一种以天然石英制备低放射性球形硅微粉的方法与装置与流程

无机化学及其化合物制造及其合成,应用技术1.本发明涉及非金属矿物深加工技术领域，具体是涉及一种以天然石英制备低放射性球形硅微粉的方法与装置。背景技术：2.球形硅微粉主要应用于集成电路封装、精细化工、大面积电子基板、特种陶瓷和日用化妆品等领域。应用于集成电路封装的球形硅微粉要求产品球形度高、杂质含量和电导率低、放射性元素含量低等特点。虽然目前制备球形硅微粉方法较多，但均存在一定问题。3.为此，中国专利cn201911350723.3公开了低放射性非晶态球形硅微粉的制备方法，以有机硅烷作为原料，进行水解后得到球形sio2微球，然后将球形sio2微球通过高温煅烧得到球形硅微粉。4.但是，通过这种方法制备的，其羟基含量高，密度低，难以达到集成电路封装的要求。技术实现要素：5.基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种以天然石英制备低放射性球形硅微粉的方法与装置。6.为解决现有技术问题，本发明采用的技术方案为：一种以天然石英制备低放射性球形硅微粉的方法，包括以下步骤：s1，挑选天然石英矿，选取流体包裹体和放射性元素都达到要求的天然脉石英矿石；s2，制备高纯石英砂，将矿石按照挑选、破碎筛分、酸洗、浮选、磁选的流程依次进行处理，然后将其提纯得到总杂质含量低于100ppm，铀、钍的含量分别低于1ppb的高纯石英砂；s3，制备高纯硅微粉，将高纯石英砂经过无污染的气流磨处理，得到亚微米级到微米级的高纯超细硅微粉，用经过处理的高纯度气体经过喷嘴将高纯石英砂磨细成0.1-100微米的高纯硅微粉；s4，制备低放射性球形硅微粉，将高纯硅微粉经过球化炉后进行分级，制得目标粒度分布、球形度大于90%的球形硅微粉。7.一种以天然石英制备低放射性球形硅微粉的装置，包括机架和固定安装在机架上的第一破碎装置和第二破碎装置，机架的顶部固定设置有进料孔；还包括筛分装置和运输装置，筛分装置包括筛分箱、过滤板和移料组件，筛分箱固定安装在机架上且其位于第一破碎装置和第二破碎装置之间，过滤板安装在筛分箱内，移料组件包括第一推板、第一直线驱动器、置物台和第二直线驱动器，第一推板和置物台滑动安装在筛分箱内，第一直线驱动器和第二直线驱动器固定安装在筛分箱上，第一直线驱动器的驱动端与第一推板传动连接，第二直线驱动器的驱动端与置物台传动连接，运输装置固定安装在机架的底部用于运输物料。8.优选的，筛分装置还包括推料组件，推料组件包括第二推板、金属块、电磁元件和弹性件，第二推板滑动安装在机架上，金属块固定安装在第二推板上，电磁元件固定安装在机架上，弹性件的两端分别与机架和第二推板固定连接。9.优选的，筛分装置还包括红外传感器，红外传感器固定安装在机架上。10.优选的，第一破碎装置包括第一破碎箱、第一旋转轴、破碎组件和第一旋转驱动组件，第一破碎箱固定安装在机架上且其位于筛分箱的上方，第一旋转轴可旋转的安装在第一破碎箱上，破碎组件固定套接在第一旋转轴上，第一旋转驱动组件固定安装在第一破碎箱上，第一旋转驱动组件的驱动端与第一旋转轴传动连接。11.优选的，第二破碎装置包括第二破碎箱、第二旋转轴、第三旋转轴、第一碾压辊、第二碾压辊和第二旋转驱动组件，第二破碎箱固定安装在机架上且其位于筛分箱的下方，第二破碎箱内固定安装有导向块，第二旋转轴和第三旋转轴均可旋转的安装在第二破碎箱内，第一碾压辊和第二碾压辊分别固定套接在第二旋转轴和第三旋转轴上，第二旋转驱动组件固定安装在第二破碎箱上并用于驱动第二旋转轴和第三旋转轴相互反向旋转。12.优选的，第一旋转驱动组件包括第一旋转驱动器、第一套筒、第二套筒和同步带，第一旋转驱动器固定安装在第一破碎箱上，第一套筒固定套接在第一旋转驱动器的驱动端上，第二套筒固定套接在第一旋转轴上，同步带的两端分别套接在第一套筒和第二套筒上。13.优选的，第二旋转驱动组件包括第一旋转齿轮、第二旋转齿轮和第二旋转驱动器，第一旋转齿轮和第二旋转齿轮分别固定套接在第二旋转轴和第三旋转轴上，第一旋转齿轮和第二旋转齿轮传动连接，第二旋转驱动器固定安装在第二破碎箱上，第二旋转驱动器的驱动端与第二旋转轴传动连接。14.优选的，第二旋转驱动组件还包括蜗轮和蜗杆，蜗轮固定套接在第二旋转轴上，蜗杆可旋转的安装在第二破碎箱上，蜗轮和蜗杆传动连接，第二旋转驱动器的驱动端与蜗杆传动连接。15.优选的，过滤板滑动安装在筛分箱上，过滤板包括定位板和握把，定位板固定安装在过滤板上，握把固定安装在定位板上。16.本技术相比较于现有技术的有益效果是：1.本技术通过以天然石英制备低放射性球形硅微粉的方法，解决了传统工艺制取的球形硅微粉的羟基含量高，密度低，杂质含量高，无法满足集成电路封装要求的缺陷。17.2.本技术通过筛分箱、过滤板和移料组件实现了自动处理破碎不完全的矿石的功能，解决了矿石破碎不完全滞留在装置内，需要操作人员人工进行清理，耗时耗力的缺陷。18.3.本技术通过第二推板、金属块和电磁元件实现了自动将矿石抛入第一破碎装置的功能，解决了通过移料组件将矿石移出后，仍需要操作人员将其丢入进料孔的缺陷。19.4.本技术通过红外传感器实现了实时监测置物台升降状态的功能，解决了需要操作人员自行判断矿石升降状态的缺陷。20.5.本技术通过第一破碎箱、第一旋转轴、破碎组件和第一旋转驱动组件实现了打碎矿石的功能，解决了第一破碎装置如何对矿石进行初步破碎的技术问题。21.6.本技术通过第二破碎箱、第二旋转轴、第三旋转轴、第一碾压辊、第二碾压辊和第二旋转驱动组件实现了将矿石进一步破碎的功能，解决了第二破碎装置如何对矿石进行进一步破碎的技术问题。22.7.本技术通过第一旋转驱动器、第一套筒、第二套筒和同步带实现了驱动第一旋转轴旋转的功能，解决了第一旋转驱动组件如何驱动破碎组件旋转的技术问题。23.8.本技术通过第一旋转齿轮、第二旋转齿轮和第二旋转驱动器实现了驱动第一碾压辊和第二碾压辊相互反向旋转的功能，解决了如何通过第二旋转驱动组件驱动第一碾压辊和第二碾压辊的技术问题。24.9.本技术通过蜗轮和蜗杆实现了提高第一碾压辊和第二碾压辊碾压力度的功能，解决了第一碾压辊和第二碾压辊所受旋转驱动力不足，导致被矿石卡住，影响其正常工作的缺陷。25.10.本技术通过定位板和握把实现了快速拆装过滤板的功能，解决了过滤板在长时间使用后，其表面会粘附矿石碎屑，导致矿石难以通过过滤板的缺陷。附图说明26.图1是本技术的工艺流程图；图2是本技术的立体示意图；图3是本技术筛分装置的立体示意图；图4是本技术移料组件的立体示意图；图5是本技术推料组件的立体分解示意图；图6是本技术第一破碎装置的立体示意图；图7是本技术第一旋转驱动组件的立体示意图；图8是本技术第二破碎装置的立体示意图；图9是本技术第二旋转驱动组件的立体分解示意图；图10是本技术将过滤板滑出后的立体示意图；图中标号为：1-机架；1a-进料孔；2-第一破碎装置；2a-第一破碎箱；2b-第一旋转轴；2c-破碎组件；2d-第一旋转驱动组件；2d1-第一旋转驱动器；2d2-第一套筒；2d3-第二套筒；2d4-同步带；3-第二破碎装置；3a-第二破碎箱；3a1-导向块；3b-第二旋转轴；3c-第三旋转轴；3d-第一碾压辊；3e-第二碾压辊；3f-第二旋转驱动组件；3f1-第一旋转齿轮；3f2-第二旋转齿轮；3f3-第二旋转驱动器；3f4-蜗轮；3f5-蜗杆；4-筛分装置；4a-筛分箱；4b-过滤板；4b1-定位板；4b2-握把；4c-移料组件；4c1-第一推板；4c2-第一直线驱动器；4c3-置物台；4c4-第二直线驱动器；4d-推料组件；4d1-第二推板；4d2-金属块；4d3-电磁元件；4d4-弹性件；4d5-红外传感器；5-运输装置。具体实施方式27.为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。28.如图1所示：一种以天然石英制备低放射性球形硅微粉的方法，包括以下步骤：s1，挑选天然石英矿，选取流体包裹体和放射性元素都达到要求的天然脉石英矿石；s2，制备高纯石英砂，将矿石按照挑选、破碎筛分、酸洗、浮选、磁选的流程依次进行处理，然后将其提纯得到总杂质含量低于100ppm，铀、钍的含量分别低于1ppb的高纯石英砂；s3，制备高纯硅微粉，将高纯石英砂经过无污染的气流磨处理，得到亚微米级到微米级的高纯超细硅微粉，用经过处理的高纯度气体经过喷嘴将高纯石英砂磨细成0.1-100微米的高纯硅微粉；s4，制备低放射性球形硅微粉，将高纯硅微粉经过球化炉后进行分级，制得目标粒度分布、球形度大于90%的球形硅微粉。29.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是如何制备出高纯度、低放射性、满足集成电路封装要求用的球形硅微粉。为此，本技术先通过挑选天然石英矿，得到流体包裹体和放射性元素都达到要求的天然脉石英矿石；再通过挑选、破碎筛分、酸洗、浮选、磁选等流程后，提纯得到总杂质含量低于100ppm，铀、钍的含量分别低于1ppb的高纯石英砂；然后经过气流磨将高纯石英砂磨细成0.1-100微米的高纯硅微粉，最后将高纯硅微粉经过球化炉后进行分级，制得目标粒度分布、球形度大于90%的球形硅微粉。解决了传统工艺制取的球形硅微粉的羟基含量高，密度低，杂质含量高，无法满足集成电路封装要求的缺陷。30.如图2-10所示：一种以天然石英制备低放射性球形硅微粉的装置，包括机架1和固定安装在机架1上的第一破碎装置2和第二破碎装置3，机架1的顶部固定设置有进料孔1a；还包括筛分装置4和运输装置5，筛分装置4包括筛分箱4a、过滤板4b和移料组件4c，筛分箱4a固定安装在机架1上且其位于第一破碎装置2和第二破碎装置3之间，过滤板4b安装在筛分箱4a内，移料组件4c包括第一推板4c1、第一直线驱动器4c2、置物台4c3和第二直线驱动器4c4，第一推板4c1和置物台4c3滑动安装在筛分箱4a内，第一直线驱动器4c2和第二直线驱动器4c4固定安装在筛分箱4a上，第一直线驱动器4c2的驱动端与第一推板4c1传动连接，第二直线驱动器4c4的驱动端与置物台4c3传动连接，运输装置5固定安装在机架1的底部用于运输物料。31.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是如何进一步提高矿石破碎效率。为此，本技术通过筛分箱4a、过滤板4b和移料组件4c实现了自动处理破碎不完全的矿石的功能，解决了矿石破碎不完全滞留在装置内，需要操作人员人工进行清理，耗时耗力的缺陷。所述第一直线驱动器4c2和第二直线驱动器4c4优选为丝杆电机，第一破碎装置2、第二破碎装置3、第一直线驱动器4c2和第二直线驱动器4c4与控制器电连接；操作人员将挑选出的矿石从进料孔1a处放入，矿石从进料孔1a进入第一破碎装置2，通过第一破碎装置2对其进行初步破碎，接着破碎完成后，合格尺寸的矿石顺利通过筛分箱4a进入第一破碎装置2，第一破碎装置2对其进行再次破碎，将其制成合适尺寸，然后通过运输装置5将其运输至指定下料处；而破碎不完全，导致尺寸不合格的矿石无法通过过滤板4b，滞留在筛分箱4a内，此时，操作人员通过控制器发送信号给第一直线驱动器4c2，第一直线驱动器4c2驱动第一推板4c1滑动，通过第一推板4c1的驱动，将矿石移动至置物台4c3上，接着控制器发送信号给第二直线驱动器4c4，第二直线驱动器4c4收到信号后驱动置物台4c3上升，从而将矿石移动至第一破碎装置2上方，接着操作人员将矿石重新放入进料孔1a，再次对其进行破碎，从而大幅提高原料利用率和破碎效率。32.进一步的，本技术依然具有通过移料组件4c将矿石移出后，仍需要操作人员将其丢入进料孔1a的缺陷，为了解决这一问题，如图3和图5所示：筛分装置4还包括推料组件4d，推料组件4d包括第二推板4d1、金属块4d2、电磁元件4d3和弹性件4d4，第二推板4d1滑动安装在机架1上，金属块4d2固定安装在第二推板4d1上，电磁元件4d3固定安装在机架1上，弹性件4d4的两端分别与机架1和第二推板4d1固定连接。33.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是如何进一步减少操作人员的劳动强度。为此，本技术通过第二推板4d1、金属块4d2和电磁元件4d3实现了自动将矿石抛入第一破碎装置2的功能。操作人员通过移料组件4c将矿石移动至第一破碎装置2上端的过程中，通过控制器发送信号给电磁元件4d3，电磁元件4d3通电后产生磁场，通过磁力吸附金属块4d2，金属块4d2克服弹性件4d4的弹力带动第二推板4d1移动，将第二推板4d1吸附在电磁元件4d3上，此时弹性件4d4处于压缩状态，接着当矿石完全移动至第一破碎装置2上端后，弹性件4d4提供的弹力迅速推动第二推板4d1，从而通过第二推板4d1将矿石顺利抛入第一破碎装置2，提高矿石破碎率。34.进一步的，本技术依然具有需要操作人员自行判断矿石升降状态的缺陷，为了解决这一问题，如图5所示：筛分装置4还包括红外传感器4d5，红外传感器4d5固定安装在机架1上。35.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是如何进一步减少人工参与步骤，提高设备自动化为此，本技术通过红外传感器4d5实现了实时监测置物台4c3升降状态的功能。所述红外传感器4d5与控制器电连接；当置物台4c3在第二直线驱动器4c4的驱动下向上移动时，红外传感器4d5感应到置物台4c3后反馈信号给控制器，控制器自动发送信号给电磁元件4d3，电磁元件4d3通电后吸附第二推板4d1，接着当置物台4c3移动至指定位置后，红外传感器4d5再次反馈信号给控制器，控制器发送信号给电磁元件4d3，电磁元件4d3断电，通过弹性件4d4的驱动将矿石抛出。36.进一步的，为了解决第一破碎装置2如何对矿石进行初步破碎的技术问题，如图6-7所示：第一破碎装置2包括第一破碎箱2a、第一旋转轴2b、破碎组件2c和第一旋转驱动组件2d，第一破碎箱2a固定安装在机架1上且其位于筛分箱4a的上方，第一旋转轴2b可旋转的安装在第一破碎箱2a上，破碎组件2c固定套接在第一旋转轴2b上，第一旋转驱动组件2d固定安装在第一破碎箱2a上，第一旋转驱动组件2d的驱动端与第一旋转轴2b传动连接。37.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是如何对矿石进行初步破碎。为此，本技术通过第一破碎箱2a、第一旋转轴2b、破碎组件2c和第一旋转驱动组件2d实现了打碎矿石的功能。所述第一旋转驱动组件2d与控制器电连接；操作人员启动装置后，控制器发送信号给第一旋转驱动组件2d，第一旋转驱动组件2d驱动第一旋转轴2b旋转，第一旋转轴2b带动破碎组件2c旋转，接着操作人员将矿石丢入进料孔1a后，矿石在重力驱动下进入第一破碎箱2a，当矿石与破碎组件2c接触后，高速旋转的破碎组件2c将矿石打碎，完成对矿石的初步破碎，尺寸合格的矿石通过过滤板4b进入第二破碎装置3。38.进一步的，为了解决第二破碎装置3如何对矿石进行进一步破碎的技术问题，如图8-9所示：第二破碎装置3包括第二破碎箱3a、第二旋转轴3b、第三旋转轴3c、第一碾压辊3d、第二碾压辊3e和第二旋转驱动组件3f，第二破碎箱3a固定安装在机架1上且其位于筛分箱4a的下方，第二破碎箱3a内固定安装有导向块3a1，第二旋转轴3b和第三旋转轴3c均可旋转的安装在第二破碎箱3a内，第一碾压辊3d和第二碾压辊3e分别固定套接在第二旋转轴3b和第三旋转轴3c上，第二旋转驱动组件3f固定安装在第二破碎箱3a上并用于驱动第二旋转轴3b和第三旋转轴3c相互反向旋转。39.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是如何将矿石进一步破碎。为此，本技术通过第二破碎箱3a、第二旋转轴3b、第三旋转轴3c、第一碾压辊3d、第二碾压辊3e和第二旋转驱动组件3f实现了将矿石进一步破碎的功能。所述第二旋转驱动组件3f与控制器电连接；操作人员将装置启动后，控制器发送信号给第二旋转驱动组件3f，第二旋转驱动组件3f驱动第二旋转轴3b和第三旋转轴3c反向旋转；矿石在进入第一破碎装置2后，第一破碎装置2对其进行破碎处理后，尺寸合格的矿石经过过滤板4b进入第二破碎箱3a，通过导向块3a1的导向，矿石顺利滑入第一碾压辊3d和第二碾压辊3e之间的缝隙中，此时第一碾压辊3d和第二碾压辊3e在第二旋转轴3b和第三旋转轴3c的带动下相互反向旋转，将矿石碾碎，被碾碎的矿石在重力的作用下掉落至运输装置5上，通过运输装置5将其运输至指定下料处。40.进一步的，为了解决第一旋转驱动组件2d如何驱动破碎组件2c旋转的技术问题，如图7所示：第一旋转驱动组件2d包括第一旋转驱动器2d1、第一套筒2d2、第二套筒2d3和同步带2d4，第一旋转驱动器2d1固定安装在第一破碎箱2a上，第一套筒2d2固定套接在第一旋转驱动器2d1的驱动端上，第二套筒2d3固定套接在第一旋转轴2b上，同步带2d4的两端分别套接在第一套筒2d2和第二套筒2d3上。41.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是第一旋转驱动组件2d如何驱动破碎组件2c旋转。为此，本技术通过第一旋转驱动器2d1、第一套筒2d2、第二套筒2d3和同步带2d4实现了驱动第一旋转轴2b旋转的功能。所述第一旋转驱动器2d1优选为伺服电机，伺服电机与控制器电连接；操作人员启动装置后，控制器发送信号给伺服电机，伺服电机驱动第一套筒2d2旋转，第一套筒2d2通过同步带2d4的传动驱动第二套筒2d3同步旋转，第二套筒2d3带动第一旋转轴2b和破碎组件2c旋转，从而实现对矿石进行破碎的功能。42.进一步的，为了解决如何通过第二旋转驱动组件3f驱动第一碾压辊3d和第二碾压辊3e的技术问题，如图9所示：第二旋转驱动组件3f包括第一旋转齿轮3f1、第二旋转齿轮3f2和第二旋转驱动器3f3，第一旋转齿轮3f1和第二旋转齿轮3f2分别固定套接在第二旋转轴3b和第三旋转轴3c上，第一旋转齿轮3f1和第二旋转齿轮3f2传动连接，第二旋转驱动器3f3固定安装在第二破碎箱3a上，第二旋转驱动器3f3的驱动端与第二旋转轴3b传动连接。43.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是如何驱动第一碾压辊3d和第二碾压辊3e旋转。为此，本技术通过第一旋转齿轮3f1、第二旋转齿轮3f2和第二旋转驱动器3f3实现了驱动第一碾压辊3d和第二碾压辊3e相互反向旋转的功能。所述第二旋转驱动器3f3与控制器电连接；操作人员启动装置后，控制器发送信号给伺服电机，伺服电机驱动第二旋转轴3b旋转，第二旋转轴3b带动第一碾压辊3d旋转，同时第二旋转轴3b带动第一旋转齿轮3f1旋转，第一旋转齿轮3f1驱动与其传动连接的第二旋转齿轮3f2反向旋转，第二旋转齿轮3f2带动第三旋转轴3c和第二碾压辊3e旋转，从而实现对第一碾压辊3d和第二碾压辊3e的驱动。44.进一步的，本技术依然具有第一碾压辊3d和第二碾压辊3e所受旋转驱动力不足，导致被矿石卡住，影响其正常工作的缺陷，为了解决这一问题，如图9所示：第二旋转驱动组件3f还包括蜗轮3f4和蜗杆3f5，蜗轮3f4固定套接在第二旋转轴3b上，蜗杆3f5可旋转的安装在第二破碎箱3a上，蜗轮3f4和蜗杆3f5传动连接，第二旋转驱动器3f3的驱动端与蜗杆3f5传动连接。45.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是如何增大对第一碾压辊3d、第二碾压辊3e的驱动力。为此，本技术通过蜗轮3f4和蜗杆3f5实现了提高第一碾压辊3d和第二碾压辊3e碾压力度的功能。由于第二旋转驱动器3f3需要同时驱动第一碾压辊3d和第二碾压辊3e，而矿石卡入第一碾压辊3d和第二碾压辊3e之间会对其旋转造成阻碍，为了保证第一碾压辊3d和第二碾压辊3e能稳定旋转，碾压矿石，设置了蜗轮3f4和蜗杆3f5的增力结构，保证第一碾压辊3d和第二碾压辊3e能稳定工作。46.进一步的，本技术依然具有过滤板4b在长时间使用后，其表面会粘附矿石碎屑，导致矿石难以通过过滤板4b的缺陷，为了解决这一问题，如图10所示：过滤板4b滑动安装在筛分箱4a上，过滤板4b包括定位板4b1和握把4b2，定位板4b1固定安装在过滤板4b上，握把4b2固定安装在定位板4b1上。47.基于上述实施例，本技术想要解决的技术问题是如何对过滤板4b进行清理。为此，本技术通过定位板4b1和握把4b2实现了快速拆装过滤板4b的功能。为了保证过滤板4b的正常使用，需要操作人员定期对其进行清理维护，因此设置了定位板4b1和握把4b2，在对过滤板4b进行维护时，操作人员将握把4b2握住，然后将过滤板4b抽出，即可方便的对其进行清理或更换，维护完成后，操作人员再将过滤板4b滑入筛分箱4a，通过定位板4b1的限位，将其准确安装到筛分箱4a上。48.以上实施例仅表达了本发明的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。









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