一种芯片测试探针台保护罩的制作方法

测量装置的制造及其应用技术1.本发明属于半导体测试技术领域，具体涉及一种芯片测试探针台保护罩。背景技术：2.芯片测试探针台是对芯片进行测试的设备，探针卡是连接机台与晶圆之间的接口，是实现晶圆测试的必备器件，也是晶圆测试中的核心耗材，测试机台不能直接对晶圆进行量测，需要通过探针卡中的探针与晶圆上的凸块接触后，才能与晶圆中的芯片建立电气连接，从而达到电性能测试的目的，晶圆测试使用的探针卡属于定制器件，每一款产品都需要供应商根据芯片设计公司提供的输入信息进行定制化设计，测试探针台装载探针卡的位置有缝隙，灰尘等外部物体会从缝隙中直接掉落在机器腔体甚至晶圆上，带来损失。3.为了解决这个问题，现有技术中，授权公告号为cn 103353539b的发明专利公开了一种用于晶片测试的保护装置，利用保护罩在导电基座的外围，屏蔽了外部干扰和污染来保护探针卡和晶圆，但其在保护的同时遮挡了探针卡，影响了工作人员直接观察探针卡的工作情况，且现有的对探针台上探针卡工作情况多靠肉眼观察，无法近距离对探针卡进行直观监测。技术实现要素：4.技术问题：针对现有技术中存在的上述问题，本发明所要解决的技术问题在于提供一种芯片测试探针台保护罩方便在保护探针卡的同时对探针卡进行直观观察和监测。5.技术方案：为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：6.一种芯片测试探针台保护罩，用于遮罩探针台上的探针卡，包括罩体和设置在所述罩体上的摄像装置，所述罩体上设有透明观察窗，所述摄像装置包括主机和用于拍摄探针卡的探头软管，所述主机与所述探针台连接，所述罩体上设有引导所述探头软管的导向管。7.优选的，所述导向管包括第一导向管以及与所述第一导向管连通的第二导向管，所述第二导向管为环形管，所述探针卡位于所述第二导向管围成的区域内，所述第二导向管上设有多个供所述探头软管贯穿的出口孔。8.优选的，多个所述出口孔在所述第二导向管上对称分布，所述第二导向管上设有与所述出口孔对应的支架，所述支架用于撑托所述探头软管。9.优选的，所述支架与所述第二导向管活动连接，所述支架包括多个延长板，多个延长板中相邻的两个延长板铰接连接，所述延长板上设有多个用于放置探头软管的骨圈。10.优选的，所述罩体为矩形体、半球体或圆柱体，所述罩体由导电材质制成，所述透明观察窗由电磁屏蔽玻璃制成。11.优选的，所述罩体上端设有提手，所述罩体上连接有接地线缆。12.优选的，所述提手上设有与所述探针台电连接的按钮。13.优选的，所述主机上设有显示屏。14.优选的，所述罩体上设有排线孔，所述排线孔上设有防静电布。15.有益效果：与现有技术相比，本发明具有以下优点：1、罩体防尘防静电，对探针卡和晶圆形成保护；2、通过设置罩体和摄像装置，并在罩体上设置透明观察窗，可以对探针卡进行“远景”和“近景”的同时观测，在保护探针卡和晶圆的同时方便工作人员对探针卡工作情况进行实时监测，保证芯片测试工作的有序进行；3、设置导向管，引导探头软管到探针卡附近，且多角度设置出口孔，配合探头软管前端的角度可调，对探针卡进行360°无死角监测；4、在出口孔设置配套支架，支撑探头软管前端，使其逐渐靠近探针卡，且支架角度可调节，与探头软管配合便捷；5、提手上设有按钮，可提供对探针台进行应急停止的功能，提高探针台运行安全性。附图说明16.图1是本发明实施例1结构示意图；17.图2是发明实施例1的罩体内部结构示意图；18.图3是发明实施例1的支架结构示意图；19.图4是支架主视结构示意图；20.图5是提手俯视结构示意图；21.图6是罩体侧面结构示意图；22.图7是探针台整体结构示意图；23.图8是实施例2的罩体内部结构示意图。具体实施方式24.下面结合具体实施例，进一步阐明本发明，实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。25.如图1和图7所示，一种芯片测试探针台保护罩，用于遮罩探针台8上的探针卡9，探针台8为现有的探针台，以品牌为东精精密，型号为uf200a的探针台为例，其晶圆的最大加工尺寸为8英寸，包括显示控制器81、按钮区82和晶圆放置区83，使用时将多个待检测的晶圆叠放在晶圆放置区83内，将配套的探针卡9放置在探针台8的探针卡基座上，通过操作显示控制器81和按钮区82的按钮，可以自动控制晶圆在内部移动到探针卡9下方进行检测，本发明实施例的保护罩为矩形体，笼罩在探针卡9的正上方。26.如图1和图2所示，保护罩包括罩体1和摄像装置2，罩体1前端面上设有透明观察窗11，窗体为矩形，透明观察窗11由电磁屏蔽玻璃制成，在方便透过玻璃观察的同时还可以屏蔽电磁干扰，工作人员透明观察窗11可以较远的观察探针卡9，方便“远景”监测；摄像装置2包括主机21和用于拍摄探针卡9的探头软管22，罩体1在透明观察窗11旁的位置上设有容纳主机21的凹槽，从而摄像装置2与罩体1可拆卸连接，不使用时可移除，主机21上设有显示屏211，探头软管22的近距离拍摄画面在显示屏211上显示，形成“近景”监测，方便直观观察，主机21可通过线缆接入探针台8的显示控制器81，从而将拍摄的画面实时传输到显示控制器81内，供工作人员选择查看；摄像装置2采用现有的工业视频内窥镜，例如品牌为奥林巴斯的iplex nx便携内窥镜系列，探头软管22的直径有4.0mm和6.0mm等大小，探头软管22的长度从3.5m到7.5m有多种长度可供选择，上/下/左/右关节角度可调范围较宽，可以对探头末端到目标表面进行多个点的检测，对各个测点之间的距离进行实时测量，并实时抓取目标的外形信息，连续的检查保障了精确而有效的检测。罩体1的内壁上设有导向管3，导向管3用来引导探头软管22向探针卡9方向移动，导向管3包括第一导向管31和第二导向管32，第一导向管31为直线型导向管，设置在罩体1的侧壁且在罩体1的侧壁上设有入口311，探头软管22通过入口311贯穿罩体1的壁体进入第一导向管31内，沿着第一导向管31垂直向下，第一导向管31的下端与第二导向管32连通，第二导向管32为环形管，第二导向管32以罩体1的中间线为对称轴对称设置，探针卡9位于第二导向管32围成的区域内中央位置，第二导向管32上设有八个出口孔321(出口孔321的数量可根据需要合理设置)，八个出口孔321在第二导向管32上对称分布，探头软管22的前端进入第二导向管32内后继续向前运动，可从任意一个出口孔321穿出，从而到达与探针卡9接近的高度，再移动靠近探针卡9对其进行拍摄，出口孔321在周向上设置多个，方便探头软管22从多个角度切入来靠近探针卡9，配合探头软管22的前端可调角度，可以选择任意角度拍摄，对探针卡9进行360°无死角拍摄。27.如图2、图3和图4所示，为了对探头软管22中穿出出口孔321的部分进行撑托，每个出口孔321旁设置有一个支架4(图2中部分支架4省略)，支架4通过铰接轴与第二导向管32连接，且从第二导向管32向探针卡9的方向延伸，支架4不使用时可向上转动垂直于水平面处于收纳位置，使用时向下转动平行于水平面。支架4包括多个延长板41和设置在延长板41上的骨圈42，相邻的两个延长板41通过第二转轴411铰接连接，从而延长板41之间可以调节角度，支架4可以弯折向前延伸并且最前端可以朝向多个方向，延长板41的下侧面上设有多个骨圈42，骨圈42为圆形圈，探头软管22从第二导向管32的出口孔321穿出后从多个骨圈42中穿过，再向探针卡9方向移动，支架4起到很好的配合和撑托作用。出口孔321上还设有保护管33，保护管33采用橡胶等材质制成，对探头软管22形成保护，防止其被磨损，出口孔321可以设置成具有一定倾斜角度的孔，保护管33以一定角度切入第二导向管32，方便探头软管22进出。28.如图1、图5、图6和图7所示，罩体1上连接有接地线缆12，接地线缆12与探针台8接地点连接，有效传导静电，罩体1的侧面设有排线孔13，探针卡9与探针台8是通过排线或者线缆连接，排线和线缆的规格不同，排线孔13周边设有防静电布，防静电布呈筒形，外端口采用松紧绳收紧，可以适应不同的排线和线缆大小，也保证了罩体1的屏蔽效果，同时避免灰尘从排线孔13进入罩体1内部，罩体1由不锈钢材质制成(也可以是其他导电材质)，可以屏蔽信号干扰；罩体1上端设有提手7，提手7的上端面设有下凹的按钮6，按钮6上还设有挡板61，挡板61与提手7铰接且与提手7上端面平齐，需要翻开挡板61后才能按动按钮6，防止误按导致的误操作，按钮6与探针台8电连接，探针台8上有应急停止按钮821，按钮6设置为第二停止按钮与应急停止按钮821串联，方便人员在检测过程中遇到突发情况，第一时间停止探针台8的动作。29.实施例230.与实施例1不同的地方在于，罩体1为半球体(也可以是圆柱体)，第二导向管32为圆形管，从而紧贴在罩体1内壁设置。31.以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。









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