基板保持装置的制作方法

电气元件制品的制造及其应用技术1.本发明涉及基板保持装置。背景技术：2.在专利文献1中公开了如下基板保持装置，其将大致板状的基板沿着大致铅垂方向(纵置)保持，所述基板保持装置使用多个夹紧部将基板的侧面向纵框部的基准面按压。夹紧部具有：第一单元，其具有在处于抵接位置时与基板抵接的第一前端面；以及第二单元，其设置为能够在第一单元和框架之间沿着大致水平方向移动，当使第二单元向基板侧平行移动时，第一单元沿着第二单元的前端面向基准面侧移动，由此将基板向基准面按压。3.在先技术文献4.专利文献5.专利文献1：日本特开2019-129267号公报技术实现要素：6.发明要解决的课题7.在专利文献1所述的发明中，在使纵置的基板的侧面朝向基准面移动时，由于纵置的基板的下端面钩挂于保持块而难以移动的原因，基板有可能弯曲。8.本发明是鉴于这样的情况而作出的，其目的在于提供在将基板向基准面按压时，能够使基板整体朝向基准面顺畅移动的基板保持装置。9.用于解决课题的方案10.为了解决上述课题，本发明的基板保持装置例如为将大致板状的基板沿着大致铅垂方向保持的基板保持装置，所述基板保持装置的特征在于，具备：多个保持块，它们与所述基板的、配置于铅垂方向下侧的下端面抵接；第一纵框部及第二纵框部，它们是沿着大致铅垂方向延伸设置的大致棒状，所述第一纵框部及所述第二纵框部具有与所述基板的背面抵接的基准面；以及多个夹紧部，其设置于所述第一纵框部及所述第二纵框部，多个所述夹紧部设置为能够沿着大致水平方向移动，并与所述基板的大致沿铅垂方向的侧面抵接而将所述基板向所述基准面按压，所述保持块具有接触块，该接触块具有与所述下端面抵接的上侧块和设置于所述上侧块的下侧的下侧块，所述上侧块能够在所述基板的厚度方向上相对于所述下侧块移动。11.根据本发明的基板保持装置，基板的配置于铅垂方向下侧的下端面所抵接的多个保持块具有与基板的下端面抵接的上侧块、以及设置于上侧块的下侧的下侧块，上侧块能够在基板的厚度方向上相对于下侧块移动。由此，在将基板向基准面按压时，能够使基板整体朝向基准面顺畅移动。12.在此，也可以是，所述接触块具有将所述上侧块与所述下侧块连结的复原机构，所述上侧块能够在第一状态与第二状态之间移动，所述第一状态是指当从铅垂上方向观察时所述上侧块与所述下侧块完全重叠的状态，所述第二状态是指当从铅垂上方向观察时所述上侧块相对于所述下侧块偏移的状态，所述复原机构使所述上侧块从所述第二状态向所述第一状态复原。由此，在保持块与基板的下端面之间的抵接被解除了时，能够借助复原机构的作用力而使上侧块返回原来的位置，能够自动地进行下一样本的接纳准备。13.在此，也可以是，所述复原机构是将所述上侧块与所述下侧块连结的板簧，所述上侧块及所述下侧块的从铅垂上方向观察时的形状大致相同，所述板簧沿着如下面设置，即所述上侧块及所述下侧块的、大致沿铅垂方向且与所述上侧块的移动方向大致正交的面，所述板簧的上端附近固定于所述上侧块，所述板簧的下端附近固定于所述下侧块。由此，能够以简单的结构来可靠地使上侧块移动。14.在此，也可以是，在所述上侧块与所述下侧块之间涂布有合成油。由此，能够减小上侧块与下侧块之间的摩擦系数，以小的力使上侧块移动。另外，通过使用合成油，从而涂布于润滑面的润滑剂的量不减少，能够稳定地使上侧块滑动。15.在此，也可以是，在所述上侧块与所述下侧块之间设置有由具有自润滑性的树脂形成的片。由此，能够减小上侧块与下侧块之间的摩擦系数，以小的力使上侧块移动。16.在此，也可以是，所述上侧块的至少与所述下端面抵接的部分由结晶性的树脂形成，所述下侧块由金属形成。由此，在使用玻璃制的掩模作为基板的情况下，即便掩模与上侧块抵接，也能够防止因应力集中所引起的掩模的破损。17.在此，也可以是，所述基板保持装置具有保持单元，该保持单元包括所述保持块，所述保持块具有：所述接触块；以及基块，其以能够沿着大致水平方向移动的方式设置于所述接触块的下侧，所述保持单元具有固定所述基块的固定部，所述接触块的与所述基块对置的第一面、以及所述基块的与所述接触块对置的第二面大致平行，且相对于水平面倾斜。由此，能够通过使基块水平移动来使接触块在上下方向上移动，从而使基板可靠地抵接于接触块。18.发明效果19.根据本发明，在将基板向基准面按压时，能够使基板整体朝向基准面顺畅移动。附图说明20.图1是表示第一实施方式的掩模保持装置1的概要的主视图。21.图2是表示掩模保持装置1的概要的侧视图。22.图3是表示掩模保持装置1中的掩模保持部10的概要的俯视图。23.图4是表示夹紧部12a的概要的图。24.图5是表示保持块21、22的概要的立体图。25.图6是说明掩模m的移动的情形的图，(a)是表示掩模m的上端部(+y侧的端部)的情形的图，(b)是表示掩模m的下端部(-y侧的端部)的情形且使用了以往的保持块21’、22’的情况的图，(c)是表示掩模m的下端部(-y侧的端部)的情形且使用了本实施方式的保持块21、22的情况的图。26.图7是表示变形例的保持块21a的概要的图。27.图8是表示变形例的保持块21b的概要的图。28.图9是表示变形例的保持块21c的概要的图。具体实施方式29.以下，参照附图来详细说明本发明的实施方式。本发明是将在周缘形成有平面或曲面的倒角部的透明的大致板状的基板沿着大致铅垂方向保持的基板保持装置，且设置于对基板进行检查的基板检查机等的内部。30.在本发明中，作为基板而使用掩模m。掩模m是由石英等形成的透明的大致板状的构件，是用于制造例如有机el、液晶显示装置的显示装置用的基板的曝光用掩模。掩模m是在一边为1m左右的大型的大致矩形形状的基板上形成有一个或多个的图像设备用转印图案。另外，在掩模m上，为了避免掩模边缘缺损而在周缘形成有倒角部。31.倒角部可以是平面的倒角部(所谓的斜角面)，也可以是曲面的倒角部(所谓的圆角面)。另外，斜角面可以是角度为大致45度的通常倒角，也可以是角度为大致30度的特别倒角。以下，作为倒角部，以具有角度为大致45度、边的长度为1mm的倒角(c1)的情况为例进行说明。32.图1是表示第一实施方式的掩模保持装置1的概要的主视图。图2是表示掩模保持装置1的概要的从x方向观察时的侧视图。在图2中，为了说明而省略主要结构以外的图示。33.以下，将水平方向中的大致沿框架13的长度方向的方向定义为x方向，将铅垂方向定义为y方向，将与x方向及y方向正交的方向定义为z方向。34.掩模保持装置1载置于基座30，主要具有掩模保持部10、保持单元20、以及未图示的摄像部及照明部。35.摄像部及照明部设置为夹着掩模m而对置。一边从照明部照射光，一边利用摄像部对形成于掩模m的图案的图像进行拍摄。这样，掩模保持装置1作为进行掩模m的检查的检查装置而发挥功能。摄像部、照明部已经公知，因此省略详细的说明。36.掩模保持部10主要具有沿着大致铅垂方向延伸设置的大致棒状的纵框部11a、11b、把持掩模m的夹紧部12、大致框状的框架13、以及树脂片14。框架13以包围被铅垂地保持的掩模m的外周的方式形成为大致框状，纵框部11a、11b设置于框架13。37.纵框部11a、11b为了与不同大小的掩模对应而能够沿着水平方向(x方向)移动。关于将纵框部11a、11b设置为能够移动的方式及移动机构，可以使用已经公知的各种技术。38.纵框部11a、11b具有从与掩模m的表面大致正交的方向(z方向)观察时与掩模m的周缘重叠的部分。纵框部11a、11b将掩模m保持为掩模m的表面m1(形成有图案的面、参照图3)与xy平面大致平行。39.在纵框部11a、11b的掩模m所抵接的面(基准面11c、11d、参照图3)上，设置有树脂片14。树脂片14例如由超高分子量聚乙烯树脂形成。40.在纵框部11a、11b设置有夹紧部12。夹紧部12具有夹紧部12a～12j。在纵框部11a设置有夹紧部12a、12b、12c、12d、12e，在纵框部11b设置有夹紧部12f、12g、12h、12i、12j。夹紧部12a与夹紧部12f对置，夹紧部12b与夹紧部12g对置，夹紧部12c与夹紧部12h对置，夹紧部12d与夹紧部12i对置，夹紧部12e与夹紧部12j对置。41.夹紧部12a～12j的前端能够在与掩模m抵接的抵接位置和不与掩模m抵接的退避位置之间沿着大致水平方向(x方向)移动。42.需要说明的是，在本实施方式中，在纵框部11a设置有五个夹紧部12，在纵框部11b设置有五个夹紧部12，但夹紧部12的位置及数量不限于此。43.图3是表示掩模保持装置1中的掩模保持部10的概要的、从y方向观察时的俯视图。在图3中，关于一部分结构省略图示。44.在图3中，夹紧部12a～12j(在图3中不能视觉辨识夹紧部12b～12e、12g～12j)处于与掩模m抵接的抵接位置。纵框部11a、11b分别具有在夹紧部12a～12j处于抵接位置时与掩模m的背面m2抵接的基准面11c、11d。当夹紧部12a～12j按压掩模m时，背面m2被按压于基准面11c、11d。需要说明的是，在基准面11c、11d设置有树脂片14，但以下将树脂片14包含在内而称作基准面11c、11d。45.在掩模m的表面m1形成有图案，使用摄像部及照明部来进行图案的检查。图案形成于距掩模m的周缘10mm～20mm左右的内侧的区域。掩模m与基准面11c、11d抵接的距离x2比未形成图案的部分的从掩模m的周缘起的距离x1(距离x1为大致10mm)小，为大致5～6mm左右。46.图4是表示夹紧部12a的概要的图。在图4中，双点划线表示夹紧部12a处于退避位置的状态，实线表示夹紧部12a处于抵接位置的状态。需要说明的是，夹紧部12a～12j为同一结构。不过，夹紧部12a～12e与夹紧部12f～12j呈左右对称。47.夹紧部12a主要具有夹紧件121、夹板122、卸料螺钉(stripper bolt)123及弹性构件124。48.夹紧件121设置于夹紧部12a的前端。夹板122设置于夹紧件121与框架13(在图4中省略图示)之间。夹板122设置为相对于框架1 3能够移动，并借助未图示的驱动部沿着大致水平方向移动。当夹板122沿着大致水平方向移动而夹紧部12a移动到抵接位置时，夹紧件121与掩模m抵接。49.夹紧件121由聚醚醚酮树脂(peek)等耐热性、机械强度优异的树脂形成。夹紧件121具有：主体部121a，其从铅垂上方向(+y方向)或铅垂下方向(-y方向)观察时的形状为大致梯形形状；以及安装部121b，其向夹板122侧突出。50.主体部121a的前端面121c是与掩模m抵接的面，且相对于与基准面11c大致正交的面p倾斜。主体部121a的前端面121c的相反侧的面是滑动面121d，该滑动面121d与夹板122抵接，是夹紧件121与夹板122之间滑动的滑动面。51.与基准面11c大致正交的面p和前端面121c所成的角度θ1比大致45度小。由于前端面121c与面p所成的角度θ1比大致45度小，从而能够使掩模m的棱线e与前端面121c抵接而避免前端面121c与掩模m的表面m1接触，使异物不会附着于表面m1，异物对形成于表面m1的图案信息产生损害。在本实施方式中，角度θ1为大致10度。52.滑动面121d与面p所成的角度θ2比角度θ1大。在本实施方式中，角度θ2为大致45度。夹板122对夹紧件121朝下按压的力随着角度θ2变大而变强。53.安装部121b形成为在主体部121a的大致中央向与前端面121c相反的一侧突出。安装部121b的与前端面121c相反侧的面(滑动面121h)与夹板122抵接，是夹紧件121与夹板122之间滑动的滑动面。滑动面121h与滑动面121d大致平行，滑动面121h与面p所成的角度等于角度θ2。54.夹板122由铁等金属形成，且具有夹紧件121与夹板122之间滑动的滑动面即滑动面122a、122b。滑动面122a与滑动面121d抵接，滑动面122b与滑动面121h抵接。滑动面122a、122b与滑动面121d、滑动面121h大致平行，滑动面122a、122b与面p所成的角度等于角度θ2。55.在夹紧件121形成有螺纹孔121k和孔121l。螺纹孔121k与孔121l一体，孔121l在滑动面121h开口。另外，在夹板122形成有长孔122e及沉孔122f。长孔122e贯通夹板122。长孔122e及沉孔122f为一体，一端在上表面122g开口，另一端在滑动面122b开口。长孔122e及沉孔122f与滑动面122b大致正交。在孔121l、长孔122e及沉孔122f中插入有卸料螺钉123。另外，卸料螺钉123的螺纹部与螺纹孔121k螺合。56.使卸料螺钉123从上表面122g侧插入孔121l、长孔122e及沉孔122f，将卸料螺钉123的前端的螺纹部螺合于螺纹孔121k。其结果是，夹紧件121与夹板122由卸料螺钉123连结，以免夹紧件121从夹板122脱离。从与长孔122e及沉孔122f的中心轴大致正交的方向观察，长孔122e及沉孔122f为长孔穴，因此卸料螺钉123能够沿着长孔122e及沉孔122f的长度方向在长孔122e及沉孔122f的内部滑动(参照图4的虚线箭头)。不过，将夹紧件121与夹板122以能够滑动的方式连结的方法不限于此。57.在夹紧件121(主体部121a)形成有孔121i、121j。孔121i与孔121j一体，孔121j比孔121i粗，孔121i比孔121j长。另外，在夹板122形成有孔122c、122d。孔122c与孔122d一体，孔122c比孔122d粗，孔122d比孔122c长。在孔121i、121j及孔122c、122d中插入有弹性构件124。58.弹性构件124是例如钢琴线等能够弹性变形的线材。弹性构件124从±y侧插入孔121j、孔121i、孔122c及孔122d，由未图示的螺丝固定于夹板122。孔121i、122d的宽度与弹性构件124的直径大致相同，孔121j、122c的宽度比弹性构件124的直径大。59.当夹板122从待机位置朝向抵接位置移动(在图4中向-x方向移动，参见图4的黑箭头)时，前端面121c抵接于掩模m的侧面s与倒角部c之间的棱线e。在前端面121c与棱线e抵接之后也利用未图示的驱动部对夹板122施加使其向-x方向移动的方向的力。60.在从铅垂上方向或铅垂下方向观察时，通过前端面121c与棱线e抵接的位置且与前端面121c大致正交的线(参见图4的单点划线)与滑动面121d、122a交叉。因此，在施加于夹板122的作用力下，夹紧件121进行平行移动(夹紧件121不旋转)。61.在本实施方式中，角度θ2为大致45度，因此当将夹板122被未图示的驱动部沿着-x方向施加的力设为力f时，夹紧件121由夹板122施加朝下的力f。62.这样，夹紧件121沿着滑动面122a、122b向前端面121c侧滑动(参见图4的黑箭头)。通过前端面121c与棱线e之间的摩擦，即便夹紧件121相对于夹板122滑动，前端面121c与棱线e之间的位置关系也不变化。因此，掩模m被夹紧件121沿着掩模m的厚度方向(在此是-z方向)压入，掩模m的背面m2以力f按压于基准面11c。63.孔121i、122d的宽度与弹性构件124的直径大致相同，孔121j、122c的宽度比弹性构件124的直径大，因此随着夹紧件121相对于夹板122移动，弹性构件124发生弹性变形。64.由于弹性构件124发生弹性变形，从而夹紧件121被弹性构件124施加远离基准面11c的方向的力。当由未图示的驱动部使夹板122从抵接位置朝向待机位置移动(在图3中是向+x方向移动)时，前端面121c从棱线e离开，由弹性构件124将夹紧件121向+z方向推起。弹性构件124设置于夹紧件121及夹板122的±y侧，夹紧件121从y方向的两侧平衡性良好地受力，因此夹紧件121进行平行移动。65.返回图1、2的说明。在掩模保持部10的下端附近设置有保持单元20。保持单元20载置于基座30，且具有：多个保持块21、22，它们与掩模m的配置于铅垂方向下侧的下端面抵接；固定部26；以及移动机构28。保持块21、22沿着水平方向、在此为掩模m的长边的延伸设置方向即x方向设置有多个。在本实施方式中，保持单元20具有各两个保持块21、22，但保持单元20所具有的保持块21、22的数量不限于此，保持块21、22一并有多个即可。例如，可以是保持单元20具有各一个保持块21、22，也可以是保持单元20具有各三个保持块21、22。66.保持块21、22的水平方向的宽度不同，其他结构是同样的。保持块21、22主要具有：接触块211、221，其与掩模m的下端面抵接；以及基块212、222，其以能够沿着大致水平方向移动的方式设置于接触块的下侧。67.保持块21、22具有使基块212、222沿着大致水平方向(在此为x方向)移动的移动机构28。移动机构28具有：轴23，其将设置于基块212、222的孔贯通；以及弹性构件24。轴23沿着x方向延伸设置，当经由未图示的驱动部使轴23沿着x方向移动时，基块212、222沿着水平方向移动。弹性构件24对基块212、222施加+x方向的力。68.另外，保持块21、22具有固定部26。在由移动机构28使基块212、222移动之后，固定部26将基块212、222固定以免基块212、222移动。69.接着，详细说明保持块21、22。图5是表示保持块21、22的概要的立体图。70.首先，说明接触块211、221。接触块211、221分别具有：上侧块211a、221a，其与掩模m的下端面抵接；以及下侧块211b、221b，其设置于上侧块211a、221a的下侧。上侧块211a、221a能够在掩模m的厚度方向(在此为-z方向)上相对于下侧块211b、221b移动。也就是说，上侧块211a、221a能够在如下两个状态之间移动，即，当从铅垂上方向观察时上侧块211a、221a与下侧块211b、221b完全重叠的状态、以及当从铅垂上方向观察时上侧块211a、221a相对于下侧块211b、221b偏移的状态。71.上侧块211a、221a由结晶性的树脂形成。在本发明中，结晶性的树脂包括：包含聚醚醚酮(peek)、单体浇注尼龙的聚酰胺树脂等的结晶性的树脂、以及以四氟化乙烯(ptfe)为主材料的热塑性自润滑材料(turcite)等结晶性的树脂为主原料的树脂。由此，即便100kg左右的玻璃制的掩模m与上侧块211a、221a抵接，也能够防止因应力集中所引起的掩模m的破损。下侧块211b、221b由铁等金属形成。72.在从铅垂上方向或铅垂下方向观察时，上侧块211a、221a及下侧块211b、221b的形状大致相同。73.接触块211、221包括板簧25。板簧25将上侧块211a与下侧块211b、以及上侧块221a与下侧块221b连结，是从当从铅垂上方向观察时上侧块211a、221a相对于下侧块211b、221b偏移的状态向当从铅垂上方向观察时上侧块211a、221a与下侧块211b、221b完全重叠的状态复原的复原机构。74.板簧25沿面211c、211d设置，将上侧块211a与下侧块211b连结，所述面211c、211d大致沿上侧块211a及下侧块211b的铅垂方向，且与掩模m的移动方向(z方向)大致正交。另外，板簧25沿面221c、221d设置，将上侧块221a与下侧块221b连结，所述面221c、221d大致沿上侧块221a及下侧块221b的铅垂方向，且与掩模m的移动方向(z方向)大致正交。板簧25的上端附近固定于上侧块211a、221a，下端附近固定于下侧块211b、221b。也就是说，在上侧块211a、221a沿着-z方向移动了的状态(上侧块211a、221a相对于下侧块211b、221b偏移的状态)下，板簧25对上侧块211a、221a施加使上侧块211a、221a返回移动前的状态(上侧块211a、221a与下侧块211b、221b完全重叠的状态)的方向的力、即+z方向的力。75.需要说明的是，在本实施方式中，作为板簧25，使用厚度为大致0.1mm左右的不锈钢的板材。尤其是，使用不锈钢中的容易具有弹性的铁素体系不锈钢。不过，板簧25的形式(形状、材质)不限于此。76.在上侧块211a与下侧块211b之间以及上侧块221a与下侧块221b之间涂布有合成油。在本发明中，合成油是指基油不包含矿物油的油，例如包括以合成油为基础油的发动机油、合成油中作为增稠剂而添加了锂皂的锂皂系油脂。77.上侧块211a、221a分别相对于下侧块211b、221b能够移动。在上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间，分别涂布有合成油，因此上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间的摩擦系数小，能够以小的力使上侧块211a、221a移动。另外，由于使用蒸气压低的合成油作为润滑剂而，从而涂布于润滑面的润滑剂的量不减少，能够稳定地使上侧块211a、221a滑动。78.需要说明的是，为了减小上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间的摩擦系数，上侧块211a、221a的与下侧块211b、221b对置的滑动面及下侧块211b、221b的与上侧块211a、221a对置的上侧的滑动面希望是高的面精度、在此是最高点与最低点之间的差异为3μm以下。79.另外，在本实施方式中，希望的是，使用低粘度的合成油，当对上侧块211a、221a施加20kgf的载荷时油膜被切断，当除去载荷时油膜复原。另外，当合成油的粘度过低时，油膜变得过薄，由此不能覆盖上侧块211a、221a、下侧块211b、221b的表面的凹凸，无法充分得到减小摩擦系数的效果。因此，例如，在作为合成油而使用发动机油的情况下，希望使用100℃时的运动粘度为10m2/s左右(9.3m2/s～12.5m2/s)的发动机油。80.接下来，关于基块212、222的移动及与基块212、222的移动相伴的接触块211、221的移动进行说明。81.在基块212、222设置有沿着设置于基座30的滑轨21a、22a移动的可动部21b、22b。另外，在基块212、222分别设置有孔212a、222a，在孔212a、222a中插入有轴23。基块212、222借助轴23移动而沿着滑轨21a、22a在x方向上移动。82.另外，在孔212a、222a设置有沉孔212b、222b，在沉孔212b、222b中插入有弹性构件24。弹性构件24的一端设置于沉孔212b、222b的底面，弹性构件24的另一端设置于轴23。因此，弹性构件24对基块212、222施加向+x方向移动的方向的力。83.在可动部21b、22b分别设置有固定部26。固定部26使可动部21b、22b相对于滑轨21a、22a固定，由此基块212、222的x方向的位置被固定。84.接触块211、221的与基块212、222对置的面211e、221e及基块212、222的与接触块211、221对置的面212c、222c大致平行，且相对于水平面倾斜。85.在面212c、222c设置有滑轨21c、22c，在面211e、222e设置有沿着滑轨21c、22c移动的可动部21d、22d。因此，当基块212、222沿着x方向移动时，可动部21d、22d沿着滑轨21c、22c移动，由此接触块211、221沿着面212c、222c移动。其结果是，接触块211、221沿着上下方向(y方向)移动。另外，保持块21、22分别独立，因此能够按每个保持块21、22来变更高度方向(y方向)的位置。86.关于这样构成的掩模保持装置1的作用进行说明。首先，利用移动机构28及未图示的驱动部使保持块21、22向下方(-y方向)移动。接着，用装载机(未图示)来把持掩模m，将掩模m插入掩模保持装置1的内部。由此，在框架13的近前侧(+z侧)配置掩模m(参见图1)。87.之后，由移动机构28及未图示的驱动部使保持块21、22向上方(+y方向)移动，使保持块21、22与掩模m的下端面抵接。上侧块211a、221a为树脂制，因此不会产生掩模m的破裂等。88.另外，保持块21、22的高度可分别调整，因此无论掩模m的下端面的位置的波动如何，均能够使掩模m可靠地抵接于接触块211、221。89.接着，使夹紧部12从待机位置向抵接位置移动。其结果是，夹紧部12把持掩模m，使掩模m沿着掩模m的厚度方向(在此为-z方向)移动。其结果是，掩模m的背面m2被按压于基准面11c(参见图3)。90.在夹紧部12使掩模m向-z方向移动时，掩模m所抵接着的上侧块211a、221a与掩模m一起向-z方向平行移动。由此，能够防止掩模m的变形。另外，在上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间涂布有合成油，因此上侧块211a、221a容易与掩模m一起移动。91.接着，使用未图示的摄像部及照明部来进行掩模m的检查。在掩模m的检查结束后，利用装载机(未图示)来把持掩模m，将掩模m向掩模保持装置1之外搬出。由装载机(未图示)把持掩模m，当保持块21、22与掩模m的下端面之间的抵接被解除时，由于板簧25的作用力，上侧块211a、221a向+z方向移动。92.根据本实施方式，在将掩模m向基准面按压时，能够使掩模m整体朝向基准面11c、11d顺畅移动。其结果是，能够防止掩模m的变形、以及由此引起的检查时的不良状况。93.图6是说明掩模m的移动的情形的图，(a)是表示掩模m的上端部(+y侧的端部)的情形的图，(b)是表示掩模m的下端部(-y侧的端部)的情形且使用了以往的保持块21’、22’的情况的图，(c)是表示掩模m的下端部(-y侧的端部)的情形且使用了本实施方式的保持块21、22的情况的图。94.需要说明的是，掩模m一般通过在石英玻璃的基板上蒸镀铬的膜而形成，但由于该膜的张力，多是掩模m变形为膜面(表面m1)凹陷的大致碗型。并且，掩模m的左右两端被按压于纵框部11a、11b，由此掩模m的左右两端被矫正为直线状。因此，在图6中，说明当从铅垂上方向观察时掩模m以表面m1凹陷的方式弯曲的状态的例子。95.如图6的(a)所示那样，掩模m的上端部未与保持块21、22抵接，因此夹紧部12按压掩模m的两端，由此在将掩模m的左右两端向纵框部11a、11b按压时掩模m的弯曲的程度不变化。这在使用以往的保持块21’、22’的情况下与本实施方式均是同样的。96.如作为以往的例子的图6的(b)所示那样，在使用不能沿着z方向移动的保持块21’、22’的情况下，掩模m的下端部与保持块21’、22’抵接，因此对于由保持块21’、22’保持着的部分，掩模m不能沿着z方向移动。其结果是，当利用夹紧部12将掩模m的左右两端按压于纵框部11a、11b时，关于掩模m的下端部，仅掩模m的两端部分沿着-z方向移动，掩模m发生变形。97.关于掩模m的上端部，掩模m的弯曲的程度不变化，因此在使用以往的保持块21’、22’的情况下，在掩模m的左右两端被按压于纵框部11a、11b的状态下，掩模m的上端的弯曲未被矫正而掩模m的下端发生变形，在掩模m的上端与下端处弯曲的方向、程度发生变化。其结果是，形成于掩模m的图案的间隔(比例尺)根据掩模m的位置而变化。98.相对于此，如作为本实施方式的图6的(c)所示那样，在掩模m的下端部与上侧块211a、221a一起沿着z方向移动的情况下，在掩模m平行移动时，掩模m的下端部处的弯曲的程度不发生变化。即，在掩模m的左右两端被按压于纵框部11a、11b的状态下，掩模m的上端及下端均弯曲同等程度(掩模m呈半管状弯曲)。因此，在掩模m的上端与下端处弯曲的方向、程度大致一致，不会发生根据掩模m的位置的不同而比例尺变化这样的问题。99.另外，根据本实施方式，在上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间涂布有合成油，因此上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间的摩擦系数小，能够以小的力来使上侧块211a、221a、即掩模m沿着z方向移动。另外，合成油的蒸气压低，因此涂布于润滑面的润滑剂的量不减少，能够长时间稳定地得到良好的润滑。另外，由于合成油的蒸气压低而不会蒸发，因此能够防止如下情况：蒸发了的油进入掩模m与贴附于掩模m的薄膜之间而在加工时产生不良状况。100.需要说明的是，在本实施方式中，接触块211、221包括板簧25，板簧25使上侧块211a、221a从沿着-z方向移动了的状态返回原来的位置，但使上侧块211a、221a从沿着-z方向移动了的状态返回原来的位置的方法不限于此。将上侧块211a与下侧块211b及上侧块221a与下侧块221b连结、且使上侧块211a、221a从沿着-z方向移动了的状态返回原来的位置的复原机构除了板簧以外，还可以使用各种各样的弹性构件。作为弹性构件，例如可以使用螺旋弹簧、碟形弹簧，也可以使用橡胶等弹性体。另外，作为复原机构，也可以采用使用了空气、油等流体的工作缸机构、使用了致动器的机构等。不过，通过使用板簧作为复原机构，能够以简单的结构来可靠地使上侧块211a移动。101.另外，在本实施方式中，在上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间涂布有润滑剂(在此为合成油)，但减小上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间的摩擦系数的方法不限于此。102.图7是表示变形例的保持块21a的概要的图。保持块22a的结构与保持块21a的结构相同，因此省略说明。103.保持块21a具有上侧块211a、下侧块211b及树脂片21e。树脂片21e是由具有自润滑性的树脂形成的片。在本实施方式中，作为由具有自润滑性的树脂形成的片，使用由超高分子量聚乙烯(upe)形成的片，但由具有自润滑性的树脂形成的片不限于此。例如，由具有自润滑性的树脂形成的片中也包括将作为具有自润滑性的树脂的硅酮涂覆于纸、树脂片等薄膜状的构件的表面而得到的片。104.需要说明的是，在本实施方式中，树脂片21e是大致25μm～大致100μm左右的薄膜状的构件，可忽略掩模m的载荷所引起的树脂片21e的变形。105.根据本变形例，可减小上侧块211a与下侧块211b之间的摩擦系数，而以小的力使上侧块211a移动。106.图8是表示变形例的保持块21b的概要的图。保持块22b的结构与保持块21b的结构相同，因此省略说明。107.保持块21b具有上侧块211a、下侧块211b及树脂片21e、21f。树脂片21f是与树脂片21e同样的树脂片，树脂片21e与树脂片21f之间的摩擦系数小。108.根据本变形例，在树脂片21e与树脂片21f之间发生滑动，因此能够以小的力来使上侧块211a移动。109.另外，在本实施方式中，由结晶性的树脂形成上侧块211a、221a，但上侧块的形式不限于此。110.图9是表示变形例的保持块21c的概要的图。保持块22b的结构与保持块21b的结构相同，因此省略说明。111.保持块21c具有上侧块211f和下侧块211b。上侧块211f具有树脂块211g和金属块211h。树脂块211g由结晶性的树脂形成，以防止因掩模m抵接时的应力集中所引起的破损。金属块211h与下侧块211b同样由金属、例如铁形成。树脂块211g与金属块211h由螺钉211j固定。112.金属块211h的与下侧块211b对置的面、以及下侧块211b的与金属块211h对置的面是被实施了在平坦面上形成微小凹坑的刮研加工的刮研面。由此，当上侧块211f被施加20kgf的载荷时油膜被切断而摩擦系数变大，当除去载荷时油膜复原而摩擦系数变小。其结果是，能够以小的力而容易地移动上侧块211f，并且在上侧块211f移动后使上侧块211f不容易移动。113.另外，除了图7～9所示的形态以外，为了减小上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间的摩擦系数，例如可以采用使用了静压空气轴承的气动滑块，也可以在上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间设置滚动体(滚珠、滚轮等)，还可以将磁铁以同极对置的方式设置于上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间。114.另外，在本实施方式中，上侧块211a、221a由聚酰胺树脂、热塑性自润滑材料形成，在上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间涂布有合成油，但合成油的涂布不是必需的。在该情况下，希望的是，使用结晶性的树脂中的摩擦系数小(0.1左右)的超高分子量聚乙烯(upe)树脂。不过，在上侧块211a、221a与下侧块211b、221b之间涂布合成油的情况下，希望使用即便受到20kg左右的载荷也几乎不变形的聚酰胺树脂、热塑性自润滑材料。115.以上，参照附图详细叙述了本发明的实施方式，但具体结构并不限定于本实施方式，也包括不脱离本发明的主旨的范围内的设计变更等。116.在本发明中，“大致”是不仅包括严格相同的情况，还包括不失同一性程度的误差、变形的概念。例如，大致立方体形状不限定于严格为立方体形状的情况。另外，例如，在仅表现为铅垂、一致等的情况下，不仅是严格铅垂、一致等情况，也包括大致铅垂、大致一致等情况。另外，本发明中“附近”是指，例如处于a的附近时，表示处于a的附近、可以包含a也可以不包含a的概念。117.附图标记说明118.1：掩模保持装置119.10：掩模保持部120.11a、11b：纵框部121.11c、11d：基准面122.12、12a～12j：夹紧部123.13：框架124.14：树脂片125.20：保持单元126.21、21’、21a、21b、22、22’、22a、22b：保持块127.21a、21c、22a、22c：滑轨128.21b、21d、22b、22d：可动部129.21e、21f：树脂片130.23：轴131.24：弹性构件132.25：板簧133.26：固定部134.28：移动机构135.30：基座136.121：夹紧件137.121a：主体部138.121b：安装部139.121c：：前端面140.121d、121h：滑动面141.121i、121j、121l：孔142.121k：螺纹孔143.122：夹板144.122a、122b：滑动面145.122c、122d：孔146.122e：长孔147.122f：沉孔148.122g：上表面149.123：卸料螺钉150.124：弹性构件151.211、221：接触块152.211a、211f、221a：上侧块153.211b、221b：下侧块154.211c、211d、211e、221c、221d、222e：面155.211g：树脂块156.211h：金属块157.211j：螺钉158.212、222：基块159.212a、222a：孔160.212b、222b：沉孔161.212c、222c：面。









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