环状，所述密封件的横截面为“凹”状。19.优选地，所述密封件与所述控温组件本体抵接处设置有密封圈。20.优选地，所述控温组件本体还包括：21.进液管，与所述冷却通路的进口连通，用于向所述冷却通路注入冷却液；22.出液管，与所述冷却通路的出口连通，用于将所述冷却通路中的冷却液导出，以使冷却液在所述冷却通路的进口和出口之间流动。23.优选地，所述密封件还包括两个贯通孔，所述贯通孔用于密封地让所述进液管与所述出液管穿过。24.优选地，所述盖板通过焊接的方式与所述底板连接。25.优选地，所述冷却液为水。26.另一方面，本发明还提供一种衬底处理设备，包括：27.反应腔，其用于容纳衬底，并对所述衬底进行处理；28.加热装置，设置于所述反应腔上方和/或下方，用于加热所述衬底；29.待冷却部件，所述待冷却部件为接收所述加热装置的热量的部件；30.如上述的控温组件，用于控制所述待冷却部件的温度。31.优选地，所述加热装置包括：加热灯及反射板，所述反射板用于反射所述加热灯的热辐射至所述反应腔内；所述待冷却部件为反射板，且所述控温组件设置在所述反射板上。32.本发明与现有技术相比至少具有以下优点之一：33.本发明提供的一种控温组件及衬底处理设备，设置于控温组件本体上的冷却通路中通有冷却液，可以对待冷却部件降温；至少部分地覆盖在冷却通路上的密封件可以将被覆盖处的冷却通路与外部密封隔绝，从而能够对控温组件本体泄露的冷却液进行密封，进而防止泄露的冷却液流至加热灯或反应腔上而造成安全事故。34.本发明中密封件可以覆盖在冷却通路的盖板的外侧，以对控温组件本体上的接缝进行密封，从而实现冷却通路与外部的密封隔绝，进而在控温组件本体发生漏液时，能够将泄漏的冷却液密封于由密封件、底板和盖板形成的第一容纳空间内，以防止泄露的冷却液流至加热灯或反应腔上造成安全事故。35.本发明中密封件通过紧固件固定于底板上，可以避免传统焊接固定方式中出现的接缝，以保证第一容纳空间的密封性和可靠性；同时，密封件与底板的抵接处设置有密封圈，可以进一步保证第一容纳空间的密封性和可靠性。36.本发明中通过设置于密封件、导管、引流管及承接容器至少一者上的漏液传感器可以及时地检测出控温组件本体是否发生泄漏，从而能够提醒工作人员对发生泄露的控温组件进行及时更换，进而提高衬底处理设备的安全性和可靠性。附图说明37.图1是本发明一实施例提供的一种衬底处理设备的结构示意图；38.图2是本发明一实施例提供的一种衬底处理设备中加热装置及控温组件的结构示意图；39.图3是本发明一实施例提供的一种控温组件中控温组件本体的结构示意图；40.图4是本发明一实施例提供的控温组件本体的局部剖面示意图；41.图5是本发明一实施例提供的一种控温组件的剖面示意图；42.图6是本发明一实施例提供的一种控温组件的局部剖面示意图；43.图7是本发明一实施例提供的一种控温组件的结构示意图；44.图8是本发明又一实施例提供的一种控温组件的结构示意图。具体实施方式45.以下结合附图和具体实施方式对本发明提出的一种控温组件及衬底处理设备作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需要说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施方式的目的。为了使本发明的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。46.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。47.结合附图1～8所示，本实施例提供一种控温组件及衬底处理设备，所述衬底处理设备包括：反应腔，其用于容纳衬底104，并对所述衬底104进行处理；加热装置101，设置于所述反应腔上方和/或下方，用于加热所述衬底104；待冷却部件，所述待冷却部件为接收所述加热装置101的热量的部件；控温组件200，用于控制所述待冷却部件的温度。48.具体的，如图1所示，所述反应腔可以由上穹顶116、上内衬100、下穹顶108和下内衬112围封形成；所述反应腔内设有基座105，用于承载所述衬底104；所述加热装置101可以采用红外加热的方式对所述衬底104进行辐射加热，以将所述衬底104加热至预设工艺温度；且所述衬底104的温度可以通过测温仪102进行检测。工艺气体114通过进气口113通入所述反应腔内，以在所述衬底104的表面反应形成沉积薄膜；且沉积反应过程中的多余气体可以通过排气口106排出所述反应腔。此外，为了使通入所述反应腔的工艺气体114尽快加热到反应温度，可以在所述进气口113处设置预热环115，以对工艺气体114提前加热，从而提高衬底处理效率。优选地，所述预热环115设置于所述下内衬112靠近所述上内衬100的一端；所述反应腔可以通过上法兰103和下法兰107固定。在本实施例中，所述上穹顶116、所述上内衬100、所述下穹顶108和所述下内衬112皆可以采用石英制备。所述基座105可以采用石墨制备，且所述基座105通过旋转支撑轴109实现旋转和升降，在基座105下降时，销111与支撑支架110支撑起衬底104，方便机械手取出衬底104。49.请同时参考图1和图2，所述加热装置101包括：加热灯及反射板，所述反射板用于反射所述加热灯的热辐射至所述反应腔内；作为一可选的实施方式，所述待冷却部件为反射板，即：所述控温组件设置在所述反射板上。50.具体的，如图2所示，所述加热装置101包括加热灯及反射板，其中的加热灯可以呈圆周分布；且沿直径较小的圆周分布的若干个加热灯记为内圈灯组1011，沿直径较大的圆周分布的若干个加热灯记为外圈灯组1012。所述内圈灯组1011对应设置有内圈反射板1013，所述外圈灯组1012对应设置有外圈反射板1014，所述内圈反射板1013和所述外圈反射板1014可以将对应灯组的热辐射反射至所述反应腔内，以提高对应灯组的热辐射利用率，从而实现对所述反应腔内所述衬底104的快速加热。优选地，所述加热灯为卤素灯，但本发明不以此为限。51.更具体的，所述内圈反射板1013和所述外圈反射板1014在将对应灯组的热辐射反射至所述反应腔内时，所述内圈反射板1013和所述外圈反射板1014自身也会吸收一定的热辐射，使得其自身温度升高；此时所述控温组件200可以分别设置于所述内圈反射板1013远离所述内圈灯组1011的表面上以及所述外圈反射板1014远离所述外圈灯组1012的表面上，以对所述内圈反射板1013和所述外圈反射板1014进行降温冷却或控温处理，保证所述反应腔的安全性；对应地，所述内圈反射板1013和所述外圈反射板1014则为所述待冷却部件，但本发明不以此为限。52.在其他实施例中，可选的，所述待冷却部件不一定为反射板，也可以是其他需要降温或控温的部件，例如上法兰103、下法兰107、进气口113或排气口106，即：控温组件可以设置在上法兰103、下法兰107、进气口113或排气口106上，以对其进行降温或温度控制，以进一步保证所述反应腔的安全性。53.在本实施例中，所述控温组件200还具有防泄露功能和漏液检测功能，既能够避免泄露的冷却液流至所述加热灯或所述反应腔上而造成安全事故，还能够提醒工作人员对发生泄露的控温组件进行及时更换，从而提高所述衬底处理设备的安全性和可靠性，但本发明不以此为限。54.对于控温组件200，具体的，结合附图2～8所示，以待冷却部件为反射板为例。所述控温组件200用于控制衬底处理设备的待冷却部件的温度，且所述控温组件200包括：控温组件本体210，其包括设置于控温组件本体210上的冷却通路，所述冷却通路中通有冷却液，用于对所述待冷却部件降温；密封件220，所述密封件220至少部分地覆盖所述冷却通路，用于将被覆盖处的冷却通路与外部密封隔绝。55.请同时参考图5-8，所述的控温组件，还包括：第一容纳空间，所述第一容纳空间位于所述控温组件本体210和所述密封件220之间，用于在所述控温组件本体210发生漏液时存储泄漏的冷却液。56.对于控温组件本体210，具体的，如图3-4所示，所述控温组件本体210包括：底板2101；可选的，所述控温组件本体210大致为环形的板，所述底板2101大致为环形的板；所述底板2101包括第一表面21011和与所述第一表面相对的第二表面21012，且所述第二表面为靠近或接触所述待冷却部件的一面；所述密封件220设置于所述底板2101的第一表面上。所述冷却通路包括盖板2102及第二容纳空间，所述盖板设置于所述底板2101的第一表面21011上；所述盖板2102与所述底板2101之间形成第二容纳空间，且所述第二容纳空间内通有所述冷却液。可选的，所述底板的第一表面上设有凹槽2109，所述凹槽2109和盖板2102之间形成了所述第二容纳空间，可选的，所述凹槽2109为沿着底板2101的环形板的第一表面延申，大致呈“c”字状，因此，盖板2102同样呈“c”字状，从而完全覆盖所述凹槽2109。57.在本实施例中，所述控温组件本体210还包括：进液管2103，与所述冷却通路的进口连通，用于向所述冷却通路注入冷却液；出液管2104，与所述冷却通路的出口连通，用于将所述冷却通路中的冷却液导出，以使冷却液在所述冷却通路的进口和出口之间流动。58.具体的，所述控温组件本体210中所述底板2101的第二表面可以设置于所述待冷却部件上，第一表面则可以与所述冷却通路中所述盖板2102固定连接，使得所述盖板2102与所述底板2101之间可以形成用于容置冷却液的所述第二容纳空间。所述进液管2103和所述出液管2104分别贯穿所述盖板2102与所述第二容纳空间连通，则通过所述进液管2103可以持续向所述第二容纳空间注入所述冷却液，同时通过所述出液管2104可以持续将所述第二容纳空间的冷却液导出，使得所述冷却液在所述第二容纳空间内可以沿固定路径即所述冷却通路进口至出口路径进行持续流动，从而使得流动的冷却液可以通过热传导的方式持续吸收所述待冷却部件上的热量，进而实现对所述待冷却部件的快速降温冷却，另外，通过控制通入冷却液的温度和流量，还可以实现控温。优选地，所述冷却液为水，但本发明不以此为限。59.更具体的，如图3-4所示，所示冷却通路还包括接缝(即：第一接缝2105、第二接缝2106、第三接缝和第四接缝)。所述盖板2102通过焊接的方式与所述底板2101连接，则所述盖板2102和所述底板2101之间会存在位于盖板2102两侧的第一接缝2105和第二接缝2106，以及位于盖板2102两端部的第三接缝和第四接缝，第一接缝2105、第二接缝2106、第三接缝和第四接缝共同形成了“c”字形轮廓。所述进液管2103和所述出液管2104同样常采用焊接的方式与所述盖板2102固定连接，可选的，所述进液管2103和所述出液管2104位于盖板两端部附近；则所述进液管2103、所述出液管2104和所述盖板2102之间会存在第五接缝2107和第六接缝2108。由于所述冷却通路中所述冷却液对所述底板2101和所述盖板2102存在腐蚀作用以及所述冷却液液压和温度的变化会影响所述底板2101和所述盖板2102的疲劳强度，则在所述控温组件本体210长期使用过程中，冷却通路附近的底板2101和盖板2102强度降低，会有泄漏的风险，特别是第一接缝2105、第二接缝2106、第三接缝、第四接缝和第五接缝2107、第六接缝2108处，这种风险会更高。而在本实施例中，设置于所述底板2101的第一表面上的所述密封件220可以至少部分地覆盖所述冷却通路，且所述密封件220和所述控温组件本体210之间形成有所述第一容纳空间，使得位于被覆盖处的冷却通路及第五接缝2107、第六接缝2108处于所述第一容纳空间内并与外部密封隔绝，从而防止从被覆盖处的冷却通路及接缝处泄露的冷却液流至外部的所述加热灯和/或所述反应腔上而造成安全事故，进而提高所述衬底处理设备的安全性和可靠性，不仅如此，将冷却通路的凹槽2109、盖板2102及密封件均设置在第一表面，由于机加工时主要操作第一表面，因此第二表面的强度和弱点少，降低了第二表面(即靠近待冷却部件的一面)发生泄漏的风险，即使发生泄漏，也仅发生在第一表面，减小了对待冷却部件的损坏，但本发明不以此为限。60.其中，至少部分地覆盖所述冷却通路是指仅覆盖容易泄漏的部位，例如：第五接缝2107、第六接缝2108、进液管2103、出液管2104处，在此实施例中，密封件可以是半环形、圆形或长方形；当然，可选的，为了保证安全，可以完全覆盖所述冷却通路，具体的，如图7-8所示，所示密封件220为环状，完全覆盖了所述冷却通路及接缝。61.对于密封件220的设置，具体的，如图5-6所示，所述密封件220覆盖在所述盖板2102的外侧，所述密封件220的横截面为“凹”状，所述“凹”状包括盖部2201和侧壁2203，所述侧壁位于盖部2201的两端，“凹”状的开口面向第一表面，在所述“凹”状的开出处形成所述第一容纳空间。在本实施例中，横截面呈“凹”状的所述密封件220可以完全覆盖在所述盖板2102的外侧，以对所述控温组件本体210上的冷却通路和接缝进行完全密封，从而实现所述冷却通路与外部的完全密封隔绝，进而在所述控温组件本体210发生漏液时，能够将泄漏的冷却液密封于由所述密封件220、所述底板2101和所述盖板2102形成的所述第一容纳空间内，以防止泄露的冷却液流至外部的所述加热灯和/或所述反应腔上，但本发明不以此为限。62.请继续参见图6，所述密封件220通过紧固件设置于所述底板2101上；优选地，所述紧固件为螺钉2205。所述密封件220与所述控温组件本体210抵接处设置有密封圈230，具体的，在侧壁2203的末端设有密封圈230。在本实施例中，所述密封件220通过多个所述螺钉2205固定于所述底板2101上，可以避免传统焊接固定方式中出现的接缝，从而保证所述第一容纳空间的密封性和可靠性，其方便拆卸维护，进而防止泄露至所述第一容纳空间内的冷却液流到外部，不仅如此，密封圈230具有一定弹性，可以适应底板及密封件的热胀冷缩，增加连接处的可靠性。同时，所述密封件220与所述底板2101的抵接处设置所述密封圈230以及所述进液管2103与所述出液管2104密封地贯穿所述密封件，可以进一步保证所述第一容纳空间的密封性和可靠性。优选地，所述密封圈230为o型圈，由于密封件为环形，仅需两个内径不同的密封圈230分别设置在侧壁2203的末端处，便可实现密封，密封件内外边缘的形状和o型圈耦合，方便了密封，且密封效果更好，但本发明不以此为限。63.在一些实施例中，所述密封件220还包括两个贯通孔，所述贯通孔用于密封地让所述进液管2103与所述出液管2104穿过。64.可选的，如图7所示，所示密封件220的表面设置有视窗400，用于观察第一容纳空间内部是否有冷却液泄漏，当观察到有冷却液泄漏时，便可以更换；可选的，所示视窗400为石英材料。65.进一步可选的，如图8所示，所述控温组件，还包括：导管240，所述导管240的一端设置于所述密封件220上，与所述第一容纳空间连通，用于将泄漏的冷却液导出。66.可以理解的是，在一些其他的实施例中，所述控温组件，还包括：承接容器，通过引流管与所述导管240的另一端连通，以使所述第一容纳空间内存储的冷却液流入所述承接容器。67.在一些实施例中，所述控温组件，还包括：漏液传感器，设置于所述密封件、所述导管240、所述引流管及所述承接容器至少一者上，用于检测所述控温组件本体是否发生泄漏。68.具体的，在本实施例中，所述控温组件本体210发生泄漏时，泄露的冷却液流至所述第一容纳空间后会继续沿着所述导管240、所述引流管进入到所述承接容器内，以使所述第一容纳空间内的冷却液能够及时导出，从而避免冷却液对所述第一容纳空间造成压力，进而保证所述第一容纳空间的密封性。更具体的，设置于泄露的冷却液流动路径上的所述漏液传感器可以及时地检测到该流动路径上是否存在泄露的冷却液，从而检测出所述控温组件本体210是否发生泄漏，进而能够提醒工作人员对发生泄露的控温组件进行及时更换，提高所述衬底处理设备的安全性和可靠性。优选地，所述导流管为软管，但本发明不以此为限。69.进一步可选的，由于密封件温度高，漏液传感器很大程度上不便设置于密封件上，设置在密封件上时需要额外加装冷却系统，成本升高，系统变得复杂，不利拆卸维护，因此，漏液传感器倾向于设置于所述导管240、所述引流管及所述承接容器至少一者上；为了解决此问题，图7-8所示的实施例可以同时实施，即可以通过视窗观察，同时也可以通过导管240导出所述冷却液及检测，这样在具有少量冷却液泄漏时，漏液传感器有可能不会出发警报，但是可以通过视窗及时发现泄漏。70.综上所述，本实施例提供的一种控温组件及衬底处理设备，控温组件本体上设置有冷却通路，且冷却通路中通有冷却液，可以对待冷却部件降温；密封件至少部分地覆盖冷却通路，以使被覆盖处的冷却通路与外部密封隔绝，从而能够对控温组件本体泄露的冷却液进行密封，进而防止泄露的冷却液流至加热灯和/或反应腔上而造成安全事故，以提高衬底处理设备的安全性和可靠性。本实施例中密封件可以覆盖在冷却通路的盖板的外侧，以在控温组件本体发生漏液时，能够将泄漏的冷却液密封于述密封件、底板和盖板形成的第一容纳空间内，从而防止泄露的冷却液流至外部；密封件通过紧固件固定于底板上且在密封件与底板的抵接处设置所述密封圈，可以进一步保证第一容纳空间的密封性和可靠性；此外，通过设置于密封件、导管、引流管或承接容器上的漏液传感器可以及时地检测出控温组件本体是否发生泄漏，从而能够提醒工作人员对发生泄露的控温组件本体进行及时的更换。71.尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。









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