辐射源设备及其使用方法与流程

摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术1.本揭露是关于辐射源设备及其使用方法。背景技术：2.光微影是利用光照射具有图案的主光罩以将图案转移到覆盖半导体基板的光敏材料上的制程。在半导体工业的历史上，通过减小光微影辐射源的曝光波长以改进光微影解析度，已经实现了较小的整合晶片最小特征大小。使用极紫外(extreme ultraviolet；euv)光的极紫外微影技术是用于新兴技术节点的有前景的下一代微影技术解决方案。技术实现要素：3.根据本揭示的一些实施方式，提供了一种使用辐射源设备的方法。方法包括：将一第一液滴产生器组装到一容器的一接口上；将一靶液滴从该第一液滴产生器喷射到在一激发区域，其中该激发区域在位于该容器的一端部处的一收集器的前方；朝向该激发区域发射一激光，使得该靶液滴由该激光加热以产生极紫外辐射；停止该靶液滴的该喷射；在停止该靶液滴的该喷射之后，从该容器的该接口拆卸该第一液滴产生器；在从该容器的该接口拆卸该第一液滴产生器之后，将一清洗装置穿过该接口插入该容器中；以及通过使用该清洗装置，清洗该收集器。4.根据本揭示的一些实施方式，提供了一种使用辐射源设备的方法。方法包括：将第一液滴产生器组装到容器的接口上；通过第一液滴产生器将靶液滴喷射到容器中；通过将激光发射到靶液滴上产生极紫外辐射；关闭第一液滴产生器；从容器的接口拆卸第一液滴产生器；将机械臂穿过接口插入容器中，其中机械臂固持侦测器；以及通过侦测器侦测在容器的顶部处的锥状结构上的锡污染物。5.根据本揭示的一些实施方式，辐射源设备包括容器、收集器、液滴产生器、第一机械臂、第一机器人控制器、清洗装置、第二机械臂、及第二机器人控制器。收集器在容器的端部处。液滴产生器可拆卸地安装在容器上。第一机器人控制器控制第一机械臂将液滴产生器移动远离容器。回应于将液滴产生器移动远离容器，第二机器人控制器控制第二机械臂将清洗装置移动到容器中并且清洗收集器。附图说明6.当结合随附附图阅读时，自以下详细描述将最好地理解本揭示的态样。应注意，根据工业中的标准实务，各个特征并非按比例绘制。事实上，出于论述清晰的目的，可任意增加或减小各个特征的尺寸。7.图1a及图1b是根据本揭示的一些实施方式的用于使用euv辐射源的方法的流程图；8.图2、图3a、图4、图5a至图5b、图6、及图7示出了根据本揭示的一些实施方式的用于在不同阶段使用euv辐射源的方法；9.图3b示出了根据本揭示的一些实施方式的液滴产生器的放大视图；10.图5c是根据本揭示的一些实施方式的euv辐射源及机械臂的一部分的示意图；11.图5d示出了根据本揭示的一些实施方式的机械臂在三维空间中的移动；12.图8及图9是根据本揭示的一些实施方式的固持抽取管的机械臂的示意图；13.图10是根据本揭示的一些实施方式的euv辐射源及机械臂的一部分的示意图；14.图11是根据本揭示的一些实施方式的euv辐射源及机械臂的一部分的示意图；15.图12是根据本揭示的一些实施方式的euv辐射源及机械臂的一部分的示意图；16.图13至图14示出了根据本揭示的一些实施方式的用于在不同阶段使用euv辐射源的方法；17.图15是根据本揭示的一些实施方式的用于移动液滴产生器及移动清洗装置的机械臂的示意图；18.图16是根据本揭示的一些实施方式的微影系统的示意图。19.【符号说明】20.100:方法21.102:步骤22.104:步骤23.106:步骤24.108:步骤25.110:步骤26.112:步骤27.114:步骤28.116:步骤29.118:步骤30.120:步骤31.122:步骤32.124:步骤33.200:euv辐射源34.210:容器35.210g:接口36.210o:出口孔37.212:盖38.212a:叶片39.212h:孔洞40.220:激光源41.230:收集器42.240:液滴产生器43.240':液滴产生器44.242:贮存器45.244:喷嘴46.244c:毛细管47.244s:感测器48.250:液滴捕获器49.260:下部锥状结构50.270:气体供应模块51.280:排气系统52.282:排气线53.284:泵浦54.286:气体出口结构55.290:中间聚焦帽模块56.300:机械臂57.300o:空腔58.312:臂部分59.312/314:臂部分60.312a:第一臂区段61.312b:第二臂区段62.314:臂部分63.314-e1:前端64.314-e2:后端65.318:驱动组件66.320:机器人控制器67.400:燃料容器68.412:抽取管69.412o:开口70.414:泵浦71.510:侦测器72.510s:影像接收表面73.600:机械臂74.610:可旋转基底75.620:可旋转臂76.630:可旋转前臂77.640:可旋转腕部构件78.650:夹持器79.660:机器人控制器80.900:微影系统81.910:照射器82.920:遮罩台83.930:遮罩84.950:基板台85.962:光强度感测器86.964:光强度感测器87.4122:第一部分88.4124:第一部分89.a1:轴90.a2:轴91.a3:轴92.a4:轴93.bw:波纹管组件94.c1:电浆形成点95.el:euv光96.fe:前端97.fr:燃料接收元件98.fr1:第一部分99.fr2:第二部分100.fr3:第三部分101.fr4:第四部分102.lb:激光束103.lep:微影曝光制程104.ob:水平遮挡条105.ow:窗106.pc:控制器107.pd:碎屑108.se:支撑结构109.sr:护罩110.td:燃料111.w:半导体基板112.x:方向113.y:方向114.z:方向具体实施方式115.以下揭示内容提供许多不同的实施例或实例，用于实施所提供标的的不同特征。下文描述部件及布置的具体实例以简化本揭示。当然，此等仅为实例且并不意欲为限制性。举例而言，以下描述中在第二特征上方或第二特征上形成第一特征可包括以直接接触形成第一特征及第二特征的实施例，且亦可包括在第一特征与第二特征之间形成额外特征以使得第一特征及第二特征可不处于直接接触的实施例。此外，本揭示可在各个实例中重复元件符号及/或字母。此重复是出于简便性及清晰的目的且本身并不指示所论述的各个实施例及/或构造之间的关系。116.另外，为了便于描述，本文可使用空间相对性术语(诸如“下方”、“之下”、“下部”、“之上”、“上部”及类似者)来描述诸图中所示出的一个元件或特征与另一元件或特征的关系。除了诸图所描绘的定向外，空间相对性术语意欲涵盖使用或操作中元件的不同定向。设备可经其他方式定向(旋转90度或处于其他定向)且由此可同样地解读本文所使用的空间相对性描述词。117.极紫外(extreme ultraviolet；euv)光微影系统使用极紫外辐射。一种产生极紫外辐射的方法是将激光发射到锡液滴。随着将锡液滴产生到euv辐射源容器中，激光撞击锡液滴并且将锡液滴加热到临界温度，此临界温度导致锡原子释放其电子并且变成游离锡液滴的电浆。游离锡液滴发射光子，此等光子由收集器收集并且作为euv辐射被提供到光微影系统。收集器经设计有适宜的涂布材料及形状，用作euv收集、反射及聚焦的反射镜。118.在一些实施方式中，游离锡液滴的电浆可冷却并且变成液体及小颗粒，其分别称为小滴(drip)及液滴(drop)，并且可统称为碎屑。碎屑可沉积到收集器的表面上，进而在其上导致污染。随着时间的推移，收集器的反射率归因于碎屑积累及其他因素(诸如离子损坏、氧化、及起泡)而劣化。在一些情况下，为了保持euv辐射功率及生产率，收集器经移出用于清洗锡污染物，这可能花费大量时间。在本揭示的一些实施方式中，进行在线清洗制程，以在不移动收集器的情况下清洗收集器的表面，借此延长收集器的寿命并且获得大量用于生产的工具时间。119.图1a及图1b是根据本揭示的一些实施方式的用于使用euv辐射源的方法100的流程图。方法100可包括步骤102-118。在步骤102处，将液滴产生器组装到容器的接口(port)上。随后，执行包括步骤104及106的微影曝光制程lep。举例而言，在步骤104处，液滴产生器将靶液滴(例如，锡液滴)喷射到容器中。在步骤106处，将激光发射到靶液滴上，以从容器产生极紫外(euv)光。在步骤108处，量测euv光的强度。在步骤110处，侦测在液滴产生器中的喷嘴的堵塞状况。在步骤112处，从容器的接口拆卸液滴产生器。在步骤114处，根据所量测的euv光的强度，决定是否清洗收集器。在步骤116处，若此决定决定了收集器需要清洗，将机械臂穿过接口插入容器中。在步骤116处，通过使用由机械臂固持的清洗装置，来清洗收集器。在步骤118处，通过机械臂固持的侦测器，来侦测在容器上方的锥状结构。在步骤120处，将机械臂移动远离容器。在步骤122处，将液滴产生器组装到接口上。将理解，额外操作可以在图1a及图1b所示的步骤102-124之前、期间、及之后提供，且可以替代或消除下文所描述的一些操作以获得本方法的额外实施例。操作/制程的顺序是可互换的。120.图2、图3a、图4、图5a至图5c、及图6示出了根据本揭示的一些实施方式的用于在不同阶段使用euv辐射源200的方法100。参见图1a及图2，方法100开始于步骤102，其中将液滴产生器240组装到euv辐射源200的容器210的接口210g上。121.在一些实施方式中，euv辐射源200可与扫描器(亦即，如图16所示的微影系统900)光学耦接。euv辐射源200可包括容器210、激光源220、收集器230、波纹管组件bw、靶液滴产生器240、液滴捕获器250、及下部锥状结构260。在一些实施方式中，容器210具有围绕其通风系统的盖212。盖212可配置在收集器230周围。激光源220可在容器210的底侧处并且在收集器230下方。在一些实施方式中，波纹管组件bw经配置为用于接收液滴产生器240，并且具有连接到容器210的接口210g的端部。液滴捕获器250可与容器210的接口210g相对地安装。在一些实施方式中，下部锥状结构260具有锥体形状，其宽基底与盖212整合并且其窄顶部区段面向扫描器(亦即，微影系统900)。下部锥状结构260的锥体形状朝向容器210的出口孔210o渐缩。辐射源200可进一步包括在出口孔210o之外的中间聚焦(intermediate focus；if)帽模块(if-cap module)290，并且中间聚焦帽模块290用以向euv辐射el提供中间聚焦。122.液滴产生器240可包括贮存器242及连接到贮存器242的喷嘴244。在一些实施方式中，贮存器242可含有适宜的燃料td，当转换为电浆状态时此燃料td能够在euv范围中产生辐射。举例而言，燃料td可包括水、锡、锂、氙、或类似者。在一些实施方式中，元素锡可以是纯锡(sn)；锡化合物，例如，snbr4、snbr2、snh4；锡合金，例如，锡镓合金、锡铟合金、锡铟镓合金、或任何其他适宜的含锡材料。在一些实施方式中，通过将液滴产生器240组装到容器210的接口210g上，关闭容器210中的空间。123.参见图1a及图3a，方法进行到步骤104，其中液滴产生器240将燃料td的液滴喷射到辐射源200的容器210中的空间中。在本实施例中，在贮存器242内含有的燃料td被推出贮存器242及喷嘴244，借此穿过喷嘴244产生燃料td的液滴。燃料td可以下列形式递送：液体液滴、液体流、实体颗粒或群集、在液体液滴内含有的实体颗粒或在液体流中含有的实体颗粒。在一些实施方式中，液滴产生器240可实质上沿着x方向释放燃料td的液滴。124.仍参见图1a及图3a，方法进行到步骤106，激光束lb撞击到燃料td的液滴上，用于在容器210之外产生euv光el。在一些实施方式中，euv光el具有在约1nm与约100nm之间变化的波长。在某些实例中，euv光el具有以约13.5nm为中心的波长范围。在一些实施方式中，激光源220可包括二氧化碳(co2)激光源、钕掺杂的钇铝石榴石(nd:yag)激光源、或另一适宜激光源以产生激光束lb。将激光束lb导引穿过与收集器230整合的输出窗ow。输出窗ow采用实质上对激光束lb透明的适宜材料。导引激光束lb以加热燃料td，诸如锡液滴，借此产生高温电浆(例如，游离的锡液滴)，其进一步产生euv光el。将激光源220的脉冲与液滴产生器240的液滴喷射速率控制为同步的，使得燃料td与激光源220的激光脉冲一致地接收峰值功率。在一些实施方式中，euv辐射源200采用激光产生电浆(laser produced plasma；lpp)配置以产生电浆并且进一步由电浆产生euv光el。在一些替代实施方式中，辐射源200可采用双激光产生电浆(dual lpp)配置，其中激光源220是多个激光源的群集。125.在一些实施方式中，激光束lb可能或可能不撞击燃料td的每一个液滴。举例而言，燃料td的一些液滴可由激光束lb有意地错过。在本实施例中，液滴捕获器250与靶液滴产生器240相对地安装并且在燃料td的液滴的移动方向上安装。液滴捕获器250用以捕获由激光束lb错过的燃料td的任何液滴。126.收集器230可收集euv光el，并且将euv光el反射及聚焦到微影系统900，借此执行微影制程，这在图16中示出。收集器230经设计有适宜的涂布材料及形状，用作euv收集、反射及聚焦的反射镜。在一些实例中，收集器230的涂布材料包括反射多层(诸如多个mo/si膜对)并且可进一步包括在反射多层上涂布的覆盖层(诸如ru)以实质上反射euv光。收集器230的光轴可沿着与x方向正交的z方向，液滴产生器240实质上沿着该x方向产生燃料td的液滴，使得euv辐射源200可实质上沿着z方向发射euv光el。在一些实例中，收集器230经设计为具有椭圆几何形状。经由步骤104及106，euv辐射源200可发射euv光el，借此在一或多个半导体晶圆上执行一或多个微影制程。当euv辐射源200发射euv光el时，由于空气吸收euv辐射，容器210中的空间(例如，围绕盖212的空间)维持在真空环境中。127.在一些实施方式中，辐射源200可包括在接口210g下方的护罩(shroud)sr。护罩sr可由适宜材料(诸如陶瓷)制成。护罩sr可实质上沿着x方向延伸，液滴产生器240实质上沿着该x方向产生燃料td的液滴。护罩sr可遮挡从液滴产生器240释放的一些未成形的燃料td(例如，不呈液滴形式)，借此保护收集器230不受未成形的燃料td的污染。护罩sr可具有固定到收集器230的顶侧的端部。在一些实施方式中，护罩sr的长度可小于收集器230的顶侧的半径，使得护罩sr可能不遮挡电浆形成点c1(可互换地称为激发区域，其中液滴由激光激发)，其中激光束lb撞击燃料td的液滴。举例而言，燃料td的靶液滴可从液滴产生器240喷射到收集器230前方的激发区域(亦即，电浆形成点c1)，并且激光束lb朝向激发区域(亦即，电浆形成点c1)发射，使得燃料td的靶液滴通过激发激光加热以产生euv辐射。在一些实施方式中，电浆形成点c1可实质上位于收集器230沿着z方向的光轴处。128.在一些情况下，游离锡液滴可冷却并且变成液滴及小颗粒，其统称为碎屑。一些碎屑(后文称为碎屑pd)可沉积到收集器230的表面上，借此在其上导致污染。收集器的反射率归因于碎屑积累及其他因素(诸如离子损坏、氧化、及起泡)而劣化，使得在微影制程(参见图3a及图16)中euv光el的强度减小，这继而将降低微影制程(参见图3a及图16)的生产率。在一些实施方式中，在微影制程(参见图3a及图16)期间或之后，方法进行到步骤108，其中euv光的强度通过适宜的光强度感测器(例如，图16中的光强度感测器962及964)量测。可执行适宜的检查及计算方法来计算euv光el的强度，以便推断收集器230上的污染状况。129.燃料td中的污染可能导致喷嘴244堵塞(亦即，至少部分阻挡)，这可能限制喷嘴寿命。在一些实施方式中，在微影制程(参见图3a及图16)期间，侦测液滴产生器240的喷嘴244的堵塞状况。举例而言，参见图3b，喷嘴244的感测器244s可侦测喷嘴244的毛细管244c中的压力，并且与感测器244s电气连接的控制器pc可回应于侦测的压力而从感测器244s接收信号。控制器pc可根据来自感测器244s的信号决定是否执行维护制程。举例而言，若由感测器244s量测的压力过高(例如，高于决定的值，诸如400psi)，则喷嘴可损坏，使得锡在其头部堵塞，并且将进行维护制程来用新的液滴产生器替代液滴产生器240。参见图1a及图4，方法100进行到步骤112，其中从euv辐射源200的容器210的接口210g，拆卸液滴产生器240(参见图3a)。举例而言，接口210g不具有液滴产生器。在一些实施方式中，在维护制程(例如，从容器210的接口210g拆卸液滴产生器240)之前，液滴产生器240停止喷射燃料td的靶液滴。换言之，液滴产生器240可在维护制程(例如，从容器210的接口210g拆卸液滴产生器240)之前关闭。在一些实施方式中，从接口210g拆卸液滴产生器240将破坏容器210中的真空，并且euv辐射源200的元件可停止操作。举例而言，激光源220可在维护制程(例如，从容器210的接口210g拆卸液滴产生器240)之前关闭，使得激光束lb在从接口210g拆卸液滴产生器240期间或之后可能不发射到容器210中。130.控制器pc可是总体euv辐射源200的一部分。机器人控制器pc可包括电子记忆体及用以执行在电子记忆体中储存的程序指令的一或多个电子处理器。在一些实施方式中，机器人控制器pc可包括处理器、中央处理单元(cpu)、多处理器、分散式处理系统、特殊应用集成电路(asic)、或类似者。131.方法100进行到步骤114(参见图3a)，其中根据所量测的euv光的强度决定是否清洗收集器。在一些实施方式中，控制器(例如，控制器pc)可与光强度感测器962及964(参见图16)电气连接。控制器pc可从光强度感测器962及964(参见图16)接收信号并且根据来自光强度感测器962及964(参见图16)的信号决定是否执行清洗制程。在一些实施方式中，所量测的euv光el的强度与当收集器230干净时量测的参考值进行比较。若所侦测的euv光el的强度低于参考值达大于某一百分比(例如，约10％至约50％)，方法100进行到步骤116-118，其中对收集器230执行清洗制程。换言之，利用清洗制程执行液滴产生器的维护制程。若所侦测的euv光el的强度低于参考值达小于某一百分比(例如，约10％至约50％)，方法100跳过步骤116-122并且进行到步骤124，其中在不清洗收集器230的情况下将新的液滴产生器组装到容器210的接口210g上。换言之，液滴产生器的维护制程可在没有清洗制程的情况下执行。132.参考图1b及图5a至图5c。图5a示出了根据本揭示的一些实施方式的沿着方向y的euv辐射源200的示意性侧视图。图5b示出了沿着方向x的图5a的euv辐射源200的示意性侧视图，其中方向x、y、及z彼此正交。图5c是根据本揭示的一些实施方式的euv辐射源200及机械臂300的一部分的示意图。若此决定决定了收集器230需要清洗，则方法100进行到步骤116，其中将机械臂300穿过接口210g插入容器210中。在本实施例中，机械臂300可固持清洗装置410(参见图5c)。通过使用清洗装置410，方法100可进行到步骤118，其中对收集器执行在线清洗制程。在一些实施方式中，在步骤116及118处，收集器230可在维护制程期间在不移动收集器230的情况下清洗，这被称为在线清洗制程。在线清洗制程可延长收集器的寿命并且获得用于生产的大量工具时间。为了清楚说明，将图5b中的euv辐射源200示出为倾斜的，用于与扫描器(亦即，微影系统900)光学耦接。举例而言，euv光el沿着其发射的方向z关于重力方向(例如，图5b中的方向g)倾斜。133.在一些实施方式中，机械臂300可包括延伸臂部分312及可移动臂部分314，其中可移动臂部分314可以关于延伸臂部分312旋转。在一些实施方式中，可移动臂部分314亦可称为耦接到延伸臂部分312的臂区段。在一些实施方式中，延伸臂部分312可包括顺序连接的一或多个臂区段。举例而言，机械臂300的可移动臂部分314的前端314e1可以从容器210中的第一位置移动到容器210中的第二位置。在一些实施方式中，当可移动臂部分314移动时，延伸臂部分312保持静态。举例而言，当可移动臂部分314的前端314e1从第一位置移动到第二位置时，可移动臂部分314的后端314e2可保持在相同位置。134.在本揭示的一些实施方式中，为了防止可移动臂部分314撞击护罩sr，机械臂300的延伸臂部分312长于护罩sr并且与护罩sr相比延伸得更远。换言之，机械臂300的延伸臂部分312可延伸超出护罩sr。举例而言，机械臂300的延伸臂部分312的长度可大于收集器230的顶侧的半径。经由此构造，机械臂300的延伸臂部分312可延伸超出电浆形成点c1，并且可移动臂部分314的后端314e2不位于电浆形成点c1处。在一些替代实施方式中，机械臂300的延伸臂部分312可与护罩sr相比延伸得更远，但不延伸超出电浆形成点c1。在一些实施方式中，可移动臂部分314的后端314e2可位于电浆形成点c1处。135.参见图5c，清洗装置410用于清洗在收集器230的表面上积累的碎屑pd(参见图5a及图5b)。清洗装置410可包括夹持在机械臂300上的抽取管412及连接到抽取管412并且在容器210外部的泵浦414。泵浦414可从与抽取管412连接的容器210抽取气体。在一些实施方式中，抽取管412可被称为真空管。在一些实施方式中，泵浦414可被称为真空泵浦。将具有抽取管412的机械臂300穿过接口210g插入euv容器210中，使得收集器230可以在不移除的情况下得到清洗。136.在一些实施方式中，抽取管412可包括第一部分4122及连续连接到第一部分4122的第二部分4124，并且第一部分4122及第二部分4124分别固定到机械臂300的延伸臂部分312及可移动臂部分314。经由此构造，抽取管412的第一部分4122及第二部分4124可以与机械臂300的延伸臂部分312及可移动臂部分314的移动类似的方式移动。在一些实施方式中，通过移动/旋转机械臂300的可移动臂部分314，第二部分4124可以关于第一部分4122移动或旋转。举例而言，抽取管412的第二部分4124的前端fe可以从容器210中的第一位置移动到容器210中的第二位置。在一些实施方式中，抽取管412的开口412o可安装在机械臂300的可移动臂部分314的前端314e1上。在一些实施方式中，通过旋转机械臂300的部分314，抽取管412的开口412o移动到适宜位置以向收集器230的表面提供真空吸力。通过对收集器230的表面施加真空，清洗装置410可移除碎屑pd(参见图5a及图5b)，借此清洗收集器230。137.参见图5c，在一些实施方式中，机械臂300可包括在臂部分之间连接的一或多个关节。举例而言，机械臂300包括在延伸臂部分312与可移动臂部分314之间连接的关节316。关节316允许可移动臂部分314相对于延伸臂部分312旋转。举例而言，关节316可包括在延伸臂部分312与可移动臂部分314之间连接的适配器。图5d示出了根据本揭示的一些实施方式的在具有x、y、z方向上的轴的三维空间中的机械臂300的移动。参见图5d，机械臂300的可移动臂部分314可以关于x-y平面以可变高度角θ旋转及/或关于大致z方向(关于x-z平面示出)以可变方位角旋转。举例而言，方位角可以在约0度至约360度的范围中。举例而言，高度角θ可以在约0度至约360度、或约0度至约180度的范围中。经由此构造，机械臂300可以实现用于360度清洗的两个自由度。通过调节方位角及/或高度角θ，如从顶部观察，可移动臂部分314的前端314e1移动或关于可移动臂部分314的后端314e2旋转。138.在一些实施方式中，当清洗收集器230的表面时，可移动臂部分314的前端314e1可移动到点c1(例如，点c1处的x-y平面)与收集器230之间的位置。举例而言，当清洗收集器230的表面时，可移动臂部分314关于延伸臂部分312的高度角θ可在从约0度至约180度的范围中。经由此构造，可移动臂部分314的前端314e1可靠近收集器230，借此容易地真空吸走收集器230的表面上的碎屑。139.返回参见图5a至图5c，在一些实施方式中，机械臂300可包括耦接到机械臂300的关节316的驱动组件318，驱动组件318可具有用于旋转的多个驱动元件(例如，旋转马达)。在一些实施方式中，驱动组件318可包括耦接到机械臂300的至少两个驱动元件(例如，旋转马达)，用于向可移动臂部分314提供至少两个自由度。如上文论述，移动的两个自由度可包括可移动臂部分314绕着z方向的旋转(例如，具有关于图5d中的x-z平面的可变方位角)及可移动臂部分314关于x-y平面的旋转(例如，具有关于图5d中的x-y平面的可变高度角θ)。驱动组件318可电气连接到机器人控制器320，机器人控制器320可控制关节316的旋转以移动可移动臂部分314。140.在一些替代实施方式中，驱动组件318可包括耦接到机械臂300的一个驱动元件(例如，旋转马达)，用于向可移动臂部分314提供一个自由度。在一些实例中，移动的一个自由度可包括可移动臂部分314绕着z方向的旋转(例如，具有关于图5d中的x-z平面的可变方位角)。在一些替代实例中，移动的一个自由度可包括可移动臂部分314关于x-y平面的旋转(例如，具有关于图5d中的x-y平面的可变高度角θ)。141.在又一些替代实施方式中，驱动组件318可包括多于两个耦接到机械臂300的驱动元件(例如，旋转马达)，用于向可移动臂部分314提供多于两个自由度。举例而言，驱动组件318可包括三个驱动元件(例如，旋转马达)，用于向可移动臂部分314提供三个自由度。在一些实施方式中，四个或五个自由度亦可适用于可移动臂部分314的移动。在本实施例中，驱动组件318的驱动元件在机械臂300的外部处示出。在一些其他实施例中，驱动组件318的一或多个驱动元件可直接安装在机械臂300的对应关节316上并且耦接到关节316，用于允许可移动臂部分314的移动。142.机器人控制器320可是总体euv辐射源200的一部分，机械臂300是此euv辐射源的一部分。机器人控制器320可包括电子记忆体及用以执行在电子记忆体中储存的程序设计指令的一或多个电子处理器，此等程序设计指令可涉及控制关节316的旋转及机械臂300的移动的程序。在一些实施方式中，机器人控制器320可包括处理器、中央处理单元(central processing units；cpu)、多处理器、分散式处理系统、特殊应用集成电路(application specific integrated circuits；asic)、或类似者。143.参见图5c，在一些另外的实施例中，机械臂300可视情况固持侦测器510。此外，通过使用侦测器510，方法100可进行到步骤120，其中侦测下部锥状结构260(参见图5a及图5b)的状况。侦测器510可用于侦测影像或视频中的下部锥状结构260(参见图5a及图5b)上的锡污染。举例而言，侦测器510可以是包括多个影像感测器的影像侦测器(例如，照相机)。在一些实施方式中，侦测器510可通过适宜的固定元件(例如，夹具)安装在机械臂300的可移动臂部分314上。经由此构造，通过旋转机械臂的可移动臂部分314，侦测器510可移动到适宜位置以检查下部锥状结构260。影像或视频可用作参考以理解容器210中的锡污染的程度。144.在一些实施方式中，当侦测下部锥状结构上的锡污染的状况时，固持侦测器510的可移动臂部分314可以在约0度至约360度的范围中的方位角(参见图5d)旋转，并且以在约0度至约360度的范围中的高度角θ(参见图5d)旋转。在一些实施方式中，当侦测下部锥状结构上的锡污染的状况时，可移动臂部分314的前端314e1(或侦测器510)可移动到点c1(例如，点c1处的x-y平面)与离开孔210o之间的位置。亦即，在此等实施例中，当侦测下部锥状结构上的锡污染的状况时，可移动臂部分314的前端314e1(或侦测器510)可远离收集器230，随着清洗收集器230的表面而不靠近收集器230。在一些其他实施例中，当侦测下部锥状结构上的锡污染的状况时，可移动臂部分314的前端314e1(或侦测器510)可移动到点c1(例如，点c1处的x-y平面)与收集器230之间的位置。亦即，在此等实施例中，随着侦测下部锥状结构上的锡污染的状况，可移动臂部分314的前端314e1(或侦测器510)可靠近收集器230。145.在一些实施方式中，可移动臂部分314的前端314e1可以从容器210中的第一位置移动到容器210中的第二位置，其中第二位置不同于第一位置。举例而言，在第一位置处具有前端314e1的可移动臂部分314的方位角(参见图5d)不同于在第二位置处具有前端314e1的可移动臂部分314的方位角或者，例如，在第一位置处具有前端314e1的可移动臂部分314的高度角θ(参见图5d)不同于在第二位置处具有前端314e1的可移动臂部分314的高度角θ。在可移动臂部分314的前端314e1处的侦测器510可拍摄在容器210中的第一位置处的下部锥状结构260的第一影像，并且拍摄在容器210中的第二位置处的下部锥状结构260的第二影像。下部锥状结构260的第一及第二影像可显示关于下部锥状结构260上的锡污染的状况的更详细信息。146.在本实施例中，抽取管412及侦测器510可安装在机械臂300的相同可移动臂部分314上。在一些其他实施例中，抽取管412及侦测器510可安装在机械臂300的不同部分上。在一些实施方式中，下部锥状结构260的侦测(亦即，图1b中的步骤120)可在在线清洗制程(亦即，图1b中的步骤118)之前、期间、或之后执行。在一些实施方式中，可省略侦测下部锥状结构260(亦即，图1b中的步骤120)。147.在一些实施方式中，辐射源200可包括用于支撑收集器230的支撑结构se。支撑结构se可包括容纳一些辅助模块的刚性框架或盒，辅助模块诸如用于控制激光源220的温度的冷却模块。在一些实施方式中，在在线清洗制程及/或侦测下部锥状结构260(参见图5a及图5b)的状况期间，收集器230保持由支撑结构se支撑。换言之，在在线清洗制程及/或侦测下部锥状结构260(参见图5a及图5b的状况)期间，收集器230不移出euv辐射源200。148.返回参见图5a，在一些实施方式中，延伸臂部分312具有在容器210中的第一臂区段312a及在容器210外部的第二臂区段312b。在一些实施方式中，第一臂区段312a实质上与x方向平行，并且第二臂区段312b沿着波纹管组件bw的纵向方向延伸。在一些实施方式中，为了适配波纹管组件bw及容器210的构造，第一臂区段312a的纵向方向可关于第二臂区段312b的纵向方向倾斜。在一些另外的实施例中，第一臂区段312a可移动或关于第二臂区段312b旋转，使得在第一臂区段312a与第二臂区段312b的纵向方向之间的角度可以经调节用于适配波纹管组件bw及容器210的构造。在一些其他实施例中，在第一臂区段312a与第二臂区段312b的纵向方向之间的角度可以是固定并且不可调节。149.在一些实施方式中，在将机械臂300穿过波纹管组件bw插入容器210中之前，可移动臂部分314的前端314e1可旋转到适宜位置，借此缩小机械臂300的横截面的大小。经由此构造，在不损坏接口210g或波纹管组件bw的情况下，机械臂300可以穿过波纹管组件bw移动到容器210中。举例而言，可移动臂部分314可实质上与延伸臂部分312对准，或旋转以与延伸臂部分312具有小角度，使得机械臂300可以容易地穿过接口210g及波纹管组件bw移动。150.参见图1b及图6，方法100进行到步骤122，其中将机械臂300从容器210及波纹管组件bw中抽出。举例而言，接口212g不具有机械臂300。在一些实施方式中，在将机械臂300从容器210及波纹管组件bw中抽出之前，可移动臂部分314的前端314e1可旋转到适宜位置，借此缩小机械臂300的横截面的大小。经由此构造，在不损坏接口210g或波纹管组件bw的情况下，机械臂300可以移出容器210及波纹管组件bw。举例而言，可移动臂部分314实质上与延伸臂部分312对准，或旋转以与延伸臂部分312具有小角度，使得机械臂300可以容易地穿过接口210g及波纹管组件bw移动。151.参见图1b及图7，方法100进行到步骤124，其中将液滴产生器240’组装到接口210g上。在一些实施方式中，液滴产生器240’可不同于图2的液滴产生器240。举例而言，在一些实施方式中，图2的液滴产生器240的喷嘴244堵塞，液滴产生器240’的喷嘴244不堵塞。随后，如图3a中示出，通过重复步骤104及106，euv辐射源200可发射euv光el。152.在本揭示的一些实施方式中，执行在线清洗制程以清洗收集器230的表面，用于延长收集器的寿命。在线清洗制程可以在不将收集器230移出容器210的情况下执行，借此节省替换成本并且获得用于生产的大量工具时间。举例而言，在方法100的步骤112-124期间，收集器230保持由支撑结构se(图5c)支撑，并且不移出euv辐射源200。153.在本实施例中，将对收集器230的清洗制程示出为在线清洗制程，此在线清洗制程在用新的液滴产生器替代液滴产生器240期间执行。在一些替代实施方式中，对收集器230的清洗制程可单独执行，而不连同用新的液滴产生器替代液滴产生器240的维护制程一起。举例而言，在图7中，在清洗收集器230之后，可将已使用的液滴产生器240(如图2中示出)组装回到接口210g。此外，用于使用侦测器510侦测下部锥状结构260的状况的方法可单独执行，而不连同用新的液滴产生器替代液滴产生器240的维护制程一起。举例而言，在图7中，在侦测下部锥状结构260的状况之后，可将已使用的液滴产生器240(如图2中示出)组装回到接口210g。154.返回参考图2至图3a。在一些实施方式中，辐射源200可包括用以向euv辐射el提供中间聚焦的中间聚焦帽模块290。收集器230可朝向中间聚焦帽模块290聚焦由电浆产生的euv光el。中间聚焦帽模块290位于euv辐射源容器210与包括光学元件的扫描器(亦即，微影系统100)之间，此等光学元件用以将euv光el导引至工件(例如，半导体基板)。在一些实施方式中，中间聚焦帽模块290可包含锥形孔，此锥形孔用以提供在euv辐射源210与扫描器(亦即，微影系统100)之间的压力分离。在一些实施方式中，中间聚焦帽模块290可延伸到扫描器(亦即，微影系统100)中。辐射源200可包括经设计且用以遮挡激光束lb的水平遮挡条ob，借此防止激光束lb穿过离开孔210o发射出容器210。水平遮挡条ob可具有固定到锥状结构260的下侧的端部。155.在一些实施方式中，盖212由适宜的固体材料(诸如不锈钢)制成。容器210的盖212可收集碎屑。举例而言，盖212可包括在锥形盖212周围隔开的多个叶片212a。在一些实施方式中，辐射源200进一步包括在盖212的部分周围设置的加热单元。加热单元用于将盖212内部的温度维持在碎屑的熔点之上，使得碎屑不在盖212的内表面上固化。当碎屑蒸汽与叶片接触时，碎屑蒸汽可凝结成液体形式，并且流动到盖212的下部区段中。盖212的下部区段可提供用于将碎屑液体排泄出盖212的孔洞212h(参见图5c)，例如，排泄到燃料容器400(参见图5b)。燃料容器400可以收集液体碎屑。在一些实施方式中，euv辐射源200的倾斜可经设计为使得燃料容器400处于与液滴产生器240及液滴捕获器250的位置相比较低的位置，这亦可促进锡收集。156.在一些实施方式中，辐射源200进一步包括气流机构，包括气体供应模块270、排气系统280、及用于整合气流机构与收集器240的各种管线。气体供应模块270用以将气体ga提供到容器210中并且特别地提供到邻近收集器230的反射表面的空间中。在一些实施方式中，气体ga是氢气，其对euv辐射具有较少的吸收。提供气体ga用于各种保护功能，此等功能包括有效保护收集器230不受锡颗粒的污染。可替代地或额外地使用其他适宜气体。可经由一或多个气体管线将气体ga穿过输出窗ow附近的开口(或间隙)引入收集器240中。157.在一些实施方式中，排气系统280包括一或多个排气线282及一或多个泵浦284。排气线282可连接到容器210的壁用于接收排气。在一些实施方式中，盖212经设计为具有锥体形状，其宽基底与收集器240整合并且其窄顶部区段面向照射器910。为了进一步实施此等实施例，排气线282在其顶部区段处连接到盖212。泵浦284将气流从容器210抽出到排气线282中用于有效地泵浦出气体ga。气体ga亦可用于携带一些碎屑远离收集器230及盖212并且携带到排气系统280中。在一些实施方式中，排气系统280可包括在排气线282的入口处设置的气体出口结构286。气体出口结构286可是洗涤器，此洗涤器可在气体从容器210释放之前洗涤气体蒸汽或稀释离开的气体。158.在一些实施方式中，辐射源200可在容器210的内侧壁上包括多个燃料接收元件fr。举例而言，在盖212附近的燃料接收元件fr的第一部分fr1可包括叶片(例如，图5c中的叶片212a)，在气体出口结构286附近的燃料接收元件fr的第二部分fr2可包括多个叶片，在下部锥状结构260附近的燃料接收元件fr的第三部分fr3可包括多个叶片，并且在中间聚焦帽模块290附近的燃料接收元件fr的第四部分fr4可包括适宜的涂层。第一至第三部分fr1-fr3的叶片的形状及密度可彼此不同。举例而言，第二部分fr2的叶片的密度大于第一部分fr1的叶片的密度(例如，图5c中的叶片212a)。在一些实施方式中，第三部分fr3的叶片可是横向引导液体碎屑的且为螺旋状的。接收元件fr可接受液体碎屑并且将液体碎屑导引至流动到燃料容器400(参见图5b)中。159.图8是根据本揭示的一些实施方式的固持抽取管412的机械臂300的示意图。在一些实施方式中，机械臂300的臂部分312及/或314包括空腔300o，并且抽取管412可在空腔300o中设置。在本实施例中将空腔300o示出为沟槽。在一些其他实施例中，空腔300o可是通过机械臂300的实体壁封闭的空间，并且机械臂300的实体臂可围绕抽取管412。侦测器510可位于机械臂300的臂部分312及/或314的横向外侧上，并且具有向上的影像接收表面510s，借此侦测下部锥状结构260(参见图5a及图5b)的状况。举例而言，侦测器510可位于机械臂300的臂部分312及/或314上。在一些实施方式中，抽取管412及侦测器510可通过适宜的固定元件(例如，夹具)固定到机械臂300的臂部分312及/或314。在一些实施方式中，可省略抽取管412及侦测器510之一。160.图9是根据本揭示的一些实施方式的固持抽取管412的机械臂300的示意图。本实施例类似于图8的实施例，不同之处在于抽取管412及侦测器510可位于机械臂300的臂部分312及/或314的外侧上。举例而言，抽取管412及侦测器510可分别位于机械臂300的臂部分312及/或314的相对横向外侧上。或者，抽取管412及侦测器510可分别位于机械臂300的臂部分312及/或314的横向外侧及顶部外侧上。在本实施例中，机械臂300的臂部分312及/或314可不具有图8所示的空腔300o。在一些替代实施方式中，机械臂300的臂部分312及/或314可具有图8所示的空腔300o。在一些实施方式中，可省略抽取管412及侦测器510之一。161.图10是根据本揭示的一些实施方式的euv辐射源200及机械臂300的一部分的示意图。本实施例类似于图5c的实施例，不同之处在于可省略侦测器510。在本实施例中，可省略图1b中的步骤120。本实施例的其他细节类似于图5c中示出的彼等，并且由此本文不再重复。162.图11是根据本揭示的一些实施方式的euv辐射源200及机械臂300的一部分的示意图。本实施例类似于图5c的彼等，不同之处在于抽取管412及侦测器510可安装在机械臂300的两个不同的可移动臂部分314上。机械臂300的两个可移动臂部分314可以独立地移动或旋转，使得抽取管412的开口412o可以移动到第一位置以清洗收集器230，并且侦测器510可以移动到与第一位置不同的第二位置以检查下部锥状结构260。本实施例的其他细节类似于图5c中示出的彼等，并且由此本文不再重复。163.图12是根据本揭示的一些实施方式的euv辐射源200及机械臂300的一部分的示意图。本实施例类似于图5c的彼等，不同之处在于可省略清洗装置410(例如，抽取管412及泵浦414)。在本实施例中，可省略图1b中的步骤118(亦即，在线清洗制程)。本实施例的其他细节类似于图5c中示出的彼等，并且由此本文不再重复。164.图13至图14示出了根据本揭示的一些实施方式的用于在不同阶段使用euv辐射源的方法。本实施例类似于图2至图7的实施例，不同之处在于在本实施例中，当波纹管组件bw经调谐为具有与其中固持液滴产生器的波纹管bw的长度相比为短的长度时，将机械臂300插入接口210g中。在一些实施方式中，波纹管组件bw是挠性管，此挠性管具有第一端及可以相对于第一端移动的第二端以改变其长度。举例而言，波纹管组件bw可具有马达以相对于波纹管组件bw的第一端移动波纹管组件bw的第二端。165.参见图13，在从容器210(参见图4)的接口210g拆卸液滴产生器240之后，波纹管组件bw经调谐为具有短的长度。举例而言，折叠波纹管组件bw，借此减小其长度。在本实施例中，折叠的波纹管组件bw的短长度小于其中固持液滴产生器的波纹管组件bw的长度(如图7所示)。166.随后，参见图14，将机械臂300穿过折叠的波纹管组件bw插入接口210g中。在本实施例中，通过折叠波纹管组件bw，第一臂区段312a及第二臂区段312b可以在不适配波纹管组件bw及容器210的构造的情况下设计。举例而言，第一臂区段312a的纵向方向可与第二臂区段312b的纵向方向平行或关于其倾斜。在一些实施方式中，在第一臂区段312a与第二臂区段312b的纵向方向之间的角度可以是固定的并且不可调节。167.如图2至图7的实施例中示出，机械臂300可在在线清洗制程中或侦测锥状结构260的状况时使用。在在线清洗制程及/或侦测锥状结构260的状况之后，机械臂300从容器210中抽出，并且随后波纹管组件bw可经调谐为具有长的长度(作为图6中的长度)。举例而言，未折叠波纹管组件bw，借此增加其长度。液滴产生器(如图7所示)可随后安装到具有长的长度的未折叠的波纹管组件bw上。本实施例的其他细节类似于图2至图7的实施例的彼等，并且由此本文不再重复。168.图15是根据本揭示的一些实施方式的用于移动液滴产生器及移动清洗装置的机械臂的示意图。在一些实施方式中，可采用示例性机械臂600来自动地移动液滴产生器240。举例而言，机械臂600可用于将液滴产生器240组装到容器210(参见图2至图7)上，及/或从容器210(参见图2至图7)拆卸液滴产生器240。169.在一些实施方式中，机械臂600包括可旋转基底610、可旋转臂620、可旋转前臂630、可旋转腕部构件640、夹持器650及机器人控制器660。基底610、臂620、前臂630及腕部构件640的旋转以夹持器650可以三维方式移动的此种方式由机器人控制器660控制。举例而言，基底610可绕着轴a1旋转，臂620以臂620可绕着轴a2旋转的此种方式经由旋转关节或枢转关节连接到基底610，a2垂直于轴a1。前臂630以前臂630可绕着轴a3旋转的此种方式经由旋转关节或枢转关节连接到臂620，轴a3与轴a1平行。腕部构件640以腕部构件640可绕着轴a4旋转的此种方式经由旋转关节或枢转关节连接到前臂630，轴a4垂直于轴a1-a3。夹持器650连接到离前臂630最远的腕部构件640的端部，使得夹持器650可以通过使用由基底610、臂620、前臂630、及腕部构件640执行的旋转运动来以三维方式移动。170.因此，在维护制程中，夹持器650可以移动以夹持液滴产生器240并且随后从容器210的接口212g拆卸液滴产生器240(参见图3a及图4)。另一方面，在维护制程中，夹持液滴产生器240’的夹持器650可以移动回到容器210并且随后将液滴产生器240’组装到容器210的接口212g(参见图7)。171.尽管图15中描绘的实施例使用机械臂600来自动地移动液滴产生器240(及/或图7中的液滴产生器240’)，在一些其他实施例中，液滴产生器240(及/或图7中的液滴产生器240’)可以由一或多个有经验的人类使用者(例如，技术人员及/或工程师)移动。在此种实施例中，有经验的人类使用者可在液滴产生器冷却之后手动地固持及移动液滴夹持器240(及/或图7中的液滴产生器240’)。172.在一些实施方式中，机器人控制器320(参见图5a)及机器人控制器660经程序设计以按顺序使用机械臂600来从容器210拆卸液滴产生器240(参见图3a及图4)、将机械臂300插入容器210中(参见图5a至图5c)、使用机械臂300清洗收集器230(参见图5a至图5c)、从容器210中抽出机械臂300(参见图6)、并且将液滴产生器240’组装到容器210上(参见图7)。举例而言，在一些实施方式中，回应于在机器人控制器660的控制下通过机械臂600将液滴产生器移动远离容器210(参见图3a及图4)，机器人控制器320(参见图5a至图5c)可控制机械臂300将清洗装置410移动到容器210中并且清洗收集器230。在一些实施方式中，独立地控制机械臂600及机械臂300。换言之，机械臂300不受机器人控制器660的控制，并且机械臂600不受机器人控制器320的控制(参见图5a)。173.机器人控制器660可是总体euv辐射源200的一部分，机械臂600是此euv辐射源的一部分。机器人控制器660可包括电子记忆体及用以执行在电子记忆体中储存的程序设计指令的一或多个电子处理器，此等程序设计指令可涉及控制机械臂300的移动的程序。在一些实施方式中，机器人控制器660可包括处理器、中央处理单元(cpu)、多处理器、分散式处理系统、特殊应用集成电路(asic)、或类似者。在一些实施方式中，机器人控制器660、机器人控制器320(参见图5a)、及控制器pc(参见图4)在相同的处理器中。在一些其他实施例中，机器人控制器660、机器人控制器320(参见图5a)、及控制器pc(参见图4)分别在不同的独立处理器中。174.图16是根据本揭示的一些实施方式的微影系统900的示意图。微影系统900亦可称为扫描器，此扫描器可操作以执行具有相应辐射源及曝光模式的微影曝光制程。在一些实施方式中，微影系统900是经设计为由euv光el曝光阻剂层的极紫外微影系统。阻剂层是对euv光敏感的材料。在一些实施方式中，euv微影系统900采用辐射源200来产生euv光el。175.微影系统900亦采用照射器(illuminator)910。在一些实施方式中，照射器910包括各个反射光学器件，诸如单个反射镜或具有多个反射镜的反射镜系统，以便将euv光el从辐射源200导引至遮罩台920上，特别地导引至固定在遮罩台920上的遮罩930。176.微影系统900亦包括用以固定遮罩930的遮罩台920。在一些实施方式中，遮罩台920包括用于固定遮罩930的静电夹盘(e-chuck)。在此上下文中，术语遮罩、光罩、及主光罩可互换地使用。在本实施例中，微影系统900是euv微影系统，并且遮罩930是反射遮罩。遮罩930的一个示例性结构包括具有低热膨胀材料(low thermal expansion material；ltem)的基板。举例而言，ltem可包括tio2掺杂的sio2、或具有低热膨胀的其他适宜材料。遮罩930包括在基板上沉积的反射多层。反射多层包括多个膜对，诸如钼-硅(mo/si)膜对(例如，在每个膜对中，钼层在硅层之上或之下)。或者，反射多层可包括钼-铍(mo/be)膜对、或可用以高度反射euv光el的其他适宜材料。遮罩930可进一步包括在反射多层上设置而用于保护的覆盖层，诸如钌(ru)。遮罩18进一步包括在反射多层上方沉积的吸收层，诸如氮化钽硼(tabn)层。吸收层经图案化以定义集成电路(integrated circuit；ic)的层。在各个实施例中，遮罩930可具有其他结构或构造。177.微影系统900亦包括投影光学模块(或投影光学盒(projection optics box；pob))940，用于将遮罩930的图案成像到固定在微影系统900的基板台(或晶圆台)950上的半导体基板w上。在本实施例中，pob 940包括反射光学器件。从遮罩930导引并且携带在遮罩930上定义的图案的影像的光el由pob940收集。照射器910及pob 940可统称为微影系统900的光学模块。178.在本实施例中，半导体基板w是半导体晶圆，诸如硅晶圆或待图案化的其他类型的晶圆。在本实施例中，半导体基板w用对euv光el敏感的阻剂层涂布。包括上文描述的彼等的各个部件整合在一起并且可操作以执行微影曝光制程。179.在本实施例中，微影系统900进一步包括多个光强度感测器。举例而言，光强度感测器962在遮罩台920附近安装并且光强度感测器964在基板台950上安装。在一些实施方式中，影像感测器(诸如照相机)可安装在基板台950上。在一些实施方式中，如先前示出，控制器(例如，控制器pc)可与光强度感测器962及964电气连接。180.基于以上论述，可以看到本揭示提供了优点。然而，应当理解，其他实施例可提供额外优点，并且在本文中并非必须揭示所有优点，并且所有实施例并非需要特定优点。一个优点是执行在线清洗制程以清洗收集器的表面，借此延长收集器的寿命。另一优点是用于清洗收集器的表面的在线清洗制程可以在不移动收集器的情况下执行，借此节省替换成本并且获得用于生产的大量工具时间。又一优点是固持影像侦测器的机械臂可插入euv容器中，借此侦测顶部的锥状结构的状况。181.根据本揭示的一些实施方式，提供了一种用于使用极紫外辐射源的方法。方法包括：将一第一液滴产生器组装到一容器的一接口上；将一靶液滴从该第一液滴产生器喷射到在一激发区域，其中该激发区域在位于该容器的一端部处的一收集器的前方；朝向该激发区域发射一激光，使得该靶液滴由该激光加热以产生极紫外辐射；停止该靶液滴的该喷射；在停止该靶液滴的该喷射之后，从该容器的该接口拆卸该第一液滴产生器；在从该容器的该接口拆卸该第一液滴产生器之后，将一清洗装置穿过该接口插入该容器中；以及通过使用该清洗装置，清洗该收集器。182.于部分实施方式中，清洗该收集器包含将该清洗装置的一前端从该容器中的一第一位置移动到该容器中的一第二位置。183.于部分实施方式中，清洗该收集器包含相对该清洗装置的一第二部分，旋转该清洗装置的一第一部分，其中该清洗装置的该第二部分连接该清洗装置的该第一部分。184.于部分实施方式中，清洗该收集器包含向该收集器的一表面提供一真空吸力。185.于部分实施方式中，将该清洗装置插入该容器中包含将一机械臂穿过该接口插入该容器中，其中该机械臂固持该清洗装置的一抽取管。186.于部分实施方式中，方法还包含通过一侦测器侦测该容器的一顶部处的一锥状结构上的一锡污染物，其中该侦测器安装在该机械臂上。187.于部分实施方式中，当该收集器由该容器下方的一支撑结构支撑时，执行清洗该收集器。188.于部分实施方式中，方法还包含在清洗该收集器之后，将一第二液滴产生器组装到该容器的该接口上。189.于部分实施方式中，执行将该清洗装置插入该容器中，使得该清洗装置延伸超出该容器的该接口下方的一护罩。190.于部分实施方式中，执行将该第一液滴产生器组装到该容器的该接口上，使得该第一液滴产生器通过连接到该容器的一波纹管组件固持，该方法还包含在将该清洗装置穿过该接口插入该容器中之前，减小该波纹管组件的一长度。191.根据本揭示的一些实施方式，提供了一种使用极紫外辐射源的方法。方法包括：将第一液滴产生器组装到容器的接口上；通过第一液滴产生器将靶液滴喷射到容器中；通过将激光发射到靶液滴上产生极紫外辐射；关闭第一液滴产生器；从容器的接口拆卸第一液滴产生器；将机械臂穿过接口插入容器中，其中机械臂固持侦测器；以及通过侦测器侦测在容器的顶部处的锥状结构上的锡污染物。192.于部分实施方式中，方法还包含在将该机械臂插入该容器中之后，将该机械臂的一前端从该容器中的一第一位置移动到该容器中的一第二位置。193.于部分实施方式中，该侦测器是一影像侦测器，并且侦测该锥状结构上的该锡污染物包含拍摄一第一位置处的一第一影像；以及拍摄一第二位置处的一第二影像。194.于部分实施方式中，方法还包含在将该机械臂插入该容器中之后，相对于该机械臂的一第二部分，旋转该机械臂的一第一部分，其中该机械臂的该第二部分连接的该机械臂的该第一部分。195.于部分实施方式中，当一收集器由该容器下方的一支撑结构支撑时，执行侦测该锥状结构的该锡污染物。196.于部分实施方式中，在侦测该锥状结构上的该锡污染物之后，将一第二液滴产生器组装到该容器的该接口上。197.根据本揭示的一些实施方式，极紫外辐射设备包括容器、收集器、液滴产生器、第一机械臂、第一机器人控制器、清洗装置、第二机械臂、及第二机器人控制器。收集器在容器的端部处。液滴产生器可拆卸地安装在容器上。第一机器人控制器控制第一机械臂将液滴产生器移动远离容器。回应于将液滴产生器移动远离容器，第二机器人控制器控制第二机械臂将清洗装置移动到容器中并且清洗收集器。198.于部分实施方式中，该清洗装置包含一真空管。199.于部分实施方式中，该第二机械臂包含一第一臂区段及一第二臂区段，该第二臂区段具有连接到该第一臂区段的一第一端部，并且该第二机器人控制器进一步控制该第二臂区段的一第二端部以相对该第二臂区段的该第一端部旋转。200.于部分实施方式中，设备还包含一影像侦测器，其中该第二机器人控制器进一步控制该第二机械臂将该影像侦测器移动到该容器中。201.上文概述若干实施例的特征，使得熟悉此项技术者可更好地理解本揭示的态样。熟悉此项技术者应了解，可轻易使用本揭示作为设计或修改其他制程及结构的基础，以便执行本文所介绍的实施例的相同目的及/或实现相同优点。熟悉此项技术者亦应认识到，此类等效构造并未脱离本揭示的精神及范畴，且可在不脱离本揭示的精神及范畴的情况下产生本文的各种变化、取代及更改。









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